氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。
二 系統(tǒng)配置: ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主要包括以下器件:
序號 | 設(shè)備名稱 | 序列號 | 數(shù)量 |
1 | ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主機(包括一臺機械泵、一臺分子泵、一個質(zhì)譜室、信號放大器等儀器必須的部件。) | T0R00000B810 | 一套 |
2 | ALCATEL 200號油(1升/桶) | 068694 | 1桶 |
3 | 燈絲 FILAMENT | 053146 | 1備1用 |
三 技術(shù)規(guī)格:
| 靈敏度: | 5.0×10-12mbar.l/s |
| 漏率顯示范圍: | 5 ×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
| 達(dá)到檢漏的時間(空盒時): | 小于30秒 |
| 發(fā)射電流顯示: | 0.2—2mA |
| 檢漏口對氦氣的抽速: | 1.3升/秒 |
| 啟動時間: | 小于3分鐘 |
| 接口尺寸: | DN 25 KF |
| 外觀尺寸: | 510´343´428mm |
| 重量: | 56Kg |
| 電源: | 220V 50Hz 單相 |
| 符合美國真空標(biāo)準(zhǔn)AVS2.1 以及國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔,帶自動溫度補償系統(tǒng)。開機3分鐘后完成全部準(zhǔn)備工作。數(shù)顯工作界面;數(shù)字顯示漏率,帶音頻報警。所有工作參數(shù)可以通過菜單設(shè)定和修改?梢栽O(shè)置報廢點。質(zhì)譜室自動保護(hù):有效防止大氣突然沖入對燈絲及質(zhì)譜室的損害。 |
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、動力鋰電池,閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
功能描述支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏自動跟蹤本底,提供快速可靠的測量結(jié)果優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?焖偾搴支持氮氣破空,不受環(huán)境氦氣干擾,快速降低本底機器卓越的性能支持7*24小時長時間在線測試機器卓越的性能支持幾秒一次的高頻率測試配有檢漏口精細(xì)過濾器,過濾細(xì)微雜質(zhì),確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計,防大氣沖擊支持定制檢漏工作臺,更加便捷使用技術(shù)參數(shù)最小可檢漏率(負(fù)壓模式) 5×10-13Pa·m3/s最小可檢漏率(正壓模式) 1×10-8Pa·m3/s檢漏口壓強 粗檢 1500Pa中檢 200Pa精檢 40Pa響應(yīng)時間 <1s
啟動時間 ≤3min
前級油泵抽速 16m3/h
外形尺寸(W×D×H) 845×465×988
重量 80Kg
SFJ-211型氦質(zhì)譜檢漏儀
SFJ-211系列氦質(zhì)譜檢漏儀,包括SFJ-211和SFJ-211B兩個型號,是一款高性價比逆擴(kuò)散氦質(zhì)譜檢漏儀。在性能指標(biāo)基本不變的情況下我們精心挑選元部件,降低成本,將實惠讓給廣大客戶。關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口,性能穩(wěn)定。其主要組成本分為質(zhì)譜管、真空系統(tǒng)、電子控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。主要配置:進(jìn)口復(fù)合型分子泵、萊寶機械閥、國產(chǎn)電磁閥(SFJ-211)/進(jìn)口電磁閥(SFJ-211B)、進(jìn)口放大器、配標(biāo)準(zhǔn)漏孔;使用環(huán)境:環(huán)境溫度:5~35℃相對濕度: <80%供電電壓:單相交流220V±10%,50Hz最大工作電流:6A | |
性能特點: 1.操作簡單,通常只需兩鍵(檢漏和放氣) 2.進(jìn)口的多口分子泵 3.雙燈絲自動切換 4.自動調(diào)零 5.自動校準(zhǔn) 6.自動量程切換 7.光柱、數(shù)碼雙重顯示 | 主要技術(shù)參數(shù): 最小可檢漏率:5×10-11Pa·m3/s 漏率顯示范圍:1×10-3Pa·m3/s~1×10-11Pa·m3/s 啟動時間:≤8min 響應(yīng)時間:≤2s 檢漏口壓力:≤300Pa 極限真空:5×10-4Pa 外型尺寸:550(W)×440(D)× 770(H) |
價格貨期電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準(zhǔn)
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700上海伯東德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 700. 渦輪分子泵 HiPace 700 對氮氣抽速可達(dá)到 685 l/s, 緊湊設(shè)計, 低能耗的同時分子泵更高抽吸能力.渦輪分子泵 HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用于工業(yè)環(huán)境-保護(hù)等 IP 54, 通過半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過分子泵控制器監(jiān)控運算數(shù)據(jù), 集成風(fēng)冷.渦輪分子泵 HiPace 700 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù).渦輪分子泵 HiPace 700 特性穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計和經(jīng)過實踐證明的高性分子泵軸承系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求分子泵高氣流量和高抽速基本款任意角度安裝防護(hù)等 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證渦輪分子泵 HiPace 700 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣口 | DN 160 ISO-K | DN 160 CF-F | DN 160 ISO-F | DN 160 ISO-K | DN 160 CF-F | DN 160 ISO-F | |
圖片 |
| ||||||
分子泵控制器 | 型號 | 標(biāo)配 TC 400 | 標(biāo)配 TC 400 | 標(biāo)配 TC 400 | 選配 TCP 350 | 選配 TCP 350 | 選配 TCP 350 |
