亚洲视频福利,日本精品一区二区三区在线,日韩欧美在线视频一区二区,国产高清自产拍av在线,99久久99久久精品国产片果冻,国产视频手机在线,成人禁在线观看午夜亚洲

���w�|(zh��)������������

 һ�� �a(ch��n)Ʒ����

�����P(gu��n)�I��΢�C(j��)е�ӹ����g(sh��)��MS�������������Мy(c��)��΢С��С�����ă�(y��u)��(sh��)��MEMS�� Microelectromechanical systems�����w�|(zh��)������Ӌ(j��)����������������Ҫ��(y��ng)�����p�����������h(hu��n)�����댧(d��o)�w�ȹ��I(y��)���T(m��n)�Ŀ՚����������������?d��)�Ț��w�ęz�y(c��)�Ϳ�����

ԓ�a(ch��n)Ʒ�������������Ӌ(j��)���װ�����Ӌ(j��)������Ӌ(j��)�������c(di��n)�ǿɿ��Ը����؏�(f��)�Ժ������pС���o(w��)�Ʉ�(d��ng)���������̱Ȍ���푑�(y��ng)�r(sh��)�g�^�����y(c��)�����ȸ����o(w��)��Ҫ�ضȉ����a(b��)����

 

 �����g(sh��)����(sh��)�����a(ch��n)Ʒ��Q/320500HH009-2014�M(j��n)�����a(ch��n)��У�(y��n)��

2.1  �y(c��)�����|(zh��)�����N���w����Ȳ��ͻ�Ϛ��w���⣩

2.2   ����������   DN3   100-1000mL/min

                      DN4    250-2500mL/min

                      DN6    1000-10000mL/min

                      DN8    1500-15000mL/min  

      DN10   2500-25000mL/min             

                ע��(a)���������Ĝy(c��)�����|(zh��)��՚������

(b)���������Ę�(bi��o)��(zh��n)��B(t��i)20�棬101.325kPa��

2.3   �����y(c��)����(zh��n)�_�ȣ�±1.5%FS

2.4   �����ضȷ�����0-55����

2.5   ��������������0.3MPa��0.6MPa��1.0MPa``

2.6   ����Դ��24VDC±10%��

2.7   ݔ����̖(h��o)��4-20mA��RS485ͨӍ��

2.8   �h(hu��n)���ضȣ�0-55����

2.9   �@ʾλ��(sh��)��˲�r(sh��)��������λ���۷e����10λ��

 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �����D(zhu��n)������Ӌ(j��) �ŷ���ҺλӋ(j��) �����D(zhu��n)������Ӌ(j��) ��ʽ���w�|(zh��)������Ӌ(j��) ���w�|(zh��)������������

���w�|(zh��)������������ ��̖(h��o):BHBL6-S49-300/MT ��(sh��) �� ʽ

���w�|(zh��)������������ ��̖(h��o):BHBL6-S49-300/MT ��(sh��) �� ʽ؛̖(h��o):
һ���a(ch��n)Ʒ��Ҫ���c(di��n):���a(ch��n)Ʒ���Ԅ�(d��ng)�y(c��)�ؚ��w�|(zh��)�����������ܜضȺ͉������������ȸ����؏�(f��)�ԺØ�(bi��o)��(zh��n)���̖(h��o)ݔ��ݔ�����ɜy(c��)��˲�g����Ӌ(j��)�������m���ڸ��N���|(zh��)�������ͬ�(l��i)�M(j��n)�ڮa(ch��n)Ʒ������������߀�����������c(di��n)�� 1�����î�(d��ng)���40MHz�������l��32λARMϵ�І�Ƭ�C(j��)����(sh��)��̎�����ơ���(sh��)�ֻ�̎���Ĝy(c��)������������������(sh��)�r(sh��)��(d��ng)�B(t��i)���Ƶȡ�푑�(y��ng)�ٶ�������2���� 2��12λ�������ɘ����ʸ��_(d��)1MSPS��AD/DA�D(zhu��n)�Q�� 3��RS232/485������Modbus�f(xi��)�h���c��λ�C(j��)ͨӍ��(ji��n)�η����������λ�C(j��)�����M(j��n)�и��N��(f��)�s��Ӌ(j��)�������Ʋ������M�B(t��i)�� 4���Y(ji��)��(g��u)���w���ò��P䓣�316L�����������ܲ��ϲ���VITON®�����ķ���ϩ�ȡ��m���ڸ��N�͸��g�Ԛ��w��5���͉��߼��m������՗l���¹������͉������������������������w��������ض���������׃����׃����6�����о��ȸ����؏�(f��)�Ժ���푑�(y��ng)�ٶȿ���ܛ����(d��ng)��������(w��n)����������λ�ð��b�� 7������ģ�M늚�������Ƽ��@ʾ��ʹ�÷����������c늚���Ԅ�(d��ng)����ϵ�y(t��ng)����� ������Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o) ��1��Ӳ������ �(xi��ng)Ŀ\��̖(h��o) S49-300/MT S49-300A/MT 1 �������� 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 �{(di��o)��(ji��)�y�(l��i)�� 늴��{(di��o)��(ji��)�y 3 �{(di��o)��(ji��)�y�oֹ?f��n)�B(t��i) ���]���O(sh��)��<2% F.S�� 4 �� ��1%F.S10SCCM~10SLMҎ(gu��)��������Ҏ(gu��)��ܡ�2% F.S�����ȷ���10%~100% F.S 5 ���� ��0.5~1.5%F.S 6 �؏�(f��)���� ��0.2%F.S 7 푑�(y��ng)�r(sh��)�g 2Sec 8 ��������� 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 �͉� 3MPa; 10MPa 10 �����h(hu��n)���ضȣ��棩 5~45 11 ���� ���P�316L 12 ��(bi��o)��(zh��n)�ܷ���� Viton®�� EPDM�� ���������Ñ�ָ�� 13 ©�� ��2��10-9mbar.l/s He 14 ���^ ��6mm, ��1/4��Swagelok��1/4��VCR�����������Ñ�ָ�� 15 ݔ��ݔ����̖(h��o) ģ�M0~��5.00V ݔ���迹��100K��,ؓ(f��)�dݔ�����������3mA��(sh��)��RS232/RS485������Modbus RTU �f(xi��)�h 16 ����Դ ��15V����2%������15V 50mA, ��15V 200mA�� 17 ���ͳߴ磨mm�� 123��111��28 18 ������kg�� 0.7 �a(ch��n)Ʒ�DƬ

