�ߌ�(d��o)�Ų��P���� M�� 25��25mm���b�ݿ�� ��C�Y(ji��)��(g��u)������棬�����l�ʵ����������ܺ� ��̼䓏�(qi��ng)�壬���Ժ�����(w��n)�� ����ĥ֧���{(di��o)��(ji��)�Y(ji��)��(g��u)���p���{(di��o)��(ji��) ��|ʽ����ϵ�y(t��ng)������Ч���� ƽ��ֲڶȲ�����0.8��m ƽ��Ȳ�����0.05mm/�O�����l�ʲ�����3Hz ��������� 3��m ��NҎ(gu��)�����x 1200800 800mm
1. �����l�ʣ�1����-200Hz
2. �������������ɶ������a(b��)����ؓ(f��)���{(di��o)��(ji��)������
3. �������ܣ�>5Hz =90%, >10Hz = 95%
4. ؓ(f��)�d������15-300Kg
5. 10-20 �����푑�(y��ng)�r�g
��������(sh��)��
1. ������50kg
2. ��늣�220V,50W
3. �����ضȣ�5����-40�z�϶�
4. �����_������ƽ���0.5mm��Ӳ�|(zh��)ƽ������
5. �_��ߴ���Զ��ƣ�600*500����-800*1000��
��(y��ng)���I(l��ng)��
����̽��@�R��AFM/LFM/STM��
�������x
����۽��@�R
����ԭ����
VCM200���ڣ����ʰ�����ɼ������̖����̖��(j��ng)�^����̎����������Ȧ�������\(y��n)�ӣ�����Ӹɔ_�M(j��n)���a(b��)����
���f��������
���^�D��
�_��ijߴ���Ը���(j��)�͑���Ҫ������
| |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| BioMed ϵ�Ќ��ø���ƽ�_�����h�������аl(f��)��ᘌ�����t(y��)�W(xu��)���댧(d��o)�w���ИI(y��)�Č��ø���ƽ�_���ɑ�(y��ng)���ڼ���۽��@�R�����߷ֱ����@�R�������������V�x���������˙C(j��)���̌W(xu��)�O(sh��)Ӌ��ƽ�_���ĸ߶�750mm, �������˲����x���� �c���y(t��ng)����ƽ�_��ȣ�BioMedϵ��ƽ�_�Č��I(y��)�Ժ̈́�(chu��ng)���c�w�F(xi��n)�ڣ� 1.BioMed�й��w����ʽ�͚⸡ʽ�ɷN����ʽ���͑��x��������õĸ����ܸ�����ώ� ���˸��õĸ���Ч���� 2.��NҎ(gu��)��ߴ���x���� 3.֧�β��ֲ������w߅���O(sh��)Ӌ����(d��ng)�����ˆT�����@�R���������܃x���O(sh��)��r���������_���Ϸ��õ��d��Ƭ��Wafer������(d��o)�����w�Ȯa(ch��n)��Ӱ푣� |
4.���b���{(di��o)�Ƕȷ�������(d��ng)�����ˆT���^���Ʒ���{(di��o)���@�R�r���Ɍ��p�ַ��ڷ��������ȱ����������p�����|�@�R������_�_����a(ch��n)����������ַ������m���p��ƣ����5.��̎�d������O(sh��)Ӌ���x�䣩����֧�ܵײ���ƽ�_�_�漰ƽ�_�Ϸ��ɰ��b�ɲ�ж�d����������ڷ��ü������ȸ��N�O(sh��)���Դ��ԇ�����@ʾ��������(ji��)ʡ���g��BioMed-Rϵ������������t(y��)����ƽ�_
