ultra半導(dǎo)體光掩模光刻機(jī)是門(mén)用于成熟半導(dǎo)體光掩模的合格激光掩模機(jī)。半導(dǎo)體光掩模用于制造電子設(shè)備,包括微控制器、電源管理、led、物聯(lián)網(wǎng) (iot) 和 mems。ultra 是一種經(jīng)濟(jì)型光刻機(jī)解決方案,具有高吞吐量、精度和結(jié)構(gòu)均勻性以及其精確的對(duì)準(zhǔn)所需的所有特性和功能。標(biāo)準(zhǔn)配置包括全自動(dòng)掩模處理、zerodur® 平臺(tái)、低失真光學(xué)元件和高精度位置控制等功能。
更新時(shí)間:2024-08-14