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6JA干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件表面（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器。也可以用來測量零件表面刻線、刻槽鍍層（透明）等深度。儀器配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1-0.03微米，用測微目鏡和照明方法來評定▽10-▽14光潔度的表面。本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學研究單位。二、技術(shù)指標

目鏡：測微目鏡12.5X，測微鼓輪分劃值0.01mm 儀器放大倍數(shù)：500X 儀器視場：ф0.25 物鏡：數(shù)值孔徑0.65mm，工作距離0.5mm 標準鏡：高反射率≈50%，低反射率≈4% 工作臺：升降范圍5mm，XY方向移動范圍≈10mm，360度旋轉(zhuǎn) 綠色干涉濾色片：波長λ≈5300A，半寬度▽≈100A 測量表面光潔度范圍：▽10-▽14（相當于測量表面不平深度范圍為0.1um-0.03um） 光源：電珠燈泡6V15W，亮度可調(diào)  

6JA (JBS)干涉顯微鏡1.測量表面光潔度范圍：   ▽10～▽146JA (JBS)干涉顯微鏡2.工作物鏡數(shù)值孔徑：      0.65  工作距離：0.5 mm6JA (JBS)干涉顯微鏡3.視場范圍：             目視Ø0.25 mm  照相0.21× 0.15 mm6JA (JBS)干涉顯微鏡4.放大倍數(shù)：             目視500× 照相168×6JA (JBS)干涉顯微鏡5.測微目鏡放大倍數(shù)：     12.5×6JA (JBS)干涉顯微鏡6.測微鼓分劃值：         0.01 mm6JA (JBS)干涉顯微鏡7.綠色干涉濾光片波長：   λ ≈ 5300 À 6JA (JBS)干涉顯微鏡8.半寬度：               ▽λ ≈ 100 À6JA (JBS)干涉顯微鏡9.工作臺行程：            5 mm  X-Y向移動范圍：        10 mm  旋轉(zhuǎn)范圍：360°6JA (JBS)干涉顯微鏡10.儀器標準鏡高反射率：  ≈ 60%  低反射率：≈ 4%6JA (JBS)干涉顯微鏡11.可調(diào)變壓器輸入電壓：  220V / 50Hz 輸出電壓：4～6V6JA (JBS)干涉顯微鏡12.儀器外形尺寸：        270×160×230 mm6JA (JBS)干涉顯微鏡13.儀器重量：            ≈ 5 Kg

干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。儀器配對各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。

主要參數(shù)： 工作物鏡的數(shù)值孔徑： 0.65 工作距離： 0.5毫米 測微目鏡放大倍數(shù)： 12.5倍 工作臺垂直移動： 5毫米 X、Y方向移動范圍：近似于10毫米 旋轉(zhuǎn)運動范圍： 360度 測微鼓分劃值：0.01毫米   儀器的配套性 ：　 ＊ 儀器主體 1臺 ＊ 12.5X測微目鏡 1件 ＊ 狹縫目鏡 1件 ＊ V型塊 1件 ＊ 6V、5W燈泡 6件 ＊ 可調(diào)變壓器 1臺 ＊ 快門線 1根 ＊ 試樣夾 1件

主要特點：                                      

1．光學系統(tǒng)

采用無限遠光學系統(tǒng)，可適用各種無限遠物鏡，標準配置為60mmNIKON物鏡，螺紋接口為M25×0.75,標準配置雙目頭和三目頭選用NIKON品牌

可配置 45mm,及95mm物鏡（配對應的轉(zhuǎn)接環(huán)）；

可配置其它品牌雙目頭和三目頭；

2．具備上下兩套調(diào)焦系統(tǒng)，可觀察較高較厚樣品；

上調(diào)焦行程為50mm;

下調(diào)焦行程為14mm；

調(diào)焦系統(tǒng)充分考慮了人機工程，使用低位操作；另外在下調(diào)焦系統(tǒng)增加了減力結(jié)構(gòu)，使用輕松；

3．配置8寸快速移動大平臺，方便快捷；

8寸快速移動平臺是仿OLYMPUS的12寸平臺設(shè)計，使用軟軸控制，可同時實現(xiàn)快速移動及微小調(diào)整；

平臺采用數(shù)控機床加工，充分精度；

平臺可加載在透射光機臺上；

平臺表面采用石墨處理，耐磨性好；

平臺玻璃可調(diào)整平整度；

4．配置偏振系統(tǒng)及微分干涉系統(tǒng)，可實現(xiàn)COG中粒子及爆破檢測，可實現(xiàn)TAB檢測；

具備起偏器和檢偏器，可做偏光檢測，在半導體和PCB檢測中，可消除雜光，細節(jié)更清楚；

可加載微分干涉器，實現(xiàn)微分干涉觀察，在COG中，可清晰觀察3-5um的粒子；整個市場干涉色彩均勻；

5．可配置落射照明和透射照明；

落射照明和透射照明均采用國際的LED照明，使用國際知名LED品牌。LED照明發(fā)熱小，壽命長，無需經(jīng)常更換燈泡等。