��

   

INHA���w�|(zh��)������������

 

˽�˶��� ԓ�a(ch��n)Ʒ�鶨�Ʈa(ch��n)Ʒ������������r(ji��)������h���S��ֱ�N(xi��o)�ʺ�΢��ӿƼ����޹�˾��Ҫ�����|(zh��)�����������������_(k��i)�l(f��)�����졢�N(xi��o)���Լ��|(zh��)�����������N���ģ�ߵ��O(sh��)Ӌ(j��)���ӹ������P(gu��n)�ķ���(w��)���a(ch��n)Ʒ���������|(zh��)���Ě��w�|(zh��)���������ƃx�����y(c��)��?j��)x�������w��ˇ��Q������ȫ�����(w��)֧�ַ���������˾�a(ch��n)Ʒ���w�|(zh��)�������������V����(y��ng)���ڹ��I(y��)���w��ʯ�����������t(y��)������Ӽ�΢������댧(d��o)�w��̫�(y��ng)�ܹ�������(l��i)��(sh��)�(y��n)�����о����������t(y��)ˎ����(bi��o)��(zh��n)�z�y(c��)�ȸ��(l��i)���¼��g(sh��)�I(l��ng)�򣬞�͑��ṩ���N���w�ܵ�ݔ��ϵ�y(t��ng)��ȫ�����(w��)�����܏V��͑��Ŀ϶����J(r��n)ͬ��

�ҹ�˾���a(ch��n)�����w�|(zh��)��������������ʹ�õļ��g(sh��)ȫ���҂���(d��)�Ҽ��g(sh��)����������֪�R(sh��)�a(ch��n)��(qu��n)���a(ch��n)Ʒ��ÿһ��(g��)���������҂��Լ��O(sh��)Ӌ(j��)����������ȡ���˶��(xi��ng)���g(sh��)��(zhu��n)����Ո(q��ng) ,���w�|(zh��)������������ÿһ��(g��)�����҂����Ծ����󾫵��|(zh��)������(w��)�V��͑���׌�͑��w�(y��n)���Ԅ�(d��ng)�����������O(sh��)�䎧��(l��i)�ĸ�׃����F(xi��n)�еĮa(ch��n)Ʒ���g(sh��)����(j��)�ṩ���A(ch��)����(w��)�� �����ڞ�͑��_(k��i)�l(f��)“���a(ch��n)��ˇ�(y��u)���ͳɱ���”�Ľ�Q���������P(gu��n)�a(ch��n)Ʒ�����������ṩ��Ч��(y��u)�|(zh��)���ۺ����(w��)��

�a(ch��n)Ʒ��(y��u)��(sh��)������˾�����_(k��i)�l(f��)���ƵĮa(ch��n)Ʒ�|(zh��)������Ӌ(j��)����һ�N���M(j��n)�����ܾ����|(zh��)�������y(c��)��?j��)x������ֱ���Á�(l��i)�y(c��)���ܵ��н��|(zh��)���|(zh��)���������������w�e���������������|(zh��)���ܶ����ضȡ���Һ�ĝ���Լ��^�����ϵăɷNҺ�w���Եĝ�ȵȅ���(sh��)�� ԓ����Ӌ(j��)��ʹ�ڐ��ӵĹ����h(hu��n)����Ҳ�ܱ��F(xi��n)����(y��u)�������ܡ���(du��)���r�l��Ҳ�](m��i)�п��̵�Ҫ�������п��ɔ_������(qi��ng)���y(c��)�����ȸ������̱ȴ���������(w��n)���ɿ�����(du��)���bҪ�������(du��)���w��B(t��i)Ҫ����������pʧС�ȃ�(y��u)�c(di��n)��������ϴ���߂����ſչ�������������g(sh��)ָ��(bi��o)���_(d��)����(gu��)�H���M(j��n)ˮƽ�� ÿ�_(t��i)���������ɲ��P䓲���������׃�����Ķ�Nݔ���ܝM�����ĸ��N�����ҹ�˾���a(ch��n)�Įa(ch��n)Ʒ��ʹ�õļ��g(sh��)ȫ���҂���(d��)�Ҽ��g(sh��)����������֪�R(sh��)�a(ch��n)��(qu��n)���a(ch��n)Ʒ��ÿһ��(g��)���������҂��Լ��O(sh��)Ӌ(j��)����������ȡ���˶��(xi��ng)���g(sh��)��(zhu��n)����Ո(q��ng)MFϵ��

