| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 壓力范圍（psi） | | | | | ||
| （參照附錄） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標(biāo)定點(diǎn) | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零點(diǎn)電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點(diǎn)漂移 | | | | | ||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | | | | | ||
| 輸出電壓漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25?C | -4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | +24.0% 讀數(shù) | -5% 讀數(shù) | ||
| +25~+85?C | +4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | -24.0% 讀數(shù) | +5% 讀數(shù) | ||
| 重復(fù)性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數(shù) | ± 1% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1% 讀數(shù) | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模壓力（psi） <, /TD> | | 25 | | |||
| 工作溫度 | -25~85?C | | | |||
| 儲(chǔ)存溫度（?C） | -40~90?C | | | |||
| 沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| 推薦型號(hào) | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
| AWM3200V | ±2 英寸水 |
| AWM3300V | +1000SCCM |
微橋氣流質(zhì)量傳感器是基于氣流流過傳感元件的熱傳輸工作原理，傳感器輸出電壓正比于流過內(nèi)部傳感元件的進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量；诘奈⒔Y(jié)構(gòu)技術(shù)，傳感器內(nèi)含一塊獨(dú)特的硅芯片-它包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路，橋電路對(duì)流過芯片的氣流快速、靈敏的響應(yīng)。發(fā)熱體兩側(cè)的敏感元件還能指示氣流流過的方向。激光校整的厚膜電路及薄膜電阻了每個(gè)元器件一致的性能。微橋式氣流質(zhì)量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中，他們被懸掛起來在硅片刻蝕空洞上形成橋狀，如右圖顯示，芯片被精確的安放在氣流通道上，流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供發(fā)熱體和熱敏元件之間的熱隔離。微橋式氣流質(zhì)量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應(yīng)及高靈敏度。特殊設(shè)計(jì)的殼體精確地引導(dǎo)和控制氣流流過微橋，并能很方便的安裝在印刷線路板上。雙惠斯頓電橋控制氣流的測(cè)量一個(gè)提供閉環(huán)的發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙傳感元件，發(fā)熱器控制線路把由于周圍環(huán)境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到最小程度。此線路保持發(fā)熱器溫度恒定高于周圍環(huán)境溫度160?C，周圍環(huán)境溫度由芯片上的熱敏電阻測(cè)量得知，惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過芯片表面，另外熱遷移效應(yīng)能移走微米級(jí)的粒子，清潔了微電路，使用一些運(yùn)用中可能存在的污染被減少，在我們的加速壽命試驗(yàn)中，在低于50sccm速度氣流的典型的工業(yè)環(huán)境下，氣流質(zhì)量傳感器能達(dá)到20 年的預(yù)測(cè)壽命。由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡單地使用過濾網(wǎng)而解決，使用小格柵和高氣流阻抗的過濾網(wǎng)可得到的過濾效果- 當(dāng)大量灰塵堆積在過濾網(wǎng)上時(shí)，綜合阻抗不會(huì)顯著變化，可采用一次性使用的5 微米格柵的過濾網(wǎng)。特點(diǎn)：* 的微加工技術(shù)* 低氣流速度敏感-0.1sccm* 檢測(cè)流量200 升/ 分鐘* 快速響應(yīng)，低電流損耗，高反應(yīng)重復(fù)性* 激光刻蝕提供了器件的一致性* 低壓力精確測(cè)量（0.001-4”水柱）典型運(yùn)用：* HVAC 的風(fēng)門擋板控制* 氣體分析儀* 低真空控制* 過程控制* 醫(yī)用呼吸儀和肺活量儀* 氧氣供應(yīng)* 麻醉控制儀* 氣體標(biāo)定注意：AWM 傳感器不能用于液體質(zhì)量測(cè)量，當(dāng)流過高速的液體流量時(shí)，傳感器可能會(huì)遭到破壞。
AWM2000系列氣體流量傳感器: AWM2000系列為無源器件，包含兩個(gè)惠斯頓電橋：一個(gè)為閉環(huán)的發(fā)熱控制電路，一個(gè)為雙傳感電路. 。雙向氣流傳感 。實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感 。流速0~30sccm 到0~1000sccm 。能承受最大共膜壓力25PSI 。需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC 。輸出電壓:最大50mV AWM3000系列氣體流量傳感器: AWM3000 系列是輸出為1-5V 或4~20mA的氣體質(zhì)量流量傳感器 。激光校整了一致的互換性 。測(cè)量流速可至1.0LPM 。能承受最大共膜壓力25PSI 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC AWM40000系列氣體流量傳感器： AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號(hào)處理的信號(hào)。氣體流量傳感器有一個(gè)由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜隔熱的電橋式結(jié)構(gòu)。該電橋式結(jié)構(gòu)對(duì)流過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應(yīng)。AWM43600V 為6SLPM 器件。它主要的特點(diǎn)是： 。的微加工技術(shù) 。檢測(cè)流量0-6SLP 。工作溫度可至125℃ 。可承受150PSI的共膜壓力 ？焖夙憫(yīng)，低電流損耗。 。零點(diǎn)和滿量程高穩(wěn)定性 應(yīng)用場(chǎng)合 ： 電纜充氣機(jī)，醫(yī)用呼吸機(jī)和肺活量儀，氣體檢測(cè)設(shè)備，氣體標(biāo)定 AWM5000 系列氣體流量傳感器 AWM5000 系列為文丘里流量管形外殼，可以測(cè)量至20 升/分鐘，最大壓降2.25"水的氣流. 微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。每個(gè)AWM5000系列產(chǎn)品 都包括含放大` 線性修正` 溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定，氣體標(biāo)定通過激光校整得到。各種流量接口可選 。文丘里管設(shè)計(jì) 。遠(yuǎn)程安裝 。激光校整CO2，N2 氬氣的標(biāo)定 。能承受50psi的共模壓力 。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC 。工作溫度:-20~+70℃ AWM700 系列氣體流量傳感器 AWM700系列微橋大流量傳感器，提供了在線流量測(cè)量，和一個(gè)特殊設(shè)計(jì)的旁路封裝，這種傳感器測(cè)量流量可至標(biāo)準(zhǔn)200 標(biāo)準(zhǔn)升/ 分鐘（200SLPM），同時(shí)導(dǎo)致1 英寸水柱的壓降典型值。AWM720P1實(shí)現(xiàn)了小封裝下的大流量范圍，AWM720P1有一個(gè)6ms反應(yīng)時(shí)間，10V直流供電，耗電僅60mW，緊湊的塑料封裝，可承受過壓至25PSI，而不影響指標(biāo)。傳感器的AMP兼容連接件提供了的電氣連接。此傳感器也很適合于便攜設(shè)備和電池供電設(shè)備。AWM700系列傳感器，主要是為醫(yī)療呼喚機(jī)市場(chǎng)開發(fā)的，可以滿足許多醫(yī)療和分析儀器的應(yīng)用需求！ 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC 。能承受25psi的共模壓力