半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleccr系統(tǒng))、4.5k(dualccr系統(tǒng))甚至低于4k(triple ccr系統(tǒng))的情況下能夠快速、經(jīng)濟地進行測試。低溫探針臺,設計用于支持在真空或氣體環(huán)境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統(tǒng)精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統(tǒng)建立在一個振動補償?shù)亩喙δ芷脚_上,能夠配置來各種測試應用程序。
更新時間:2024-10-21