HMDS烘箱|晶圓HMDS預(yù)處理烘箱
一、技術(shù)參數(shù):
名稱:HMDS電腦式真空烘箱
型號(hào):EHZ-HMDS-90
HMDS烘箱|晶圓HMDS預(yù)處理烘箱
真空度:<133pa
溫度范圍:50~250℃
溫度分辨率:±0.1℃
控制方式:PLC+觸摸屏(人機(jī)交互界面)
內(nèi)部尺寸:W450mm*D450mm*H450mm(可根據(jù)客戶要求訂制)
電源:AC220V 50HZ
功率:2.1KW
二、應(yīng)用領(lǐng)域與用途:
EHZ-HMDS-90系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過(guò)多次預(yù)抽真空,充氮加熱循環(huán)進(jìn)行,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過(guò)加液系統(tǒng)在硅片表面開(kāi)成HDMS保護(hù)膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對(duì)人體無(wú)害的顯著優(yōu)點(diǎn);也可用于晶片其它工藝的清洗。
三、產(chǎn)品特點(diǎn):1.控制界面:采用日本三菱PLC+7'觸摸屏人機(jī)交互界面,一鍵啟動(dòng),程序化運(yùn)行,溫度控制系統(tǒng),抽真空系統(tǒng),
充氮系統(tǒng),HMDS注液系統(tǒng)完美對(duì)接,亦可在操作界面單獨(dú)設(shè)定操控,實(shí)現(xiàn)一集多用。
2.箱體:工作室采用3mm優(yōu)質(zhì)不銹鋼內(nèi)膽,四周圓弧角焊接,表面凈化處理,密閉不漏氣,內(nèi)部自身不產(chǎn)塵,
適用于半導(dǎo)體晶圓,光電等潔凈環(huán)境。
3.外殼:采用SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵
4.密封:門封采用四氟乙烯雙層密封一體成型耐高溫膠條,密封性好,柔軟潔凈無(wú)污染。
5.溫度控制系統(tǒng):
5.1溫控器采用日本FUJI數(shù)字型智能溫度控制器,控制精度±0.1℃,PID自動(dòng)演算,自動(dòng)恒溫,帶溫度傳感器斷線報(bào)警,超溫?cái)嗉訜,過(guò)沖抑制,抗干擾,AT自整定,溫度偏差修正功能,帶8段斜率升溫功能。
5.2 溫度傳感器
采用日制PT100鉑金電阻,不銹鋼鎧裝覆套,精度±0.5%,反應(yīng)靈敏,抗干擾,耐高溫
6.真空度控制系統(tǒng)
6.1 真空計(jì)
采用三菱PLC壓力控制模塊搭配上海產(chǎn)優(yōu)質(zhì)真空壓力變送器,壓力精度1pa
6.2 真空泵
采用上海產(chǎn)優(yōu)質(zhì)雙旋片油泵,真空極限10-3pa,亦可根據(jù)客戶需要配置德國(guó)進(jìn)口真空泵。
7.充氮系統(tǒng)
采用惰性氣體進(jìn)氣閥,不銹鋼無(wú)縫焊接管路,搭配日本進(jìn)口電磁閥,截止閥,耐壓,無(wú)泄漏。臺(tái)制氮?dú)饬髁坑?jì),壓力調(diào)節(jié)閥,可充入氮?dú),氬氣等多種惰性氣體,氮?dú)饬髁浚淙霑r(shí)間可控制。
8.HDMS注液系統(tǒng)
防爆型HDMS制劑瓶,配置不銹鋼藥液管道,電磁回流閥,真空狀態(tài)打開(kāi)閥門自動(dòng)注液,安全密封無(wú)泄漏。
9.安全保護(hù)系統(tǒng):
配置機(jī)臺(tái)異常工作狀態(tài)指示報(bào)警,安全斷路器,過(guò)壓過(guò)載保護(hù),控制線路保險(xiǎn)管,超溫保護(hù),壓力過(guò)載保護(hù),安全急停開(kāi)關(guān)、工作狀態(tài)三色指示燈。所用電器器件及氣動(dòng)元件均采用國(guó)內(nèi)外一流大廠正品,確保安全可靠。