抽速 | Ar L/S | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 |
H2 L/S | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | |
He L/S | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | |
N2 L/S | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | |
壓縮比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | |
He | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | |
N2 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | |
全轉(zhuǎn)速時氣體流量 | Ar hPa l/s | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
H2 hPa l/s | >14 | >14 | >14 | >8 | >8 | >8 | |
He hPa l/s | 20 | 20 | 20 | 5 | 5 | 5 | |
N2 hPa l/s | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 3 | 3 | 3 | |
限壓力 | hPa | <1X10-7 | <5X10-10 | <1X10-7 | <1x10-7 | <5x10-10 | <1x10-7 |
大預(yù)抽真空 | N2 hPa | 11 | 11 | 11 | 11 | 11 | 11 |
電壓 ± 5 % | VDC | 48 | 48 | 48 | 48 | 48 | 48 |
大電流 | A | 8.4 | 8.4 | 8.4 | 8.75 | 8.75 | 8.75 |
轉(zhuǎn)速± 2 % | RPM | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 |
聲噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允許大磁場 | mT | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
啟動時間 | min | 2 | 2 | 2 | 5.5 | 2.5 | 2.5 |
重量 | kg | 11.5 | 17.4 | 12.1 | 10.6 | 16.5 | 10.6 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用* P 系列: 耐粉塵* PLUS 系列: 微振動,雜散磁場低* H 系列: 更高的壓縮比,尤其適用于輕質(zhì)氣體
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700 套裝:上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 700 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應(yīng)用, 可以安裝在所有情況下并輕松調(diào)試渦輪分子泵. 套裝內(nèi)配置如下:
分子泵 | 分子泵電源與控制器連接線 | 風(fēng)扇 | OmniControl 400 | 接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
標(biāo)準(zhǔn)款渦輪分子泵 HiPace 700 在售型號對所有氣體的高抽吸能力和更高壓縮,適合所有標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用
進(jìn)氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus |
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DN 160 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 160 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 160 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
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耐粉塵渦輪分子泵 HiPace 700P 在售型號適用于鍍膜及半導(dǎo)體工藝以及諸如電子束焊接裝置等易受灰塵影響的工業(yè)應(yīng)用
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低振動渦輪分子泵 HiPace 700 PLUS 在售型號微振動,雜散磁場低,適用于高要求分析設(shè)備,例如電子顯微鏡
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更高壓縮比渦輪分子泵 HiPace 700 H 在售型號更高的壓縮比,尤其適用于輕質(zhì)氣體,實現(xiàn)超高真空
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DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
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渦輪分子泵應(yīng)用 HiPace 700鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學(xué)鍍膜, 硬質(zhì)涂層工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)分析儀器: 質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速高 90,000 rpm, 限真空大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>若您需要進(jìn)一步的了解渦輪分子泵詳細(xì)信息, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐T: +86-21--3511 ext 107 T: +886-3--9508 ext 161F: +86-21-- F: +886-3--0049M: +86 -883- ( 微信同號 ) M: +886---958qq: 2821409400 現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 -883-上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!
