精確測定物質(zhì) 晶體結(jié)構(gòu)、應(yīng)力測定 物相分析 定量分析*X射線發(fā)生器額定功率3KW(60kV,80mA)。由計(jì)算機(jī)控制kV、mA升降、 光閘開、關(guān) 。kV、mA 穩(wěn)定度在 ±0.02% 以內(nèi),配有2kW銅靶X射線管。光路線上有內(nèi)置防護(hù)罩,工作臺(tái)上有鉛玻璃防護(hù)罩,無射線輻射。有無kV,mA,kV,mA等保護(hù)功能。X射線發(fā)生器穩(wěn)定度:<0.02%輸出電壓控制:1kV/step輸出電流控制:1mA/stepX射線管:2KW.Cu
Y-2000 X射線衍射儀 產(chǎn)品說明:
系統(tǒng)組成 ◆高穩(wěn)定度X射線發(fā)生器及防護(hù)系統(tǒng); ◆冷卻循環(huán)水裝置; ◆測角儀(臥式或立式); ◆數(shù)字化記錄控制單元及探測器; ◆衍射儀操作系統(tǒng)及應(yīng)用分析軟件包; ◆高穩(wěn)定度X射線發(fā)生器及防護(hù)系統(tǒng)。儀器各部分的技術(shù)規(guī)格及技術(shù)指標(biāo) Y-2000X射線衍射儀采用單片機(jī)控制技術(shù),模塊化設(shè)計(jì),使高壓發(fā)生器部分控制精確、穩(wěn)定、自動(dòng)化程度高,高壓的開關(guān)及升降、光閘的開關(guān)均由計(jì)算機(jī)終端控制。為了使儀器自動(dòng)化程度更高、性能更穩(wěn)定,我們研制了高頻高壓X射線發(fā)生器。該產(chǎn)品采用高頻高壓技術(shù),拋棄以往的倍壓整流模式,體積小、重量輕且故障率極低! 茈妷海10~60kV由計(jì)算機(jī)終端自動(dòng)控制(1kV/step); ▲管電流:5~80mA由計(jì)算機(jī)終端自動(dòng)控制(1mA/step); ▲管電壓、管電流穩(wěn)定度≤0.3‰; ▲額定輸出功率:3kW; ▲有過壓、過流、過功率、無壓、無水,X光管超溫保護(hù); ▲光閘開關(guān)由計(jì)算機(jī)終端自動(dòng)控制; ▲防護(hù)系統(tǒng)為雙重防護(hù),且光閘窗口與防護(hù)罩連動(dòng),鉛門打開光閘自動(dòng)關(guān)閉。射線防護(hù)達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)要求,不大于2.5uSv/h。測角儀(臥式或立式) Y-2000X射線衍射儀采用計(jì)算機(jī)控制,精度高。測角儀角度單向重復(fù)性優(yōu)于國家標(biāo)準(zhǔn)A級,測角儀單向轉(zhuǎn)角累積誤差達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)A級。在計(jì)算機(jī)控制下,步進(jìn)電機(jī)控制測角儀的轉(zhuǎn)動(dòng)方向(正向或反向),可自動(dòng)進(jìn)行角度校正,消除空程和丟步檢測! 鴴呙璋霃剑185mm; ▲測量范圍:00~1600(臥式);-300~1600(立式); ▲轉(zhuǎn)速:1000/min; ▲驅(qū)動(dòng)方式:θ單動(dòng)、2θ單動(dòng)、θ-2θ聯(lián)動(dòng); ▲掃描方式:連續(xù)掃描和階梯掃描; ▲最小步進(jìn)角:0.0050; ▲連續(xù)掃描速度:0.0050~1.270/S; ▲階梯掃描步寬角度:0.005~1600; ▲2θ角測量精度:≤0.010; ▲2θ角度單向重復(fù)性≤0.0010; 冷卻循環(huán)水系統(tǒng) Y-2000X射線衍射儀采用帶制冷功能的循環(huán)水裝置。該裝置自動(dòng)控制水溫并顯示X光管水溫,溫度范圍可自動(dòng)選擇。自帶制冷系統(tǒng),無需外接循環(huán)水冷卻裝置,并且采用不銹鋼水泵,使噪音降到極低并且消除了水銹的產(chǎn)生,避免X射線管的堵塞。數(shù)字化記錄控制單元及探測器 ▲自動(dòng)控制微分、積分方式的轉(zhuǎn)換; ▲自動(dòng)作脈沖高度分布曲線; ▲基線和道寬自動(dòng)控制:0%~99%; ▲連續(xù)可調(diào)的探測器高壓: 0~2000V; ▲探測器高壓穩(wěn)定度: 優(yōu)于±0.03%; ▲最大線性計(jì)數(shù):500,000cps; ▲封閉閃爍計(jì)數(shù)器或正比計(jì)數(shù)器 ▲能譜分辯率(Cu、Kα譜線): 閃爍計(jì)數(shù)器≤60%; 正比計(jì)數(shù)器≤25%。
