fz-14m(g)區(qū)熔晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)為制備單晶硅晶體樣品而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā),該系統(tǒng)用于工業(yè)多晶硅生產(chǎn)中的材料分析。生產(chǎn)過(guò)程中的小型多晶體樣品在氬氣環(huán)境中被感應(yīng)熔化,并在籽晶上結(jié)晶,形成單晶,然后進(jìn)行光譜分析,以檢測(cè)和記錄所生產(chǎn)的多晶硅質(zhì)量。該系統(tǒng)采用無(wú)接觸熔化工藝,通過(guò)使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過(guò)程中的污染。
更新時(shí)間:2024-08-15