MF-50/100/200C   MF-100/200MMF�a(ch��n)Ʒϵ�����c(di��n)���к܌��Ĺ��������������a(ch��n)Ʒ���ԏ����ֱ��10Mpa;���a(ch��n)Ʒ����ʹ�ö�N���w���|(zh��)������һЩ���g�Ԛ��w�ȵȣ����к܌��������������a(ch��n)Ʒ��С�����������_(d��)0~10sccm����������������_(d��)0~30slpm���������Ʒ����ǝM���̵�2~100%�����̱Ȟ�50:1����——�͸߉���������������_(d��)100bar��——푑�(y��ng)�r(sh��)�g��≤1sec——ģ�Mݔ��ݔ���ӿڣ�0-5Vdc��4-20mA���x��——�B�ӳߴ��c������(bi��o)��(zh��n)�|(zh��)������������——�ߴ�С——�B�ӷ���������Q——��؛���ڶ�——��(y��u)�ݵăr(ji��)��O����?x��n)r(ji��)��——��(zh��n)�_�ʸ�——��(w��n)������������——���������V

��;�����c(di��n)���w�|(zh��)��������������MFC����ʯ�����I(y��)���������댧(d��o)�w�ͼ����·���I(y��)���طN���όW(xu��)�����t(y��)ˎ���߹����r���Ӛ���ϡ��h(hu��n)������յȶ�N�I(l��ng)��Ŀ��к����a(ch��n)��������Ҫ�đ�(y��ng)��������͵Ĉ�(ch��ng)�ϰ�������ӹ�ˇ�O(sh��)�䣬�磺������CVD��MOCVD���U(ku��)ɢ�����ӡ����x�ӿ��g���x��ע�롢�R�����Լ�΢����(y��ng)�b����������ϵ�y(t��ng)������Ĥ�O(sh��)�������w�۟�������ɫ�V�x�����������x�����Y(ji��)��(g��u)

���w�|(zh��)������Ӌ(j��)��������������Sensor����������ͨ���������Ŵ��·�Ȳ����M�����ښ��w�|(zh��)������Ӌ(j��)�Ļ��A(ch��)�����ټ����{(di��o)��(ji��)�y�T(m��n)��PID�����·�͘�(g��u)���˚��w�|(zh��)������������������ԭ��•��������������ë��(x��)�܂���ز����ᷨԭ����w���|(zh��)���������o(w��)��ضȉ����a(b��)������•���������ӟ�늘�y(c��)�õ�������̖(h��o)����Ŵ����Ŵ����Ŵ��������z�y(c��)늉��c�O(sh��)��늉��M(j��n)�б��^���ٌ���ֵ��̖(h��o)�Ŵ��ȥ�����{(di��o)��(ji��)�y�T(m��n)���]�h(hu��n)�������^(gu��)ͨ��������ʹ֮�c�O(sh��)�������������•�������Q����ͨ����������•�c֮���׵������@ʾ�x���O(sh��)���з�(w��n)���Դ��3λ�딵(sh��)��늉������O(sh��)���λ�������O(sh��)����(n��i)�O(sh��)�D(zhu��n)�Q����λ�y���_(k��i)�P(gu��n)����•������ݔ��������˨�z�y(c��)늉��c���^(gu��)ͨ�����|(zh��)�������ȣ��M���̣�F.S�������z�y(c��)ݔ���+5V�����w�|(zh��)���������������������Ʒ����ǣ�2~100��%F.S���̱Ȟ�50��1��

��Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)

��̖(h��o) �(xi��ng)Ŀ MF-200C MF-200M1 ����Ҏ(gu��)��N2�� 10sccm��30slpm 2 ��(zh��n)�_�� ±1��F.S(Full Scale)3 �؏�(f��)���� ±0.25��F.S��Full Scale��4 푑�(y��ng)�r(sh��)�g ≤2sec���؄eҪ��r(sh��)��≤1sec��5 �͉� ≤90bar6 �����h(hu��n)���ض� 0�桫50��7 ݔ��ݔ����̖(h��o) 0��5V 0��5V or 4��20mA8 ��� +15Vdc or +24Vdc   350mA9 ©�� 1×10atm.cc/sec10 ʹ�÷��� 2��100���M����

 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �����@ʾ���ƃx�� INHA���w�|(zh��)������������ ���w�|(zh��)������������

MPC���w�|(zh��)������������

Ʒ��:�ձ�ɽ��Yamatake����(chu��ng)����1906�꣩  ��̖(h��o):MPCϵ��    �(l��i)��:���w�|(zh��)������������  �y(c��)������:2ML—20L/MIN  ���ȵȼ�(j��):1—2%FS���� �m�ý��|(zh��):�՚�/��?d��)?����/���/CO2ģ�M��̖(h��o)��0-5V��1-5V��������:0.5��MPa��  �����ض�:-10 �� +60���棩

