批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),其模塊化控制系統(tǒng)使用新一代處理器,基于 linux 平臺(tái)作為操作系統(tǒng),以及圖形用戶界面 (gui)。因此,可支持手動(dòng)和全自動(dòng)控制過(guò)程,并且通過(guò) mfc 控制過(guò)程氣體。在此過(guò)程中,所有參數(shù)都被寫(xiě)入程序并存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中。與此同時(shí),當(dāng)?shù)膲毫χ、氣體流量值、輸出值等都顯示在顯示屏上,如果當(dāng)值偏離設(shè)定值,則會(huì)觸發(fā)相應(yīng)的警報(bào)。
更新時(shí)間:2024-08-13