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 方塊電阻測定儀,雙電測四探針測試儀 

FT-330系列普通四探針方阻電阻率測試儀

按照硅片電阻率測量的國際標準（ASTM F84）及國家標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準，本機配置232電腦接口及USB兩種接口，本機采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量，更加準確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

 

 

規(guī)格型號	FT-331	FT-332	FT-333	FT-334	FT-335	FT-336
1.方塊電阻范圍	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×103Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×103Ω/□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×103Ω/□
2.電阻率范圍	10-6×106Ω-cm	10-5×104Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×104-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×104-cm
3.測試電流范圍	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	10μA，100µA，1mA，10mA， 100 mA	0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA
4.電流精度	±0.1%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)
5.電阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.顯示讀數(shù)	液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式	普通單電測量
8.工作電源	輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W
9.整機不確定性誤差	≤4%（標準樣片結果）
10.選購功能	選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺
11.測試探頭	探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針

ROOKO/瑞柯品牌，來自瑞柯儀器公司，一個專注于改變人們生活方式和品質的企業(yè).

專業(yè)與精致并重；優(yōu)秀與智慧之原

方塊電阻測定儀,雙電測四探針測試儀方塊電阻測定儀,雙電測四探針測試儀

 雙電測四探針測試儀 雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)

型號DL10-9

DL10-9型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

DL10-9雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與DL10-RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術　指　標：

測量范圍電阻率：10-4～105Ω.cm（可擴展）；

方塊電阻：10-3～106Ω/□（可擴展）；

電導率：10-5～104s/cm；

電阻：10-4～105Ω；

可測晶片厚度≤3mm

可測晶片直徑140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；

200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；

400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1%；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16牛頓（總力）；

四探針探頭應用參數(shù)（見探頭附帶的合格證）

模擬電阻測量相對誤差

（按JJG508-87進行）0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量最大相對誤差（用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±4%

整機測量標準不確定度≤4%

計算機通訊接口并口

標準使用環(huán)境溫度：23±2℃；

相對濕度：≤65%；

無高頻干擾；

無強光直射；

SDY-5型雙電測四探針測試儀 SDY-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙位組合測量新技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。 使用本儀器進行測量時，由于不需要進行幾何邊界條件和探針間距的修正，因而對各種形狀的薄膜材料及片狀材料有廣泛的適用性。儀器特別適用于測量片狀半導體材料電阻率以及硅擴散層、離子注入層、異型外延層等半導體器件和液晶片導電膜、電熱膜等薄層(膜)的方塊電阻. 儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,特別采用了平面輕觸式開關設計和各種工作狀態(tài)LED指示.并應用了微計算機技術,利用HQ-710F型微計算機作為專用測量控制及數(shù)據(jù)處理器,使得測量、計算、讀數(shù)更加直觀、快速，并能打印全部預置和測量數(shù)據(jù)。技術指標：1、測量范圍：電阻率：0.001－200.cm(可擴展) 薄層電阻:0.01-2000/口(可擴展) 可測晶片厚度：≤3.00mm2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、 100ma 四檔 ；連續(xù)可調；穩(wěn)定度優(yōu)于0.3% 3、數(shù)字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度：±0.1% 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性、小數(shù)點、超量程自動顯示；4、模擬電路測試誤差：(用1、10、100、1000 精密電阻測量)≤±0.3%±1字;5、整機度：(用0.01至180.cm硅標樣片測試)≤4%6、專用微計算機功能： A 鍵盤控制測量取數(shù)，自動控制電流換向和電流、電壓探針的變換，并進行正、反向電流下的測量，顯示出平均值 B 鍵盤控制數(shù)據(jù)處理，按內存公式計算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化。 C 鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù)。包括測量條件，各次測量平均值、最大值、最小值，百分變化等數(shù)據(jù)。7、外形尺寸：電氣主機：360mm×320mm×100mm； 微計算機：300mm×210mm×105mm8、儀器重量：電氣主機：約4kg；測試架(J-2A型):約5kg;微計算機:約2.5kg;9、電源：AC 220V±10%,50Hz,功率〈25W10、測試環(huán)境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。 訂購指南編號 品名 說明 單價(元/套) 142152 SDY-5雙電測四探針測試儀 SDY-5型雙電測四探針測試儀主機、J-2B型測試架、專用710-F型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配9D探頭 27266.00 142154 SDY-5型雙電測四探針測試儀主機、J-52型測試臺、專用710-F型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配DNT－1型探頭 27594.00 142156 SDY-5型雙電測四探針測試儀主機、J-52型測試臺、裝配DNT-1型探頭 20098.00 142158 TZT-9D型四探針探頭 探針間距1mm針距，針尖材料:碳化鎢鋨合金;針尖曲率半徑:40±5μm;探針壓力:5至8牛頓(總壓力，此范圍內可調);探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度2+0.5mm;針尖錐體夾角60度;針間絕緣電阻:大于109ΩTZT-9D型四探針探頭采用環(huán)氧精澆注(帶紅寶石軸套),以精確的針距.同時適用復合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好、測試數(shù)據(jù)，使用壽命長等特點。它的所有技術指標符合國家標準，同時符合美國ASTM標準的有關規(guī)定。用于測薄片 1468.00 142160 J-2B型手動測試臺(樣品直徑100) 1798.00 142162 J-52型手動測試臺(樣品臺400mmx500mm) 2296.00 142164 DNT-1型四探針探頭 1798.00 142166 DNT-2型四探針探頭 1798.00 142168 DNT-3型四探針探頭 1798.00 142170 SDY-6型雙電測四探針測試儀 SDY-6型雙電測四探針測試儀主機、J－52型測試架、專用710－F2型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配DNT－1型探頭 33318.00 14217 SDY-6型雙電測四探針測試儀主機、J-2B型測試臺、專用710－F2型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配9D型探頭 32466.00 142172 J-51型手動測試臺(樣品臺直徑200mm) 2735.00 142174 DJ-2型電動測試臺(樣品臺直徑150mm;高度50mm) 8589.00