四、選配件:
1.多通道溫度記錄儀:帶RS485通訊端口,曲線模式,多點(diǎn)溫度同屏顯示,可存儲(chǔ)記錄,配置USB接口,插入U盤到處數(shù)據(jù),亦可配置打印機(jī),打印溫度曲線。
2.壓力記錄儀:彩色液晶屏壓力記錄儀,在線監(jiān)控箱內(nèi)壓力,帶RS485通訊端口,可存儲(chǔ)記錄數(shù)據(jù),亦可通過(guò)軟件連接電腦,導(dǎo)出數(shù)據(jù)。HMDS烘箱|晶圓HMDS預(yù)處理烘箱技術(shù)咨詢
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二. 主要技術(shù)參數(shù) : 規(guī)格型號(hào) LDS-1 LDS-2 LDS-3 LDS-5 LDS-10 最大試驗(yàn)力 (KN) 1 2 3 5 10 測(cè)量范圍 1%-100%FS 加載速度 0.2—500mm/min 最小顯示力值 0.1N 示值精度( 優(yōu)于示值的) ±1% 拉伸最大距離 (mm) 650mm可定制 壓盤間最大距離 (mm) 800mm可定制 上下壓盤尺寸 (mm) 100mm 100mm 100mm 100mm 拉伸夾具類型(標(biāo)配一副) 線材纏繞式夾具、對(duì)夾式夾具、杠桿式夾具等可選擇 主機(jī) ( mm ) 500 ×400 ×1600
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種類 | 對(duì)射光纖管 |
型號(hào) | DS-310 |
規(guī)格 | 1米*2 |
1.概述
腹瀉性貝類毒素檢測(cè)試劑盒的原理是酶聯(lián)免疫吸附測(cè)定法,用于水及水產(chǎn)品中腹瀉性貝類毒素的定量測(cè)定。岡田酸是腹瀉性貝類毒素的一種。對(duì)于水產(chǎn)品需要做前處理,不可以直接檢測(cè)。如果需要的話陽(yáng)性樣品可以通過(guò)HPLC和GC/MS來(lái)驗(yàn)證。
2.安全性說(shuō)明書(shū)韓生13828743512 企鵝號(hào) 1050278014
試劑盒中的標(biāo)準(zhǔn)溶液里含有少量的岡田酸。底物中包含有四甲基聯(lián)苯胺,終止液中含有稀硫酸。要避免
皮膚和粘膜與終止液接觸,如果不小心接觸了請(qǐng)馬上用水沖洗。
3.保存和穩(wěn)定性
試劑盒應(yīng)保存在2-8℃,不要冷凍。在使用之前要把試劑盒中的溶液回復(fù)到室溫(20-25℃)。期內(nèi)試劑盒中的試劑都可以使用。
4.原理
試劑盒的原理是直接競(jìng)爭(zhēng)ELISA法,通過(guò)特異性抗體來(lái)識(shí)別岡田酸。當(dāng)樣品中含有岡田酸時(shí),樣品中的岡田酸與岡田酸酶結(jié)合物競(jìng)爭(zhēng)結(jié)合溶液中的岡田酸抗體。岡田酸抗體與包被在微孔板上的羊抗鼠二抗結(jié)合。經(jīng)過(guò)一步洗滌加入底物溶液,產(chǎn)生有色反應(yīng)。產(chǎn)生的綠色的顏色深度與樣品中岡田酸的含量成反比。加入反應(yīng)停止液后使顏色由藍(lán)色轉(zhuǎn)變?yōu)辄S色。用酶標(biāo)儀在450nm處測(cè)定吸光度值。通過(guò)繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線來(lái)計(jì)算樣品中岡田酸的含量。
5. 岡田酸試劑盒的局限性和可能的干擾
