特點
實時顯示氫氟酸濃度可以通過導電率傳感器檢測氫氟酸濃度,通過<導電率>-<氟酸濃度>的檢量線,自動地實時顯示氟酸濃度。
實現(xiàn)了半導體制造工藝中低濃度范圍的高精度產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導體制造工藝中所使用的氫氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中,也實現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。
確保穩(wěn)定檢測的傳感器沉浸型傳感器已經(jīng)被PFA樹脂模塊化,所以不會因氫氟酸溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且,金屬等不純物不會溶入到樣品溶液中,因此可以對其進行穩(wěn)定的檢測。
裝有報警功能為了實現(xiàn)更加的工藝管理,分別具有濃度輸出以及濃度上限・濃度上上限・濃度下限・濃度下下限的報警輸出功能。
可以用于多用途采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型・輕便,最適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且,具有直接浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途自由選擇。
測量原理
2個環(huán)狀螺線管(T1是通過交流電的勵磁變壓器、T2是檢測變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當傳感器沉浸在溶液中時,溶液將在2個環(huán)狀螺線管之間產(chǎn)生一個閉合回路。如果環(huán)狀螺線管T1的線圈中通過一恒定的交流電流,則會在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場,依照樣品的導電率電流i流過樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線管T2中將會產(chǎn)生相應的磁場,并且在T2的線圈中將會產(chǎn)生感應電動勢。由于感應電動勢e(電壓)與樣品的電導率呈比例關(guān)系,通過測量e可得知電導率值。這樣經(jīng)過檢測的導電率和氫氟酸濃度存在極高的關(guān)聯(lián)性,可以根據(jù)預已知的參考曲線計算得出并顯示氫氟酸濃度。
規(guī)格
測量原理 | 電磁感應導電率檢測方式 |
檢測對象 | 水+氫氟酸溶液 |
量程 | 0〜1/2/5/10/20HFwt%(請您在訂貨時指定) |
再現(xiàn)性 | ±2% F.S |
響應時間 | 90%響應5秒以內(nèi)(恒溫條件下) |
樣品條件 | 溫度:25±3℃壓力:沉浸型0〜0.02MPa、流通型0〜0.1MPa |
顯示 | 氫氟酸濃度:最小顯示值0.001%(在0-1%量程中)報警: 濃度上限、上上限、下限、下下限 |
在線醋酸濃度計 型號:CN61M/EMC120AN | 貨號: |
H-EMC120AN 液體插入式 液體/漿體樣品濃度測試.如油品、化工液體、漿體等快速化驗 量程: 0-100% 精度:±0.5% 使用溫度: 0-100℃ |
·技術(shù)參數(shù)
測量范圍 | 濃度:(0.00~10.00)%HCL |
分 辨 率 | 0.01% 、0.1℃ |
電極常數(shù) | 1~55.0 cm-1間由軟件設(shè)定 |
溫補范圍 | 自動0~99.9℃,手動0~99.9℃ |
精 度 | ±2.0%(常用點校準后誤差可小于0.05%),±0.3℃ |
電流隔離輸出 | 4~20 mA(負載< 750 Ω)。 |
報警繼電器 | AC220V、3A,報警信號隔離輸出 |
通訊接口 | 隔離RS485(選配) |
電 源 | AC220V±22V ,50Hz±1Hz,可選配DC24V±2.4V |
防護等級 | IP65 |
工作條件 | 環(huán)境溫度0~60℃ ,相對濕度≤90℅ |
掉電保存 | >10年 |
重量、尺寸 | 0.8kg 、146×146×108 mm;開孔尺寸:138x138mm; |
德國S+H硫酸硼酸鹽酸濃度計 | |
測量精度 | 常規(guī):±0.05%(±0.000 07 RI/±0.05% Brix ) 常規(guī):±0.10%(±0.000 14 RI/±0.10% Brix ) 高精:±0.01%(±0.000 04 RI/±0.01% Brix ) |
分辨率 | 常規(guī):0.01%(0.000 01 RI/0.01% Brix) 常規(guī):0.02%(0.000 02 RI/0.02% Brix) 高精:0.002% (0.000 005RI/0.002% Brix) |
測量范圍 | 0-100Brix 0.00-100.00% 多量程段可選 |
檢測方式 | 即時檢測,可自定義檢測間隔 |
工作壓力 | 1 Mpa、145psi、10bar |
光學核心 | 無機械部件 高分辨率點陣CCD |
用戶標度量程 | 自定義曲線、遠程管理、不同標度同步顯示 |
環(huán)境溫度 | -10℃-50℃ |
光源 | LED光源,589nm波長,鈉光,100,000h壽命,自增益功能 |
防爆等級 | 本安型防爆 ATEX Class ib II A T4 |
儀表校驗 | 單點、多點標準校驗、原始留存、波動指示 |
過程工作溫度 | -10℃~﹢150℃ |
溫度補償功能 | 自動溫度補償 |
在線清洗功能 | 高壓水清洗可選;超聲波清洗可選 |
觸濕材料 | Sapphire或YAG釔鋁石榴石、不銹鋼,可選PTEE。 |
濕度控制 | 濕度控制系統(tǒng)、內(nèi)置濕度傳感器、濕度數(shù)據(jù)顯示、輸出等功能 |
輸出信號 | 兩組4~20 mA模擬輸出(可自定義輸出類型如濃度、溫度、濕度) 兩組數(shù)字開關(guān)輸出(負載可達 1A), 一組串行輸出RS232或RS485或USB |
安裝方式 | 法蘭、快接、螺紋等多種接口 罐體容器壁安裝、管線直接安裝等多種方式 |
電源 | 24 V DC 或110/220V AC |
數(shù)據(jù)處理儀(現(xiàn)場數(shù)據(jù)記錄、分析)可選、通用控制器(多臺聯(lián)控)可選 | |
*更詳細參數(shù)請參見樣本 | |
WQ-2083型酸濃度計 | |
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儀器特點: | 儀器帶有單片微型計算機,能對溶液作自動溫度補償3 1/2位液晶顯示,同時顯示被測溶液的溫度和濃度具有斷電保護功能具有(0~10)mA、(4~20)mA隔離輸出信號,其對應的濃度,可任意調(diào)節(jié)具有濃度上、下限報警功能,輸出觸點容量為:AC 220V,3A發(fā)送器電纜長度在30米內(nèi)不產(chǎn)生測量誤差配套發(fā)送器:DCGF-81型電導發(fā)送器 |
技術(shù)指標: | 1.測量范圍: 濃度:(0~8.0)%HC1;(0~8.0)%NaOH溫度:(5~45)°C2.儀器的基本誤差:濃度: ±0.3%HCI , ±0.3%NaOH;溫度:±1.0°C3.電子單元穩(wěn)定性:a)濃度: ±0.1%HCL/24h;±0.1%NaOH/24h4.自動溫度補償范圍:(5~40)°C5.水樣進、出口連接:Φ8(內(nèi)徑)×12增強聚氯乙烯(PVC)軟管6.測量探頭使用壓力:9.8×105Pa7.電子單元外形尺寸,mm:144×144×1508.電子單元開孔尺寸,mm:138×1389.電子單元重量:約1.5kg10.儀器正常工作條件a)環(huán)境溫度:(-5~50)°Cb)相對濕度:不大于90%c)供電電源:交流電壓(220±22)V;頻率(50±0.5)Hz;d)周圍空氣中無腐蝕性氣體存在;e)周圍除地磁場外無其它影響性能的電磁場存在;f)周圍無影響儀器性能的振動存在。 |