               RTS-9型雙電測四探針測試儀

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產(chǎn)品介紹：	RTS-9型雙電測四探針測試儀 采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的
產(chǎn)品特點：

技術參數(shù)：

RTS-9型雙電測四探針測試儀 訂貨信息：
	貨號 品名 規(guī)格 包裝 備注 售價（元）   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、IBM筆記本電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 42000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、臺式電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 32000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、測試軟件（含測控模塊） 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 27000

 

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 上海低價促銷， 物理熱工儀器，RTS-9型雙電測四探針測試儀

 

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產(chǎn)品特點：

技術參數(shù)：

訂貨信息：
	貨號 品名 規(guī)格 包裝 備注 售價（元）   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、IBM筆記本電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 42000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、臺式電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 32000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、測試軟件（含測控模塊） 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 27000

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 上海低價促銷， 通訊，RTS-9型雙電測四探針測試儀配置:四探針測試儀主機

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產(chǎn)品特點：

技術參數(shù)：

訂貨信息：
	貨號 品名 規(guī)格 包裝 備注 售價（元）   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、IBM筆記本電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 42000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、臺式電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 32000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、測試軟件（含測控模塊） 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 27000

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產(chǎn)品特點：

技術參數(shù)：

訂貨信息：
	貨號 品名 規(guī)格 包裝 備注 售價（元）   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、IBM筆記本電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 42000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、臺式電腦 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 32000   RTS-9型雙電測四探針測試儀 配置:四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、測試軟件（含測控模塊） 1 可測晶片直徑:140mmX150mm 27000

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 FT-340系列雙電測電四探針方阻電阻率測試儀

本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；雙電測四探針測試儀本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

雙電測四探針測試儀雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

 

 雙電測四探針測試儀

規(guī)格型號	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
1.方塊電阻范圍	10-4～2×105Ω/□	10-4～2×103Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×103Ω/□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×103Ω/□
2.電阻率范圍	10-5～2×106Ω-cm	10-5～2×104-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×104-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
3.測試電流范圍	0.1μA,μA,0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	0.1μA,μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA
4.電流精度	±0.1%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)
5.電阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.顯示讀數(shù)	大屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式	雙電測量
8.工作電源	輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W
9.整機不確定性誤差	≤3%（標準樣片結果）
10.選購功能	選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺

 

 

ROOKO/瑞柯品牌，來自瑞柯儀器公司，一個專注于改變人們生活方式和品質的企業(yè).

專業(yè)與精致并重；優(yōu)秀與智慧之原

 雙電測四探針測試儀,雙電測四探針軟件測試系統(tǒng) FT-340系列雙電測四探針電阻率方阻測試儀

本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

 

 

規(guī)格型號	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
1.方塊電阻范圍	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×103Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×103Ω/□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×103Ω/□
2.電阻率范圍	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×104-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×104-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
3.測試電流范圍	0.1μA,μA,0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	0.1μA,μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA
4.電流精度	±0.1%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)
5.電阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.顯示讀數(shù)	大屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式	雙電測量
8.工作電源	輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W
9.整機不確定性誤差	≤3%（標準樣片結果）
10.選購功能	選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺
11.測試探頭	探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針

 

 

ROOKO/瑞柯品牌，來自瑞柯儀器公司，一個專注于改變人們生活方式和品質的企業(yè).

專業(yè)與精致并重；優(yōu)秀與智慧之原

  雙電測四探針測試儀,雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)