作為X射線衍射儀(XRD)家族中一款顛覆性的產(chǎn)品,與傳統(tǒng)臺(tái)式XRD相比較,Innov-x Terra具有以下優(yōu)勢:1
新D8A的特點(diǎn):1、 采用新一代的陶瓷X光管技術(shù),焦斑位置穩(wěn)定,衰減小,壽命長;而且該光管為標(biāo)準(zhǔn)尺寸,對用戶的限制小;因?yàn)椴捎玫氖欠忾]靶技術(shù),后期維護(hù)非常方便;2、 全自動(dòng)可變狹縫,用戶可以自由選擇固定狹縫大小或固定測量面積模式;3、 高精度立式測角儀,樣品水平放置,最小步長及角度重復(fù)性皆為0.0001o;測角儀精度保障:國際NIST 剛玉標(biāo)樣用戶現(xiàn)場檢測,全譜范圍內(nèi)所有峰的角度偏差不超過±0.01o;4、 林克斯一維陣列探測器:相對與常規(guī)探測器強(qiáng)度提高150倍以上,靈敏度提高一個(gè)數(shù)量級5、 分析軟件:好用、功能強(qiáng),所有參數(shù)調(diào)整采用動(dòng)態(tài)調(diào)整、所見即所得的方式,簡單、快捷6、 在薄膜應(yīng)用上,布魯克的新D8A衍射儀,采用TWIN-TWIN光路設(shè)計(jì),可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)入射及衍射光路上,狹縫到鏡子、狹縫到平行光狹縫的自動(dòng)切換,用戶只需在軟件上通過下拉菜單選擇需要的光學(xué)器件即可,解決了以前需要人工置換,重新對光的麻煩;7、 在點(diǎn)光源應(yīng)用上(包括微區(qū)、織構(gòu)、應(yīng)力),新D8A采用了TWIST TUBE技術(shù),用戶可以直接將光管轉(zhuǎn)90度即刻完成點(diǎn)線光源的切換,而無需拆卸光管。8、 在原位分析應(yīng)用上,新D8A配備了高低溫一體化設(shè)計(jì),溫度范圍-180oC到+1600oC,高低溫模塊之間的切換只需更換加熱模塊,而無需更換整個(gè)樣品臺(tái);而且該樣品臺(tái)為高度自動(dòng)可調(diào)樣品臺(tái),對于不同高度的樣品,均能應(yīng)付自如。
主要特點(diǎn) 促進(jìn)直徑達(dá)到 300 mm晶片的分析,并有精密的自動(dòng)晶片裝載選擇,X"Pert PRO MRD XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的的分析手段。 | ||
帕納科的 X"Pert PRO材料研究衍射系統(tǒng)是X射線衍射研究最靈活的系統(tǒng),用于: · 材料科學(xué)和納米技術(shù) · 半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的計(jì)量 可以適用各種應(yīng)用,尤其適合薄膜分析,例如: · 振動(dòng)曲線分析和交互空間圖 · 反射儀和薄膜相分析 · 殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析 同已經(jīng)證明的標(biāo)準(zhǔn)版本系統(tǒng)一樣,還有許多專門的版本: · X"Pert PRO MRD平面衍射系統(tǒng),可以測量與樣品表面垂直的晶格衍射 · X"Pert PRO Extended MRD 允許裝備 X射線鏡像和在線高分辨單色器,增強(qiáng)入射光束的強(qiáng)度。 · X"Pert PRO MRD XL 滿足半導(dǎo)體,薄膜和工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。 |
X射線衍射儀
特點(diǎn): 1. 進(jìn)的控制軟件和應(yīng)用軟件滿足所有物質(zhì)分析的需要;
2. 高精度的衍射角度測量系統(tǒng),獲取更的分析結(jié)果;
3. 高穩(wěn)定性的X射線發(fā)生器和高性的記錄控制單元,得到更穩(wěn)定的重復(fù)測量精度;
4. 儀器自動(dòng)校準(zhǔn),X射線管的訓(xùn)練功能,更易于儀器維護(hù);
5. 結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì),程序化操作,使儀器外形美觀,操作簡便;
6. 射線散射劑量低于1μSv/h,光閘與射線防護(hù)設(shè)備連鎖,避免操作者受射線輻射。