簡單介紹:Agilent Varian安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀專用油
武漢普斯特科技有限公司供應(yīng)安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀專用油,公司倉庫擁有現(xiàn)貨,收貨周期短,并且為反饋客戶,公司特推出促銷活動,買安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀專用油后購買本公司任意產(chǎn)品享受九折優(yōu)惠。詳情請咨詢400-666-8894或發(fā)送郵件sales@whpusite.com進(jìn)行留言。
◎ 標(biāo)準(zhǔn)臺式機箱,外形美觀實用
◎ 檢測量程寬,橫跨10個量級
◎ 檢漏口耐壓高
◎ 全液晶觸摸彩屏,操作方便
◎ 檢漏狀態(tài)一鍵清零
◎ 中英文菜單界面
◎ 整機到達(dá)國際先進(jìn)水平
二、主要技術(shù)指標(biāo)
型號: QT-M-212LD
產(chǎn)品概要: HELEN便攜式系列是以小型、輕量、便于移動為理念開發(fā)的產(chǎn)品系列。 QT-M-212LD是為便于現(xiàn)場維護(hù)而設(shè)計的輕量通用型號。 QT-M-222LD配備的大型粗抽泵,無需再使用裝置上的真空泵,即可進(jìn)行大型真空容器的檢漏測試。同時,此系列 還有QT-M-222LD-H高靈敏度型可供選擇。而AODM-222LD-D則使用了干式泵,用以擔(dān)心真空裝置(真空部品)可能被污 染的檢漏測試。 QT-AM-232LD的大特點在于吸槍的使用,從而非常合適各種氣管、加壓零件的檢漏測試。 客戶可以根據(jù)所需測漏的樣品類型及測漏儀的應(yīng)用用途選取合適的產(chǎn)品系列。
產(chǎn)品特點:★操作簡便只需操作按鈕即可進(jìn)行從設(shè)備的調(diào)試到測量的各種操作。根據(jù)樣品設(shè)定相應(yīng)的檢測條件,使檢漏測試更簡便。同時,靈敏度的校正實現(xiàn)自動化。★實現(xiàn)了業(yè)界高水平的靈敏度、穩(wěn)定性和應(yīng)答特性采用偏轉(zhuǎn)角180°的質(zhì)量分析管。配置的MCP(二次電子倍增器)增強了離子信號,使標(biāo)配測漏儀也達(dá)到了10E-12Pa. m³/S的靈敏度。同時,保持了很高的長時使用穩(wěn)定性。★移動方便配置了大型腳輪、拉手,方便了現(xiàn)場維護(hù)。★重視耐久性的堅固設(shè)計附帶各種安全功能。以隨時應(yīng)對可能出現(xiàn)的操作人員誤操作或環(huán)境異常。采用了經(jīng)久耐用的鎢燈絲,從而滿足了長時、高靈敏度檢測的要求。同時,以為搭載或配置24小時全天運轉(zhuǎn)系統(tǒng)的前提出發(fā),對各個部分都采用了堅固的設(shè)計!锉憷墓δ苎永m(xù)了舊型號簡便的操作特性,使用開始、停止按鈕進(jìn)行檢漏測試。同時,多樣化的使用方法也可以滿足客戶的各種設(shè)定和檢測需求。3.8英寸(320×240)彩色液晶顯示器的采用使檢測結(jié)果更加簡單明了。例如下圖所示的標(biāo)準(zhǔn)畫面、狀態(tài)畫面和趨勢畫面!锲渌墓δ苓包括:讀入內(nèi)部溫度變動的數(shù)據(jù),校正前置放大器的溫度偏差,從而實現(xiàn)了更精準(zhǔn)的檢漏測試。應(yīng)用領(lǐng)域:緊 湊 型:適用于各種真空裝置的測漏及現(xiàn)場維護(hù);各種小型真空部品的檢漏測試。大功率型:各種真空裝置的維修保養(yǎng);加速器等各種大型真空容器的檢漏測試;檢漏系統(tǒng)的分析器。大功率&干式:可配置無塵室;無真空泵油的使用;各種真空裝置的維修保養(yǎng)。吸 槍 型:汽車零件、空調(diào)冷凍機的檢漏測試;食品、醫(yī)療品包裝的檢漏測試;自來水管、各種氣管的檢漏測試.
規(guī)格名稱 |
規(guī)格名稱 | 緊湊 | |||
定量測量范圍 (Pa·m³/s) |
進(jìn)氣口排氣速度 (He) | 2.0L/s(MiddleMode) | |||
進(jìn)氣口形狀 |
主泵 |
粗扎泵 |
外部接口 |
顯示 | 彩色液晶 |
吸氣探針 | 選購件 | ||||
電源 | Single phase | ||||
外形尺寸 |
質(zhì)量 | 42kg |
、產(chǎn)品介紹
二、主要配置
三、主要技術(shù)指標(biāo)