  �P(p��n)�b���ʽ�|(zh��)������������MPCϵ���DZ���˾��(d��)���_(k��i)�l(f��)�ij�����푑�(y��ng)���ق���������MicroFlow����������С�ͱ���늴��y���·�ʽ����·�͸߶ȵĈ�(zh��)�������g(sh��)��һ�w���ɰ��b�ڃx���P(p��n)�ϵ��|(zh��)��������������  ���c(di��n)�� 1��ȫ�����ʽ���b���w����Ӌ(j��)��������С�����p���|(zh��)�����������������ߴ�48*48mm����73.7MM�����p300���ˣ� 2���P(p��n)ʽ�Y(ji��)��(g��u)��LED��(sh��)���@ʾ���a(ch��n)Ʒ������п��{(di��o)��(ji��)���N���ܵİ��o���O�����ײ���;ͨӍ����RS-485 3������RS-485ͨӍ�����������ⲿ�O(sh��)�䌍(sh��)�F(xi��n)ͨӍ4�������˸П�ʽ�|(zh��)�������y(c��)������ˌ�(sh��)�F(xi��n)�˲��ܜض�������׃��(d��ng)Ӱ푵ľ��_�y(c��)��5��푑�(y��ng)�ٶȸ���1����?x��n)?n��i)���߾���1—2%FS���µ���������

Ԕ��(x��)��̖(h��o)���Y�Ϛgӭ��(l��i)���ԃ(x��n)���� 13122347382�]�䣺keyong0519@163.comQQ��717563143

C50��ʽ���w�|(zh��)��������������?d��)������?j��)�������Ӌ(j��)

 ��Ҫ

 

���w�|(zh��)��������������Mass Flow Controller����(ji��n)�Q(ch��ng)MFC�����Üز����ᷨԭ�����Ɍ�(du��)���w���|(zh��)�������M(j��n)�о��ܜy(c��)���Ϳ��������@�N�����y(c��)���Ě��w�������Ժ��ԜضȺ͉���Ӱ���

���a(ch��n)Ʒ�������A���񹲺͇�(gu��)����ИI(y��)��(bi��o)��(zh��n)SJ/T10583-94�Լ�SJ37��Ҏ(gu��)����ͨ�ü��g(sh��)�l��������������

MFC���Sͨ���õ�?d��)⣨N2����(bi��o)����

�|(zh��)�������Ć�λҎ(gu��)���飺SCCM (��(bi��o)��(zh��n)����/��)��SLM (��(bi��o)��(zh��n)��/��)

��(bi��o)��(zh��n)��B(t��i)Ҏ(gu��)���飺�ضȣ���-273.15 K��0�棩���≺—-101325 Pa��760mm Hg��

F.S.��Full Scale�����M����ֵ

 

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)

 

���a(ch��n)Ʒ���з�(w��n)���ɿ���푑�(y��ng)�r(sh��)�g�̡���(bi��o)�����Ⱥ��؏�(f��)���ȸߵȃ�(y��u)�c(di��n)�����b���㣬�o(w��)���bλ�ú�ֱ�ܶ�Ҫ����������(ji��n)�Σ�����������@ʾ�x�������@ʾ�x��ʹ����Ҳ��ͨ�^(gu��)ģ�M/��(sh��)����̖(h��o)�D(zhu��n)�Q����AD/DA�D(zhu��n)�Q�������Ӌ(j��)��C(j��)ʹ�á�

 

����Ҏ(gu��)��(N2��(bi��o)��)

 

0��5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0��1,2,3,5,10,20,30 SLM

ע���M�������������ڴ�̎�г�������Ҏ(gu��)����������5SCCM��30SLM������(n��i)���x������123SCCM��

 

ݔ��ݔ����̖(h��o)

 

0��+5.00V (ݔ���迹����100kΩ��ݔ�����������3mA)

��(y��ng)���ИI(y��)

 

���W(xu��)���I(y��)��ʯ�����I(y��)��LNG���I(y��)���댧(d��o)�w���Ϻ�΢��ӹ��I(y��)���t(y��)ˎ���I(y��)���طN�����о����h(hu��n)��������ИI(y��)����ʹ�ñ��a(ch��n)Ʒ���O(sh��)����Ҫ�У�����Ĥ�O(sh��)�䡢�������O(sh��)�������w�۟��O(sh��)�䡢���w�Ƃ��O(sh��)����΢����O(sh��)�䡢΢����(y��ng)�b��������ɫ�V�x�����������x������

 

�|(zh��)���c����(w��)

 

�ҹ�˾���Z��(du��)�a(ch��n)Ʒ���|(zh��)���ڞ����ꡣ������؛��������?x��n)?n��i)����������f(shu��)����(sh��)Ҫ��ʹ�������ذ�ȫע�����(xi��ng)�����Үa(ch��n)Ʒ�](m��i)�б��p�������b�����������κι��Ϻ͆�(w��n)�}���ҹ�˾ؓ(f��)؟(z��)���M(f��i)�S�޻���Q��Ʒ��

�ڱ����������҂��ṩ�K���S�޺;S�o(h��)����(w��)�����m��(d��ng)��ȡ�S�޺;S�o(h��)�ijɱ��M(f��i)���S�޺;S�o(h��)�����S�޲��ֵ��|(zh��)���ڞ�Ҽ����

�ҹ�˾�Ќ�(zhu��n)�I(y��)���ۺ󹤳̎����Ԏ�������Q�P(gu��n)�ڰ��b��ʹ�õȸ�����Ć�(w��n)�}�������ṩ�a(ch��n)Ʒ��ʹ����Ӗ(x��n)��

�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��
����Ҏ(gu��)��(N2��(bi��o)��) 0��5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
����Ҏ(gu��)��(N2��(bi��o)��) 0��1,2,3,5,10,20,30 SLM
�{(di��o)��(ji��)�y�(l��i)�� ���]ʽ
���̱� (2��100)��F.S. ��50:1
�����ֱ��� 0.1��F.S.
��(zh��n)�_�� ±1��F.S. (≤15SLM)
��(zh��n)�_�� ±2��F.S. (��15SLM)
���� ±0.5��F.S. (≤15SLM)
���� ±2��F.S. (��15SLM)
�؏�(f��)���� ±0.2��F.S.
푑�(y��ng)�r(sh��)�g ≤2sec
��������� 0.1��0.5MPa (≤10SLM)
��������� 0.1��0.3MPa (��10SLM)
����͉� 3MPa
�����h(hu��n)���ض� 5��45��
��|���^ DB15pin(���)
ݔ��ݔ����̖(h��o) 0��+5.00V (ݔ���迹����100kΩ��ݔ�����������3mA)
����ԴҪ�� +15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
��(du��)����c(di��n)й©�� ≤1×10-9Pa·m3/S(He)
���|(zh��)���|���|(zh��) 316��316L���ܷ�����
   
�ܵ����^�ߴ� VCR�ͽ��^��1/4”
�ܵ����^�ߴ� �p�����ͽ��^��1/8”��1/4”��3/8”��φ3��φ6��φ8��φ10 mm
���γߴ� �L(zh��ng)×��×�ߣ�127×30×100 mm
������ 0.88kg
ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� ���P䓹� �@΢�R ����?j��)x��

EL-FLOW® ��(sh��)�(y��n)���͚��w�|(zh��)������������

EL-FLOW®ϵ���|(zh��)��������������һ��߿Ƽ������Įa(ch��n)Ʒ���ܜy(c��)����������������0..1 mln/min �� 0..1250 ln/min�������������_(d��)��400 bar��

Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®ϵ�Ѓx�����ܱ��F(xi��n)��

  • ����
  • ��(w��n)����
  • ��(sh��)����
  • Ʒ�|(zh��)

���g(sh��)��(y��ng)�ã�

  • ģ�K���Y(ji��)��(g��u)
  • 늻��W(xu��)����
  • SMT�����N�b��ˇ
  • ��•��̖(h��o)����
  • �Ԅ�(d��ng)�ض��a(b��)��
  • ��(n��i)��늉��{(di��o)��

�����y���O(sh��)Ӌ(j��)��ģ�K���Y(ji��)��(g��u)�����Է���ظ��Q��Kvֵ��1.5���@�Ì�(zhu��n)�����o(h��)�Ī�(d��)�ؽY(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ(j��)�����m��(y��ng)���������߲�Ŀ��ƣ��@�ǵĮa(ch��n)Ʒ��

��(y��ng)��

  • ��(sh��)�(y��n)�ҵČ�(sh��)�(y��n)�b��
  • ��ʳƷ�����W(xu��)��ʯ�����I(y��)�е��^(gu��)�̿���
  • �l(f��)�ͺ����ﻯ�W(xu��)
  • �|(zh��)�����ƺ�й¶�ɜy(c��)ϵ�y(t��ng)
  • ���w��Ͽ��ƺͭh(hu��n)������
  • ȼ������
  • �댧(d��o)�w����
  • ����̎���b��

����������(�՚�) 

F-200C min. 0,02 ... 1 mln/min
 max. 0,2 ... 10 mln/min
F-201C  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 0,3 ... 15 ln/min
F-201AC min. 0,2 ... 10 ln/min
 max. 1,4 ... 70 ln/min
F-202AC  min. 0,5 ... 25 ln/min
 max. 5 ... 250 ln/min
F-203AC  min. 2 ... 100 ln/min
 max. 25 ... 1250 ln/min
F-232M  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 2 ... 100 ln/min

���w�|(zh��)������������

����ԭ����

  ���y(c��)���w�քe����(j��ng)�ɂ�(g��)�����^(q��)��һ·ͨ�^(gu��)�������ܵ�����һ·ͨ�^(gu��)ë��(x��)�y(c��)������

  �ɂ�(g��)��·���O(sh��)Ӌ(j��)���C���w̎�ڌ�����B(t��i)����˃ɂ�(g��)��·�������Ǻ㶨�ġ�

  �ɂ�(g��)���ܵĜضȸБ�(y��ng)�@�M�ڜy(c��)�����ϱ��ӟ�����(d��ng)�������a(ch��n)���r(sh��)�����ӟ�Ě��w�����Ύ��ߟ��������εĸБ�(y��ng)�@�M�ϡ��a(ch��n)���ز�͸Б�(y��ng)Ȧ����׃���dzɱ�������

  �y(c��)���@�M�����ֵ�c˲�r(sh��)�����ɾ��Ա����P(gu��n)ϵ�����û�˹�D늘��(l��i)�z�y(c��)�y(c��)���@�M�����׃����

  ����(j��)���y(c��)���w���|(zh��)��������ݔ��0-5VDC����4-20mA��̖(h��o)��

  ��(j��ng)�^(gu��)�ɂ�(g��)�����^(q��)�Ě��w��Ϻ����^(gu��)���w�ض��׏���늴ű����y���|(zh��)�������y(c��)���c늴ű����y�M���]�h(hu��n)�Ŀ���ϵ�y(t��ng)��ʹ������(w��n)�����O(sh��)��������ֵ����

  ��һ��������(n��i)�ضȺ͉�����׃������(hu��)Ӱ�����������(sh��)Ҏ(gu��)��

  �a(ch��n)Ʒ���Q(ch��ng)�����w�|(zh��)������������  ���ȣ�  ����%FS

          ��̖(h��o)  GFC17,37��47      GFC57,67,77

          �������� 0-100%     20-100%   0-20%

          ����    ±1%        ±1.5%   ±3%

 

