項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號(hào) | EM13 LD/635 (或其它選定波長(zhǎng)) |
激光波長(zhǎng) | 635 nm (或其它選定波長(zhǎng),高穩(wěn)定半導(dǎo)體激光器) |
膜厚測(cè)量重復(fù)性(1) | 0.5nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測(cè)量重復(fù)性(1) | 5x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測(cè)量時(shí)間 | 與測(cè)量設(shè)置相關(guān),典型3s |
的膜層范圍 | 透明薄膜可達(dá)1000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度) |
激光光束直徑 | 2mm |
入射角度 | 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),步進(jìn)5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° 樣品對(duì)準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) |
樣品臺(tái)尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí)) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái),真空吸附泵 |
軟件(ETEM) | * 中英文界面可選 * 多個(gè)預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用 * 單角度測(cè)量/多角度測(cè)量操作和數(shù)據(jù)擬合 * 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出 * 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持 |