四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(ndir),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的sif4、wf6、cf4、sf6、nf3、co2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
更新時(shí)間:2024-11-21