          ���x����%FS

          ��̖(h��o)  GFC17         GFC37��47,57,67,77

          �������� 0-100%     20-100%   0-20%

          ����    ±1%        ±1%      REF DATA with ±1%

  У��(zh��n)����(bi��o)�r��14.7psia��101.4kpa����70�H��21.1�棩��

  �؏�(f��)�ԣ�±0.25%�M�����

  푑�(y��ng)�r(sh��)�g���ڝM��̵�25-100%������(n��i)��2���(n��i)�_(d��)��2%����

  �ض�ϵ��(sh��)��0.05%�M���/��

  ����ϵ��(sh��)��0.01%�M���/psi��0.07bar��

  ���]���w������25psig��1.73bars��

  �����w������GFC17,37,47���1000psi��70bars��.GFC57,67��77���500psig��34.5bars��

  ���̱ȣ�40:1

  ��󉺲GFC17/37/57/67/77 50psi��3.4bars����GFC47 40psi��2.7bars��

  ���w����?ch��)��ضȣ?2�H-122�H��0��-50�棩��14�H-122�H��-10��-50�棩��������w

  ��λ�`���ȣ�ˮƽ����ֱ���D(zhu��n)����15������(bi��o)��(zh��n)У��(zh��n)����ˮƽλ��

  ݔ����̖(h��o)������0-5Vdc��3000ohms��Сؓ(f��)�d�迹��������4-20mA��500ohms����·��裩�����•±20mV

  ������̖(h��o)���h(yu��n)���O(sh��)��ģʽ��ģ�M0-5Vdc��4-20mA��NPN������ϴ/�P(gu��n)�y

  �B�ӣ�GFC17and37��1/4�������B�� 

                     ���x6mm��1/4VCR��3/8��1/8����

        GFC47��3/8������

        GFC57��3/8������

        GFC67��1/2������

        GFC77��3/4��FNPT.���x��3/4������

  й©�ʣ�����й©��1*10­9sml/s

  ݔ���Դ��+12Vdc��800mA�����x+24Vdc��650mA

  ��·���o(h��)���·���(n��i)�ØO�Ա��o(h��)���Ԅ�(d��ng)�֏�(f��)��豣�o(h��)�Դ�^(gu��)�dݔ��

  �@ʾ��3-1/2��(sh��)��LCD��0.5��Ӣ����ַ�

  CE�J(r��n)�C��EN55011class1,classB;EN50082-1�a(ch��n)Ʒҕ�l��

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� ���ϵ�y(t��ng) �����_(k��i)�P(gu��n) �����_(k��i)�P(gu��n) ���������� ���(d��ng)�� �� ���M(j��n)늄�(d��ng)�y �����{(di��o)��(ji��)�y �����{(di��o)��(ji��)�y ���w����Ӌ(j��) ����Ӌ(j��) �|(zh��)������������ �D(zhu��n)������Ӌ(j��)/��������Ӌ(j��) �|(zh��)������Ӌ(j��) ���������� ����Ӌ(j��)

���w�|(zh��)������������

���w�|(zh��)������������

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)��1.          �M���̏�0.5ccm��1500lpm2.          푑�(y��ng)�r(sh��)�g10ms3.          ���̱ȃ�(y��u)��100��14.          ���ȡ�0.8���x��(sh��)��0.2���M���̣����x��0.4���x��(sh��)��0.2���M���̣�5.          �����@ʾ��rs-232��ģ�M��̖(h��o)ݔ���|(zh��)���������w�e�������ضȺͽ^��6.          �Ԅ�(d��ng)��(f��)λ�����@ʾ���ϰ��I��(f��)λ7.          ���bλ�ò�����8.    �F(xi��n)��(ch��ng)���x30�NУ�(y��n)���w�ԭ���c��ʽԭ�팦(du��)�ձ�

�a(ch��n)Ʒ��(ji��n)�飺

alicat���w�|(zh��)������Ӌ(j��)���Ãɂ�(g��)���о�͸�صĚ��w������ԣ�������ճ�ԁ�(l��i)�y(c��)��������ͨ�^(gu��)�Ӡ�������Ԫ�IJ�y(c��)����(l��i)Ӌ(j��)���������@�N�y(c��)����ʽ���й��еľ��������ò���^���͜ضȂ�������(l��i)�y(c��)�����a(b��)�����w�ĉ������ض����y(c��)����(bi��o)��(zh��n)��B(t��i)����1��(g��)��≺@25�棩�š��w���w�e�������ɜy(c��)��4�N����(sh��)���|(zh��)���������w�e�������ضȺͽ^�������x��Ӌ(j��)���������ҿ���ͨ�^(gu��)��(d��ng)�B(t��i)�@ʾ��ͬ�r(sh��)�@ʾ�����x늳�ʹ��ԓ��a(ch��n)Ʒ����y���������ڜy(c��)ԇ��У��(zh��n)���ߡ������ṩ�Ñ����ƝM��������������    alicat���w�w�e����Ӌ(j��)���ò��������(l��i)�y(c��)����(d��ng)ǰ��B(t��i)�µ��w�e�������������](m��i)�Ѓ�(n��i)�ý^���͜ضȂ��������r(ji��)���(hu��)����һЩ��������(du��)���|(zh��)������Ӌ(j��)����һ�N�x���������@ʾ��    alicat���Юa(ch��n)Ʒ���ṩ�����@ʾ��(bi��o)��(zh��n)���ܣ��o(w��)�@ʾ�a(ch��n)Ʒ��������oem�����|(zh��)���������������w�e���������������@ʾ�Ͼ��ṩ�˲�ͬ���^(gu��)�̅���(sh��)��Ϣ���Ñ�ͨ�^(gu��)���I�����x�����@ʾ��ʽ��main mode display�������y(c��)�Ě��w(30�NУ�(y��n)���w)���{(di��o)��(ji��)pid����(sh��)�����y(c��)����������ȡ�

 

  ��(sh��)��ݔ����rs-232����    ���е�alicat�a(ch��n)Ʒ�����И�(bi��o)��(zh��n)��rs-232ݔ��������̖(h��o)ͨ�^(gu��)8ᘈA�ν��^��6ᘹ��I(y��)�B���^��ݔ��ʹ��alicat��rs-232ݔ����ݔ��ͨӍ���ڟo(w��)���؄eܛ�����κΎ��нK�˳�����O(sh��)��������windows®����ϵ�y(t��ng)��ġ�����(j��)�K�ˡ���������ʹ���҂���alicat�a(ch��n)Ʒ��rs-232���Ԍ�(sh��)�F(xi��n)�����@ʾ�ϵ����в������������磺���������QУ�(y��n)���w����׃pid�ȡ�     ��(du��)���|(zh��)��������������ͨ�^(gu��)rs-232���@ʾ���^(gu��)�̅���(sh��)ͬ�䱾���@ʾ�ϔ�(sh��)��(j��)��һ�µ������ƹ���Ҳ�cÿ��(g��)��̖(h��o)�ı����@ʾ����ģʽһ�£����҈D��ʾ�����w�e�����������Ŀ��ƹ��� (loop)ֻ��λ�ڡ��w�e����(volume)���ϡ� ���еĮa(ch��n)Ʒ�����Ը���(j��)�Ñ����x�����Þ�����(d��ng)ģʽ��݆ѭģʽ��ģ�Mݔ����    ģ�M��̖(h��o)ͨӍͬ������rs-232�ӿڵ�8ᘈA�ν��^��(l��i)�ṩ��Ĭ�J(r��n)��ģ�M��̖(h��o)��0-5vdc�����x0-10vdc��4-20ma��ݔ����̖(h��o)��alicat�|(zh��)�������������ṩ0-5vdcݔ�����|(zh��)����������ͬ�r(sh��)�ṩһ��(g��)ģ�M�����O(sh��)���c(di��n)����_���|(zh��)������������ͨ�^(gu��)��se-lect�������F(xi��n)�ڱ��ؿ����O(sh��)��ģʽ���������ψD��ʾ����(l��i)�����O(sh��)���c(di��n)��ʽ�����x�ڶ�·�Ϊ�(d��)ģ�Mݔ���������������ضȡ����w�e��������alicat�w�e�����������ṩ0-5vdcݔ�����w�e��������ͬ�r(sh��)�ṩһ��(g��)ģ�M�����O(sh��)���c(di��n)����_���w�e����������ͨ�^(gu��)��se-lect�������F(xi��n)�ڱ��ؿ����O(sh��)��ģʽ�����������ψD����(l��i)�����O(sh��)���c(di��n)��ʽ����(y��ng)���I(l��ng)��:      �t(y��)ˎ�����I(y��)���^(gu��)�̿�������(sh��)�(y��n)����oem����Q��ʽ�|(zh��)������Ӌ(j��)��й©�y(c��)ԇ�x�(xi��ng)������1. 늚���| 2. ac/dc �Դ�m���� 3. �����Ϛ��w 4. �h(yu��n)�̔�(sh��)���@ʾ��rdd�� 5. �Ñ��������O(sh��)�� 6. 늳ذ���ʹ�y(c��)ԇ�x����y�� 7. ��N��(d��)����ݔ��

v

΢С���w�|(zh��)���������������S��ֱ�N(xi��o)�߾��ȸ߷�(w��n)���Կ���푑�(y��ng)�r(ji��)��(y��u)���gӭ���Ͽ͑��(l��i)���ԃ(x��n)��

 LF400ϵ�в��Üض�׃����(du��)��(y��ng)���|(zh��)��������ԭ�������Ԍ�(du��)��ͬ�Ě��w�M(j��n)���������y(c��)��������
�����ɑ�(y��ng)����5SCCM��30SLM�Ě��w�������������Ҳ���(hu��)�ܵ��ضȼ�����׃����Ӱ���
�����a(ch��n)Ʒϵ�����������x��(sh��)��ʽ��ģ�Mʽ����ͨ���߾������߉������������҃r(ji��)����и�(j��ng)��(zh��ng)������(y��ng)���I(l��ng)��V����
����oģ�Mʽ���|(zh��)ʽ����Ӌ(j��)/������������
�����͆΃r(ji��)
�����h(hu��n)���ض��a(b��)��
�����ɑ�(y��ng)�õ����ʷ����V��
����0��5��10��20��30��50��100��200��500SCCM
����0��1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
�����߾���
����±1%(≤15SLM)
����±1.5%(��15SLM.)
�������x��LFϵ�п���ģ�K�����Д�(sh��)λ�@ʾ���Դ����(y��ng)�������O(sh��)���ȹ���
������(gu��)�H����
�������w�|(zh��)�������õ�?d��)?N2)��(bi��o)����
������(bi��o)��(zh��n)��B(t��i)Ҏ(gu��)���飺
������(bi��o)��(zh��n)�ض�………………0�棨273.15K��
������(bi��o)��(zh��n)����(qi��ng)………………101325Pa
���� ����Ӌ(j��)/������
������̖(h��o)  LF400-S
�M������������(N2) SCCM 0��5��10��20��30��50��100��200��500
  SLM 0��1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
����(��F.S) ±1(≤15SLM)
  ±1.5(��15SLM.)
�����y��(d��ng)����ʽ ���]ʽ
����(��F.S.) ±0.5��1(≤15SLM)
  ±1.5��(��15SLM.)
�؏�(f��)����(��F.S.) ±0.2
푑�(y��ng)�r(sh��)�g(sec) ≤1
����ݔ����̖(h��o) 0-+5.00V
�����O(sh��)����̖(h��o) 0-+5.00V
������^ DB15 pin(���^)
�����h(hu��n)���ض� (��) 5��45
�������� (MPa) 0.1��0.5
©�� SCCSHe 1×10-9
����͉� 3MPa
���|(zh��)���|���|(zh��) 304��316��316L
�ܷ���� �����z�������z���������z�����ķ���ϩ
���^ VCR " 1/4��1/2
  Swagelok1/8”��1/4” ��3/8” ��1/2”��φ3��φ6��φ8��φ10��φ12mm
���^�ͳߴ� Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
�ԴҪ�� +15V,50mA;-15V,200mA
���� 1.0KG  
ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� ��·��� ���ϵ�y(t��ng) �|(zh��)������������

M3030V�������w�|(zh��)������������M3030V

Normal 0 7.8 �� 0 2 MicrosoftInternetExplorer4

�������w�|(zh��)������������M3030V

 

���w�|(zh��)������������M3030V������ë��(x��)�܂���ز����ᷨԭ��y(c��)�����w���|(zh��)���������o(w��)��ضȉ����a(b��)�������w�|(zh��)������������M3030V��һ��(g��)�����ք�(d��ng)�O(sh��)�����c��X�B���Ԅ�(d��ng)���ƵĚ��w�����ķ�(w��n)���b���������^�������̷�����(n��i)���ٶ����_�ؿ��ƚ��w��������ʹϵ�y(t��ng)�����в���(d��ng)��h(hu��n)���ض����p΢��׃����Ҳ����(hu��)Ӱ��������Ĺ�����

 

С�������w�|(zh��)������������M3030V�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)��

-�(l��i)    �ͣ�MFC���w�|(zh��)������������

-���Ʒ�����10sccm �� 30slpm ��sccm:��(bi��o)��(zh��n)����/�� slpm:��(bi��o)��(zh��n)��/�֣� 

-��(zh��n)�ȵȼ�(j��): ±1% F.S

-��    ����≤90bar

-��(bi��o)��(zh��n)�ӿڣ�0-5VDC��4-20mA���x

-푑�(y��ng)�r(sh��)�g��≤2sec

-ʹ�÷�����2~100% for max range

-����Դ��+15~+28Vdc, 350Ma

    �ʣ�1×10-9atm·cc/sec

-��·�B�ӣ�1/4”SWG��1/8”SWG��3/8”SWG��1/4”VCR

-�m�ý��|(zh��)�����К��w�������g�Ԛ��w���ж����w��

-�o(w��)��ض��������a(b��)��

 

�������w�|(zh��)������������M3030V

�a(ch��n)Ʒ��̖(h��o)

M3030V

M3030A

  �������� ��N2��

 10sccm �� 30slpm

10sccm �� 30slpm

  푑�(y��ng)�r(sh��)�g

 ≤2��

  ≤2��

  ��(zh��n)�_��

  ≤±1% �M����

  ≤±1% �M����

 �؏�(f��)����

  ≤±0.25% �M����

 ≤±0.25% �M����

 ݔ��ݔ����̖(h��o)

 0~5Vdc

  0~5Vdc��4~20����

  ���

 +15~+28Vdc��350����

  +15~+28Vdc��350����

  �͉�

  ≤90 bar

 ≤90 bar

 �����h(hu��n)���ض�

  0~50 °C

  0~50 °C

 

 

��(y��ng)���I(l��ng)���������x��     ���ɿ̣�RIE/DRIE��     ��ȼ��늳أ����\�g(sh��)     ������ɫ�V����         �����x�ӿ��g�����⺸�C(j��)     ��������ϵ�y(t��ng)         ��΢����(y��ng)�b�ã�����Ĥ     ���^(gu��)���Ԅ�(d��ng)��           ��ʯ�����I(y��)

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� PM2.5������ �՚��|(zh��)�������� ���й©�z�y(c��)������HLS-440 VOC�՚��|(zh��)�������� iAQ-engine

���®a(ch��n)Ʒ

���T(m��n)�x���� Һ��ɫ�V�x ����ɫ�V�x ԭ�ӟɹ���V�x ��Ҋ(ji��n)�ֹ���Ӌ(j��) Һ�|(zh��)“(li��n)�Ãx ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���Ӌ(j��)��PHӋ(j��)�� �x�ęC(j��) �����x�ęC(j��) ����x�ęC(j��) �����@΢�R �����@΢�R ��(bi��o)��(zh��n)���|(zh��) ����ԇ��