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  在LED芯片制造中,需要經(jīng)過(guò)好幾次光刻,每一次完整的光刻工藝一般包括前烘、涂膠、軟烤、曝光、顯影、堅(jiān)膜等基本步驟。要求特別高的光刻步驟往往在前烘前需要?dú)庀喑傻啄ぬ幚?即在將晶片用濕法清洗臟污后甩干,為了增強(qiáng)晶片與光刻膠之間的黏附性,用六甲基二硅胺烷(HMDS)做成底膜處理。目前在LED芯片制造中用HMDS成膜處理一般是在一個(gè)集脫水烘焙和氣相成膜兩種作用的真空腔中進(jìn)行,這種方法可以實(shí)現(xiàn)批量處理。待處理晶片放在真空腔中的熱板上,用氮?dú)庾鳛檩d氣將HMDS蒸氣通入腔室中,達(dá)到預(yù)先設(shè)定的壓力對(duì)晶片進(jìn)行成膜處理,完畢后將腔室中的氣體抽空,然后通氮?dú)獾匠?。JS-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)對(duì)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、工作真空度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間及次數(shù)等參數(shù)可修改編輯。

LED氣相成底膜處理系統(tǒng)，氣相成底膜真空烘箱技術(shù)參數(shù)

電源電壓：AC 380V±10%/50Hz±2%

輸入功率：4000、6000W

溫度范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：±0.5℃

達(dá)到真空度：133Pa

工作室尺寸（mm）：450*450*450，800*800*800（可自定義）

擱板層數(shù)：2層

真空泵：進(jìn)口無(wú)油泵

LED氣相成底膜處理系統(tǒng)，氣相成底膜真空烘箱特點(diǎn)

1、預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會(huì)有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低，所以有著更好的處理效果。JS-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)箱體外殼采用高級(jí)不銹鋼制作，內(nèi)膽為316L醫(yī)用專用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

3、效率高,液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片，可處理2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片等

4、更加節(jié)省藥液,實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多；

5、 更加環(huán)保和安全，整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激、呼吸道等，由于整個(gè)過(guò)程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。

6、JS-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)帶有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

  LED氣相成底膜處理系統(tǒng)，氣相成底膜真空烘箱更先進(jìn)、智能型設(shè)備詳情請(qǐng)咨詢上海雋思儀器。

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二,防水堵漏混凝土結(jié)構(gòu)滲漏的原因由于模板表面粗糙或清理不干凈,模板澆水濕潤(rùn)不夠,脫模劑涂刷不均勻,接縫不嚴(yán),振搗混凝土不密實(shí)等原因,防止混凝土出現(xiàn)蜂窩,孔洞,麻面,引地下水滲漏。墻板和底板,以及墻板和墻板之間的施工縫留置不當(dāng),施工縫內(nèi)雜物清理不干凈,新舊混凝土之間形成夾層,地下水沿施工縫滲入。由于穿墻管道未設(shè)置止水法蘭盤,管道未作認(rèn)真處理,使周圍混凝土與管道黏結(jié)不嚴(yán),造成滲漏水。由于混凝土中砂石含泥量大,養(yǎng)護(hù)不及時(shí)等,產(chǎn)生干縮和溫度裂縫,造成滲漏水?；炷羶?nèi)的預(yù)埋件表面沒(méi)有認(rèn)真清理,對(duì)周圍混凝土振搗不密實(shí),埋件與混凝土黏結(jié)不嚴(yán)密而產(chǎn)生縫隙,致使地下水滲入。

三,卷材 防水堵漏 層滲漏的原因由于保護(hù)墻和地下工程主體結(jié)構(gòu)沉降不同,防水卷材粘在保護(hù)墻上后,卷材被拭撕裂而造成滲水。卷材的壓力和搭接接頭寬度不夠,搭接不嚴(yán),有的甚至在搭接處張口而造成滲漏。由于管道處的卷材與管道黏結(jié)不嚴(yán),出現(xiàn)張口翹邊現(xiàn)象,地下水沿此處進(jìn)入室內(nèi),產(chǎn)生滲漏由于卷材防水堵漏韌性較差,結(jié)構(gòu)不均勻沉降時(shí)卷材被破壞而產(chǎn)生滲漏。結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)交處卷材鋪貼不嚴(yán)實(shí),后澆或后砌結(jié)構(gòu)時(shí),卷材被破壞而產(chǎn)生滲漏?！锾胤N行業(yè),國(guó)內(nèi)首創(chuàng),江蘇宏盛堵漏,面向全球!★企業(yè)理念一個(gè)中心：以客戶為中心！一個(gè)承諾：一切讓您滿意！三個(gè)一流：一流的速度、一流的技能、一流的態(tài)度；四項(xiàng)控制：客戶滿意度≥90%、服務(wù)投訴率＜1%、服務(wù)差錯(cuò)率＜1% 、安全保障率=100%；五心運(yùn)作：我們做到：用心、愛(ài)心、熱心、誠(chéng)心、虛心；

服務(wù)宗旨：“保證質(zhì)量、講究信譽(yù)、確保安全、信守合約、定期回訪” 施工特點(diǎn)：“不搭腳手、無(wú)需停產(chǎn)、高懸作業(yè)、先進(jìn)技術(shù)、誠(chéng)信天下”****************************************************************                 聯(lián)系人：沈  超　           熱  線：(0)151--6555 ；（0）136 7158          電  話：0515-88699288

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