便攜式有毒氣體檢測儀,便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀,半導(dǎo)體材料氣體檢漏儀(自動吸引式) 最適合于檢測半導(dǎo)體材料氣體的微量泄漏采用聲光報(bào)警。檢測對象氣體:半導(dǎo)體材料氣體(砷、膦、乙、硅烷、氫氣等) 檢測原理:熱線型半導(dǎo)體式采樣方式:自動吸引式可檢測濃度(單位:ppm):砷烷(AsH3)0.2; 磷烷 (PH3)0.3 ; 乙(B2H6)0.1; 硅烷(SiH4)0.5; 氫氣(H2)1.0檢測表示:蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 應(yīng)答速度:10秒以內(nèi)
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檢測氣體一覽表:
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