對(duì)在水樣中經(jīng)常出現(xiàn)的多種有機(jī)物和無(wú)機(jī)物已近作過(guò)檢測(cè)對(duì)此試劑盒并無(wú)干擾。由于化合物的易變質(zhì)性由基質(zhì)反應(yīng)引起的干擾是不可能避免的。操作不當(dāng)也可能導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果錯(cuò)誤,比如:試劑盒保存條件不對(duì)、錯(cuò)誤的加液順序、試劑的量沒(méi)有加、孵育的時(shí)間太長(zhǎng)或太短、孵育的溫度太高或太低。與其它檢測(cè)方法一樣對(duì)陽(yáng)性結(jié)果要求通過(guò)其它傳統(tǒng)的方法來(lái)驗(yàn)證。
6.岡田酸測(cè)定的重要性
岡田酸是腹瀉性貝類毒素的一種,受岡田酸污染的貝類和有害藻類大量繁殖的有關(guān)。DSP可以引起劑量依賴型的腹瀉、惡心、嘔吐癥狀。FDA對(duì)ASP的限量是0.2ppm。歐洲是160ug。這個(gè)試劑盒可以檢測(cè)40個(gè)樣品(做兩個(gè)重復(fù))。需要少量的樣品,檢測(cè)時(shí)間少于2小時(shí)。
7.試劑盒特性
敏感性:1.7ng/ml
重復(fù)性:標(biāo)準(zhǔn)的變異系數(shù)小于10%,樣品的變異系數(shù)小于15%
特異性:
腹瀉性貝類毒素檢測(cè)試劑盒能檢測(cè)Okadaic acid及其它DSP,它們的結(jié)合程度是不同,以下表格中展示的是相關(guān)值及交叉反映率(%CR),以下所有濃度均為ppb級(jí)。
種 類 | % CR | 種 類 | % CR |
Okadaic Acid (DTX) | 100% | Dinophysistoxins DTX-2 | 50% |
Dinophysistoxins DTX-1 | 50% |
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樣品:水樣和貝類產(chǎn)品
標(biāo)準(zhǔn)曲線:
A.試劑盒組成:
1、包被二抗的微孔板(羊抗兔)
2、標(biāo)準(zhǔn)(7種)0、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、ng/ml
3、岡田酸抗體溶液(兔抗岡田酸)6ml
4、岡田酸酶標(biāo)記物6ml
5、樣品稀釋液(10倍濃縮)25ml,用于稀釋樣品
6、5x 濃縮洗液100ml
7、顯色液(底物)TMB,16ml
8、終止液12ml
B 測(cè)試前準(zhǔn)備
微量移液器和吸頭是必須使用的,推薦使用排槍加液這樣可以確保整個(gè)微孔板上的孔在每個(gè)步驟的反應(yīng)時(shí)間趨于一致。在做同一次測(cè)試時(shí)要使用同一個(gè)盒子里的試劑和標(biāo)準(zhǔn)。在操作前仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū)。
1、使用前將所有的試劑拿到室溫(19℃-25℃)。
2、從鋁箔袋中拿出要求數(shù)量的微孔條,放入干燥劑并重新封好袋子以免微孔條受潮。置于4-8℃保存。
3、標(biāo)準(zhǔn)液,對(duì)照,酶結(jié)合物,底物,終止液不用稀釋直接使用。
4、洗液在使用前要以1:5的比例稀釋后使用(100 mL 5X 洗液加 400 mL 無(wú)離子水)
5、由于終止液中含稀硫酸拿的時(shí)候要小心。
HY-TDS2000系列超聲波流量計(jì) 管徑:20mm~3000mm 流速:0.01~30m/s 溫度:-20~+80℃ 介質(zhì):各種流動(dòng)液體非接觸測(cè)量 輸出4~20mA(有計(jì)算機(jī)接口),儀器顯示出累計(jì)、瞬時(shí)流量。
廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域: ◆測(cè)量介質(zhì) HY-TDS2000能夠測(cè)量水、海水、污水、酸堿化學(xué)溶液、食物油、汽煤油、柴油、原油、酒精等各種能傳播超聲波的液體。 ◆管道類型 HY-TDS2000能夠測(cè)量管徑DN20mm至DN3000mm的鋼、不銹鋼、玻璃鋼、鑄鐵、水泥、玻璃、塑料、PVC等一切質(zhì)地致密管道。 ◆工作環(huán)境 HY-TDS2000能夠測(cè)量水廠、污水處理廠、電廠、石油、化工、食品、醫(yī)藥、造紙制漿等各種環(huán)境下的管道。 ◆使用功能 HY-TDS2000能夠用來(lái)流量計(jì)量、泄漏檢測(cè)、自動(dòng)化設(shè)備流量控制;熱量計(jì)量、采集、平衡;以及流量、熱量計(jì)算網(wǎng)絡(luò)管理、網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控等。 ◆接口功能 HY-TDS2000有繼電器、12-9999Hz的頻率、4-20mA電流環(huán)、RS-232/485等各種信號(hào)輸出接口。 ◆機(jī)器型號(hào) 固定式、便攜式、盤裝式;外夾式、插入式、管段式任意選用。
工作電壓:3.0V-5.5V測(cè)溫范圍:-55℃-+125℃分辯率:9--12位可調(diào)最小溫度分辨率:0.0625℃測(cè)量精度:-10℃-+85℃范圍內(nèi)±0.5℃輸出接口:數(shù)字信號(hào),1-Wire 總線封裝特性:不銹鋼管密封,防水、防腐蝕 零售價(jià)格:48元/只
DPO/DSA/MSO70000系列示波器提供了杰出的信號(hào)采集性能和分析功能。它在全部4條通道上提供了完善的采集性能,發(fā)現(xiàn)實(shí)際信號(hào)。它提供了業(yè)內(nèi)最高的波形捕獲功能,可以捕獲更多的信號(hào)細(xì)節(jié)。專門的一系列工具提供了更快的設(shè)計(jì)和一致性測(cè)試功能,自動(dòng)設(shè)置、采集和分析高速串行數(shù)據(jù)信號(hào)。
數(shù)字和混合信號(hào)示波器DPO/DSA/MSO70000 系列產(chǎn)品技術(shù)資料 |
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快速選型指南
單通道DS18B20溫度測(cè)控儀 單通道DS18B20溫度測(cè)控儀與DS18B20數(shù)字輸出的傳感器配合,完成溫度顯示和控制.儀表誤差小于0.5%F.S, 具有2點(diǎn)報(bào)警輸出,并帶有RS485輸出接口,與計(jì)算機(jī)聯(lián)網(wǎng),實(shí)現(xiàn)集中控制與單表顯示功能.適用于冷凍庫(kù),糧倉(cāng),儲(chǔ)罐,電訊機(jī)房,電力機(jī)房,電纜線槽等測(cè)溫和控制,軸瓦,缸體,紡機(jī),空調(diào),等狹小空間工業(yè)設(shè)備測(cè)溫和控制。
1: 技術(shù)性能1.1 輸入信號(hào) DS18B20 (9~12位數(shù)字輸入)1.2 顯示范圍: -55~125℃1.3 顯示顏色: 綠色1.4 基本誤差: 小于0.5%F.S,分辨率 0.1℃1.5 報(bào)警輸出: 2點(diǎn)繼電器輸出,觸點(diǎn)容量220V AC/3A 1.6 變送輸出: 4~20mA, 1~5V輸出等 (可選)1.7 外供電源: 24V/DC 用于給變送器供電 (可選)1.8 通訊接口: RS485或RD2321.10 通訊速率: 4800,9600等可設(shè)定1.11 電 源: 85V~265V/AC1.12 外形尺寸 160(W)×80(H)×125 或80(W)×160(H)×125(L) 96(W)×96(H)×76(L) 96(W)×48(H)×82(L) 或48(W)×96(H)×82(L) 72(W)×72(H)×75(L) 48(W)×48(H)×108(L)2:端子接線圖 只需要將傳感器DS18B20的 Vcc,I/0,GND出線端接在儀表的相應(yīng)端 子上即可.