特點(diǎn)
• 大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度（X 軸：80mm/s, Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
• 為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)格，三豐公司采用了具有極佳的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
• 大量的外周設(shè)備選件支持CNC 模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC 測(cè)量。
• 驅(qū)動(dòng)裝置（X 軸） 和立柱（Z2 軸） 中集成了高精度線性編碼器（Z2 軸為ABS 型），從而提高了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工件的重復(fù)精度。
• X 軸精度：±（0.8+0.01L）μm,Z1 軸精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm*，針對(duì)高精度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。
* CV-4100S4, H4, W4 型L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度，H 為測(cè)量高度（mm）
• CV-4100 系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了激光全息測(cè)微計(jì)檢測(cè)器，在Z 軸（垂直方向） 的窄／寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供卓越的精度和分辨率。
技術(shù)參數(shù)
X 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 80mm/s 和手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向: 向前／向后
直線度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm
* 當(dāng)X 軸在水平方向上指示精度: ±（1+0.01L）μm （CV-3100S4, H4, W4）（20° C 時(shí)） ±（0.8+0.01L）μm （CV-4100S4, H4, W4）±（1+0.02L）μm （CV-3100S8, H8, W8）
±（0.8+0.02L）μm （CV-4100S8, H8, W8）
* L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）傾斜范圍: ±45°
Z2 軸（立柱）
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
檢測(cè)方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s 和手動(dòng)
Z1 軸 （檢測(cè)器）
測(cè)量范圍: ±25mm
分辨率: 0.2μm （CV-3100）, 0.05μm （CV-4100）
檢測(cè)方法: 線性編碼器（CV-3100）,
激光全息測(cè)微計(jì) （CV-4100）
指示精度: ±（2+I4HI/100）μm （CV-3100）（20° C 時(shí)） ±（0.8+I2HI/100）μm （CV-4100）
*H 為水平位置上的測(cè)量高度 （mm）
測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針方向: 向上／向下
測(cè)力: 30mN
跟蹤角度: 向上：77°、向下： 87°
（根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針）
測(cè)針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸（W x H）:750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
重量
主機(jī): 140kg （S4）, 150kg （H4）, 155kg （W4）
145kg（S8）, 155kg （H8）, 160kg （W8）
　控制裝置:14kg
　遙控箱: 0.9kg
電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W （僅限主機(jī)）