| ���c�� �� ��(bi��o)��(zh��n)�_�������75mm �� ���Ì��I(y��)����������p�����������(bi��o)��(zh��n)�������|�����������M(j��n)һ �������� �� �����l����С���_(d��)5Hz �� ���м������ܼ�����������W(xu��)ƽ�_ ���g(sh��)ָ��(bi��o)�� �� �_��Y(ji��)��(g��u)�����ӊA�ĽY(ji��)��(g��u) �� �_�棺4��6mm���F�Ų��P� �� �_���(n��i)��֧�Σ���ƾ����η�C��֧�νY(ji��)��(g��u) | |
�f���� BioMed-R ϵ��ƽ�_�����h�������Ƴ��ľ������� ������ƽ�_�����w�߶�750mm���֞��_���֧�܃ɲ����� �_���ȸ���(j��)�ߴ��O(sh��)Ӌ��75mm�����кܺõ�Ӳ �رȺ̈́��ԡ����_����þ���ĥ����ˇ���_���ƽ��� �_(d��)��0.02 �� 0.05mm/600mm×600mm�� �_���ϰ��� 25mm×25mm �����M6 �ݼy�ף����㰲�b���λ���_���{(di��o)������ ֧�ܲ������w����ʽ��֧�νY(ji��)��(g��u)��֧�����Ϸ����þ� ������p�������·����Ø�(bi��o)��(zh��n)�������|�����зdz���(y��u)�� �ĸ������ܣ�����I(l��ng)������ͨ�������ƽ�_��֧������ ���߶șC(j��)��(g��u)���_݆�������ƄӺ��{(di��o)���� ԓϵ�Юa(ch��n)Ʒ���ھ��ܼ���������W(xu��)ƽ�_���m������ ��t(y��)�W(xu��)���댧(d��o)�w���ИI(y��)��(y��ng)���� | �� �⸡֧�Σ����ӽY(ji��)��(g��u)ʽ���ң�3��ˮƽ�{(di��o)��(ji��)�y���Ļ����� ���棺4��6mm��̼������懊����̎�� �� ��(c��)�壺��(n��i)��̼䓰�����Ӟ��ɫ�X�ܰ����Ľ��ò��P�䓰���� �� ��ȣ�75mm �� ƽ��ȣ�0.02��0.05mm/600mm×600mm�����ڇ���ͬa(ch��n)Ʒ �� ������ϣ������͌��I(y��)����p�����͘�(bi��o)��(zh��n)�������| �� �����l�ʣ���5��8Hz������I(l��ng)������ͨ�������ƽ�_ �� ֧�ܣ����w����ʽ֧�������߶��{(di��o)���C(j��)��(g��u)���_݆�������ƄӺ��{(di��o)�� �� �_���֧�ܿ��߶�750mm�����߶ȿ��{(di��o)������-20��+20mm �� �ࣺ25mm×25mm �� ����M6 �� �_���������s125Kg/m² |
��(x��)��(ji��)�f����
![]() | ���I(y��)����������p�� �����������ܴ����� | ![]() | ���P䓰��� |
![]() | ���w����ʽ֧�� �M��͑ҿՔR�� | ��������� ![]() | ���� | |||
![]() | ˮƽ�x | |||||
![]() | �_݆ |
�x�ͱ���
��̖ | �_��ߴ磨mm�� | ���wҎ(gu��)��mm�� | �_�����أ�Kg�� |
BioMed-R1007 | 1000×700×75 | 1170×890×750 | 94 |
BioMed-R1207 | 1200×700×75 | 1370×890×750 | 113 |
�x�����c�ߌ�(d��o)�Ų��P���� M�� 25��25mm���b�ݿ�� ��C�Y(ji��)��(g��u)������棬�����l�ʵ����������ܺ� ��̼䓏�(qi��ng)�������Ժ�����(w��n)�� ����ĥ֧���{(di��o)��(ji��)�Y(ji��)��(g��u)���p���{(di��o)��(ji��) ��|ʽ����ϵ�y(t��ng)������Ч����
�x������(sh��)ƽ��ֲڶȲ�����0.8��m ƽ��Ȳ�����0.05mm/�O�����l�ʲ�����3Hz ��������� 3��m ��NҎ(gu��)�����x 1200��800 ��800mm
������߶ȵķŴ����cӰ����������� ����@�R������ʽ��ʽ���������x�������x
�������ױ��h(hu��n)������Ӱ��� �����������ǷŴ����c�����|(zh��)�����P(gu��n)�I�����b���� �mȻ�@Щ
�߷Ŵ�(sh��)�x������(j��ng)�^���ĵĹ����O(sh��)Ӌ�c��Ʒ�ܵ�������� ���������Ĺ�������������
��h(hu��n)����Ӱ��� ���l������ӿ���Ӱ푮�����|(zh��)���� ��˵�����������������ķŴ�Ч
���� �ߏ�(qi��ng)�ȵĽ����ӑB(t��i)�ň��� ����ʎ��ֱ���ň�Ҳ����ɷŴ�����X��߅���� ����
��������������ɵĹ�����ܕ��ɔ_�����cĿ��(bi��o)�ߴ��������Ӱ��Ŵ�(sh��)�� �����@Щ
�h(hu��n)���Ć��}�����t�������о��M(j��n)�Ȼ����a(ch��n)Ч���� ������(d��o)��ijЩ�r�β���ʹ���@�R��
�P(gu��n)���@�R���b�h(hu��n)���Ć��}�� TMC�ܿ�����(j��)��ͬ�ĭh(hu��n)����r�c�@�R�ķN��ṩ�P(gu��n)
�I�ԵĽ�Q������ �@Щ�����Ɍ��@Щ�x���ij���a(ch��n)����ĸ��M(j��n)�� �����nj��ڒ���
ʽ����@�R���҂������w�h(hu��n)�����M(j��n)�������H��������ʽ�����������ϵ�y(t��ng)�� ߀�Ќ�
�I(y��)�O(sh��)Ӌ������ʽ����ϵ�y(t��ng)���������^���� TMC����ͬ�ИI(y��)�o����ȵ���ӿ����c��
�������c֪�R������������ ������ �c�����Č��L�� �ܽo�͑��ṩ���w�h(hu��n)�����Ƶ�
������ ʹ�ÿ͑�������@�R�c�x�������x���ܰl(f��)�]�O�µĹ��ܡ� �҂���������
���ăx���_(d��)���������Ľ����c��(y��n)�ܵ��������ƹ�����
O��PRTϵ�К�|ʽ���ܸ���ƽ�_:
Ԕ��(x��)��B�� | ||||||||||||||||
�a(ch��n)Ʒ��B��O��PRT��I�͚�|ʽ���ܸ���ƽ�_�����������ˮ�(d��ng)��Ľ��й�ˇ�������g(sh��)�Ļ��A(ch��)���O(sh��)Ӌ���®a(ch��n)Ʒ���m���ڿ��кʹ�ԺУ�Č����ʹ����Ҫ����(sh��)ƽ��ֲڶȲ�����0.8��mƽ��Ȳ�����0.02mm/m2�����l�ʲ�����3Hz���������3��mҎ(gu��)��1200��800��8001500��800��8001500��1000��8001800��1200��8002400��1200��800 �a(ch��n)Ʒ���c��1���ߌ�(d��o)�Ų��P����2��M6 25��25���b�ݿ��3����C�Y(ji��)��(g��u)������棬�����l�ʵ����������ܺ�4����̼䓉��壬���Ժ�����(w��n)��5������ĥ֧�νY(ji��)��(g��u)���p���{(di��o)��(ji��)6��|ʽ����ϵ�y(t��ng)������Ч����Q��PRT�������߂��|ʽ���ܸ���ƽ�_һ���������c�������������Ԅ�ƽ��ϵ�y(t��ng)������ͻ�����c�ǰ�ϵ�y(t��ng)�������Ӱ푷�����ϵ�y(t��ng)�и�׃������������߸���Ч�����ڳ��dƫ�صėl����˲�r�_(d��)����ʼ��ƽ���B(t��i)�� ���g(sh��)����(sh��)��
|