美國oai 358紫外線照度計(jì),oai 358強(qiáng)度能量計(jì),358光度計(jì)用于asml、佳能、尼康和超技術(shù)高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)器。基于微處理器的358型外線強(qiáng)度和能量計(jì)可測量、存儲(chǔ)和調(diào)用9個(gè)系列的讀數(shù)?勺x取365、400、420和436 nm波長的強(qiáng)度、能量和時(shí)間(4000 mw/cm², 999.9 mj/cm²)。
更新時(shí)間:2024-11-25