�����P(gu��n)�I���C(j��)е�ӹ����g(sh��)��MS�������������Мy(c��)��С��С�����ă�(y��u)��(sh��)��MEMS�� Microelectromechanical systems�����w�|(zh��)������Ӌ(j��)����������������Ҫ��(y��ng)�����p�����������h(hu��n)�����댧(d��o)�w�ȹ��I(y��)���T(m��n)�Ŀ՚����������������?d��)�Ț��w�ęz�y(c��)�Ϳ�����
ԓ�a(ch��n)Ʒ�������������Ӌ(j��)���װ�����Ӌ(j��)������Ӌ(j��)�������c(di��n)�ǿɿ��Ը����؏�(f��)�Ժ������pС���o(w��)�Ʉ�(d��ng)���������̱Ȍ���푑�(y��ng)�r(sh��)�g�^�����y(c��)�����ȸ����o(w��)��Ҫ�ضȉ����a(b��)����
�����g(sh��)����(sh��)�����a(ch��n)Ʒ��Q/320500HH009-2014�M(j��n)�����a(ch��n)��У�(y��n)��
2.1 �y(c��)�����|(zh��)�����N���w����Ȳ��ͻ�Ϛ��w���⣩
2.2 ���������� DN3 100-1000mL/min
DN4 250-2500mL/min
DN6 1000-10000mL/min
DN8 1500-15000mL/min
DN10 2500-25000mL/min
ע��(a)���������Ĝy(c��)�����|(zh��)��՚������
(b)���������Ę�(bi��o)��(zh��n)��B(t��i)20�棬101.325kPa��
2.3 �����y(c��)����(zh��n)�_�ȣ�±1.5%FS
2.4 �����ضȷ�����0-55����
2.5 ��������������0.3MPa��0.6MPa��1.0MPa``
2.6 ����Դ��24VDC±10%��
2.7 ݔ����̖(h��o)��4-20mA��RS485ͨӍ��
2.8 �h(hu��n)���ضȣ�0-55����
2.9 �@ʾλ��(sh��)��˲�r(sh��)��������λ���۷e����10λ��
���w�|(zh��)������������ ��̖(h��o):BHBL6-S49-300/MT ��(sh��) �� ʽ | ؛̖(h��o): |
һ���a(ch��n)Ʒ��Ҫ���c(di��n):���a(ch��n)Ʒ���Ԅ�(d��ng)�y(c��)�ؚ��w�|(zh��)�����������ܜضȺ͉������������ȸ����؏�(f��)�ԺØ�(bi��o)��(zh��n)���̖(h��o)ݔ��ݔ�����ɜy(c��)��˲�g����Ӌ(j��)�������m���ڸ��N���|(zh��)�������ͬ�(l��i)�M(j��n)�ڮa(ch��n)Ʒ������������߀�����������c(di��n)�� 1�����î�(d��ng)���40MHz�������l��32λARMϵ�І�Ƭ�C(j��)����(sh��)��̎�����ơ���(sh��)�ֻ�̎���Ĝy(c��)������������������(sh��)�r(sh��)��(d��ng)�B(t��i)���Ƶȡ�푑�(y��ng)�ٶ�������2���� 2��12λ�������ɘ����ʸ��_(d��)1MSPS��AD/DA�D(zhu��n)�Q�� 3��RS232/485������Modbus�f(xi��)�h���c��λ�C(j��)ͨӍ��(ji��n)�η����������λ�C(j��)�����M(j��n)�и��N��(f��)�s��Ӌ(j��)�������Ʋ������M�B(t��i)�� 4���Y(ji��)��(g��u)���w���ò��P䓣�316L�����������ܲ��ϲ���VITON®�����ķ���ϩ�ȡ��m���ڸ��N���g�Ԛ��w��5���͉����m������l���¹������͉������������������������w��������ض���������׃����׃����6�����о��ȸ����؏�(f��)�Ժ���푑�(y��ng)�ٶȿ���ܛ����(d��ng)��������(w��n)����������λ�ð��b�� 7������ģ�M늚�������Ƽ��@ʾ��ʹ�÷����������c늚���Ԅ�(d��ng)����ϵ�y(t��ng)����� ������Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o) ��1��Ӳ������ �(xi��ng)Ŀ\��̖(h��o) S49-300/MT S49-300A/MT 1 �������� 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 �{(di��o)��(ji��)�y�(l��i)�� 늴��{(di��o)��(ji��)�y 3 �{(di��o)��(ji��)�y�oֹ?f��n)�B(t��i) ���]���O(sh��)��<2% F.S�� 4 �� ��1%F.S10SCCM~10SLMҎ(gu��)��������Ҏ(gu��)��ܡ�2% F.S�����ȷ���10%~100% F.S 5 ���� ��0.5~1.5%F.S 6 �؏�(f��)���� ��0.2%F.S 7 푑�(y��ng)�r(sh��)�g 2Sec 8 ��������� 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 �͉� 3MPa; 10MPa 10 �����h(hu��n)���ضȣ��棩 5~45 11 ���� ���P�316L 12 ��(bi��o)��(zh��n)�ܷ���� Viton®�� EPDM�� ���������Ñ�ָ�� 13 ©�� ��2��10-9mbar.l/s He 14 ���^ ��6mm, ��1/4��Swagelok��1/4��VCR�����������Ñ�ָ�� 15 ݔ��ݔ����̖(h��o) ģ�M0~��5.00V ݔ���迹��100K��,ؓ(f��)�dݔ�����������3mA��(sh��)��RS232/RS485������Modbus RTU �f(xi��)�h 16 ����Դ ��15V����2%������15V 50mA, ��15V 200mA�� 17 ���ͳߴ磨mm�� 123��111��28 18 ������kg�� 0.7 | �a(ch��n)Ʒ�DƬ |
��
˽�˶��� ԓ�a(ch��n)Ʒ�鶨�Ʈa(ch��n)Ʒ������������r(ji��)������h���S��ֱ�N(xi��o)�ʺ���ӿƼ�����˾��Ҫ�����|(zh��)�����������������_(k��i)�l(f��)�����졢�N(xi��o)���Լ��|(zh��)�����������N���ģ�ߵ��O(sh��)Ӌ(j��)���ӹ������P(gu��n)�ķ���(w��)���a(ch��n)Ʒ���������|(zh��)���Ě��w�|(zh��)���������ƃx�����y(c��)��?j��)x�������w��ˇ��Q������ȫ�����(w��)֧�ַ���������˾�a(ch��n)Ʒ���w�|(zh��)�������������V����(y��ng)���ڹ��I(y��)���w��ʯ�����������t(y��)������Ӽ�������댧(d��o)�w��̫�(y��ng)�ܹ�������(l��i)��(sh��)�(y��n)�����о����������t(y��)ˎ����(bi��o)��(zh��n)�z�y(c��)�ȸ��(l��i)���¼��g(sh��)�I(l��ng)��͑��ṩ���N���w�ܵ�ݔ��ϵ�y(t��ng)��ȫ�����(w��)�����V��͑��Ŀ϶����J(r��n)ͬ��
�ҹ�˾���a(ch��n)�����w�|(zh��)��������������ʹ�õļ��g(sh��)ȫ���҂���(d��)�Ҽ��g(sh��)����������֪�R(sh��)�a(ch��n)��(qu��n)���a(ch��n)Ʒ��ÿһ��(g��)���������҂��Լ��O(sh��)Ӌ(j��)����������ȡ���˶��(xi��ng)���g(sh��)��(zhu��n)����Ո(q��ng) ,���w�|(zh��)������������ÿһ��(g��)�����҂����Ծ������|(zh��)������(w��)�V��͑����͑��w�(y��n)���Ԅ�(d��ng)�����������O(sh��)�䎧��(l��i)�ĸ�׃����F(xi��n)�еĮa(ch��n)Ʒ���g(sh��)����(j��)�ṩ���A(ch��)����(w��)�� �����ڞ�͑��_(k��i)�l(f��)“���a(ch��n)��ˇ�(y��u)���ͳɱ���”�Ľ�Q���������P(gu��n)�a(ch��n)Ʒ�����������ṩ��Ч��(y��u)�|(zh��)���ۺ����(w��)��
�a(ch��n)Ʒ��(y��u)��(sh��)������˾�����_(k��i)�l(f��)���ƵĮa(ch��n)Ʒ�|(zh��)������Ӌ(j��)����һ�N���M(j��n)�����ܾ����|(zh��)�������y(c��)��?j��)x������ֱ���Á�(l��i)�y(c��)���ܵ��н��|(zh��)���|(zh��)���������������w�e���������������|(zh��)���ܶ����ضȡ���Һ�ĝ���Լ��^�����ϵăɷNҺ�w���Եĝ�ȵȅ���(sh��)�� ԓ����Ӌ(j��)��ʹ�ڐ��ӵĹ����h(hu��n)����Ҳ�ܱ��F(xi��n)����(y��u)�������ܡ���(du��)���r�l��Ҳ�](m��i)�п��̵�Ҫ�������п��ɔ_������(qi��ng)���y(c��)�����ȸ������̱ȴ���������(w��n)���ɿ�����(du��)���bҪ�������(du��)���w��B(t��i)Ҫ����������pʧС�ȃ�(y��u)�c(di��n)��������ϴ���߂����ſչ�������������g(sh��)ָ��(bi��o)���_(d��)����(gu��)�H���M(j��n)ˮƽ�� ÿ�_(t��i)���������ɲ��P䓲���������׃�����Ķ�Nݔ���ܝM�����ĸ��N�����ҹ�˾���a(ch��n)�Įa(ch��n)Ʒ��ʹ�õļ��g(sh��)ȫ���҂���(d��)�Ҽ��g(sh��)����������֪�R(sh��)�a(ch��n)��(qu��n)���a(ch��n)Ʒ��ÿһ��(g��)���������҂��Լ��O(sh��)Ӌ(j��)����������ȡ���˶��(xi��ng)���g(sh��)��(zhu��n)����Ո(q��ng)MFϵ��
MF-50/100/200C MF-100/200MMF�a(ch��n)Ʒϵ�����c(di��n)���к܌��Ĺ��������������a(ch��n)Ʒ���ԏ����ֱ��10Mpa;���a(ch��n)Ʒ����ʹ�ö�N���w���|(zh��)������һЩ���g�Ԛ��w�ȵȣ����к܌��������������a(ch��n)Ʒ��С�����������_(d��)0~10sccm����������������_(d��)0~30slpm���������Ʒ����ǝM���̵�2~100%�����̱Ȟ�50:1����——�߉���������������_(d��)100bar��——푑�(y��ng)�r(sh��)�g��≤1sec——ģ�Mݔ��ݔ���ӿڣ�0-5Vdc��4-20mA���x��——�B�ӳߴ��c������(bi��o)��(zh��n)�|(zh��)������������——�ߴ�С——�B�ӷ���������Q——��؛���ڶ�——��(y��u)�ݵăr(ji��)��O����?x��n)r(ji��)��——��(zh��n)�_�ʸ�——��(w��n)������������——���������V
��;�����c(di��n)���w�|(zh��)��������������MFC����ʯ�����I(y��)���������댧(d��o)�w�ͼ����·���I(y��)���طN���όW(xu��)�����t(y��)ˎ���߹����r���Ӛ���ϡ��h(hu��n)������յȶ�N�I(l��ng)��Ŀ��к����a(ch��n)��������Ҫ�đ�(y��ng)��������͵Ĉ�(ch��ng)�ϰ�������ӹ�ˇ�O(sh��)�䣬�磺������CVD��MOCVD���U(ku��)ɢ�����ӡ����x�ӿ��g���x��ע�롢�R�����Լ�����(y��ng)�b����������ϵ�y(t��ng)������Ĥ�O(sh��)�������w�۟�������ɫ�V�x�����������x�����Y(ji��)��(g��u)
���w�|(zh��)������Ӌ(j��)��������������Sensor����������ͨ���������Ŵ��·�Ȳ����M�����ښ��w�|(zh��)������Ӌ(j��)�Ļ��A(ch��)�����ټ����{(di��o)��(ji��)�y�T(m��n)��PID�����·�͘�(g��u)���˚��w�|(zh��)������������������ԭ��•��������������ë��(x��)�܂���ز����ᷨԭ����w���|(zh��)���������o(w��)��ضȉ����a(b��)������•���������ӟ�늘�y(c��)�õ�������̖(h��o)����Ŵ����Ŵ����Ŵ��������z�y(c��)늉��c�O(sh��)��늉��M(j��n)�б��^���ٌ���ֵ��̖(h��o)�Ŵ��ȥ�����{(di��o)��(ji��)�y�T(m��n)���]�h(hu��n)�������^(gu��)ͨ��������ʹ֮�c�O(sh��)�������������•�������Q����ͨ����������•�c֮���������@ʾ�x���O(sh��)���з�(w��n)���Դ��3λ�딵(sh��)��늉������O(sh��)���λ�������O(sh��)����(n��i)�O(sh��)�D(zhu��n)�Q����λ�y���_(k��i)�P(gu��n)����•������ݔ��������˨�z�y(c��)늉��c���^(gu��)ͨ�����|(zh��)�������ȣ��M���̣�F.S�������z�y(c��)ݔ���+5V�����w�|(zh��)���������������������Ʒ����ǣ�2~100��%F.S���̱Ȟ�50��1��
��Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)
��̖(h��o) �(xi��ng)Ŀ MF-200C MF-200M1 ����Ҏ(gu��)��N2�� 10sccm��30slpm 2 ��(zh��n)�_�� ±1��F.S(Full Scale)3 �؏�(f��)���� ±0.25��F.S��Full Scale��4 푑�(y��ng)�r(sh��)�g ≤2sec���eҪ��r(sh��)��≤1sec��5 �͉� ≤90bar6 �����h(hu��n)���ض� 0�桫50��7 ݔ��ݔ����̖(h��o) 0��5V 0��5V or 4��20mA8 ��� +15Vdc or +24Vdc 350mA9 ©�� 1×10atm.cc/sec10 ʹ�÷��� 2��100���M����
Ʒ��:�ձ�ɽ��Yamatake����(chu��ng)����1906�꣩ ��̖(h��o):MPCϵ�� �(l��i)��:���w�|(zh��)������������ �y(c��)������:2ML—20L/MIN ���ȵȼ�(j��):1—2%FS���� �m�ý��|(zh��):�՚�/��?d��)?����/���/CO2ģ�M��̖(h��o)��0-5V��1-5V��������:0.5��MPa�� �����ض�:-10 �� +60���棩
�P(p��n)�b���ʽ�|(zh��)������������MPCϵ���DZ���˾��(d��)���_(k��i)�l(f��)�ij�����푑�(y��ng)���ق���������MicroFlow����������С�ͱ���늴��y���·�ʽ����·�߶ȵĈ�(zh��)�������g(sh��)��һ�w���ɰ��b�ڃx���P(p��n)�ϵ��|(zh��)�������������� ���c(di��n)�� 1��ȫ�����ʽ���b���w����Ӌ(j��)��������С�����p���|(zh��)�����������������ߴ�48*48mm����73.7MM�����p300���ˣ� 2���P(p��n)ʽ�Y(ji��)��(g��u)��LED��(sh��)���@ʾ���a(ch��n)Ʒ������п��{(di��o)��(ji��)���N���ܵİ��o���O�����ײ���;ͨӍ����RS-485 3������RS-485ͨӍ�����������ⲿ�O(sh��)�䌍(sh��)�F(xi��n)ͨӍ4�������˸П�ʽ�|(zh��)�������y(c��)������ˌ�(sh��)�F(xi��n)�˲��ܜض�������׃��(d��ng)Ӱ푵ľ��_�y(c��)��5��푑�(y��ng)�ٶȸ���1����?x��n)?n��i)���߾���1—2%FS���µ���������
Ԕ��(x��)��̖(h��o)���Y�Ϛgӭ��(l��i)���ԃ(x��n)���� 13122347382�]�䣺keyong0519@163.comQQ��717563143
���w�|(zh��)��������������Mass Flow Controller����(ji��n)�Q(ch��ng)MFC�����Üز����ᷨԭ�����Ɍ�(du��)���w���|(zh��)�������M(j��n)�о��ܜy(c��)���Ϳ��������@�N�����y(c��)���Ě��w�������Ժ��ԜضȺ͉���Ӱ���
���a(ch��n)Ʒ�������A���͇�(gu��)����ИI(y��)��(bi��o)��(zh��n)SJ/T10583-94�Լ�SJ37��Ҏ(gu��)����ͨ�ü��g(sh��)�l��������������
MFC���Sͨ���õ�?d��)⣨N2����(bi��o)����
�|(zh��)�������Ć�λҎ(gu��)���飺SCCM (��(bi��o)��(zh��n)����/��)��SLM (��(bi��o)��(zh��n)��/��)
��(bi��o)��(zh��n)��B(t��i)Ҏ(gu��)���飺�ضȣ���-273.15 K��0�棩���≺—-101325 Pa��760mm Hg��
F.S.��Full Scale�����M����ֵ
�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)
���a(ch��n)Ʒ���з�(w��n)���ɿ���푑�(y��ng)�r(sh��)�g�̡���(bi��o)�����Ⱥ��؏�(f��)���ȸߵȃ�(y��u)�c(di��n)�����b���㣬�o(w��)���bλ�ú�ֱ�ܶ�Ҫ����������(ji��n)�Σ�����������@ʾ�x�������@ʾ�x��ʹ����Ҳ��ͨ�^(gu��)ģ�M/��(sh��)����̖(h��o)�D(zhu��n)�Q����AD/DA�D(zhu��n)�Q�������Ӌ(j��)��C(j��)ʹ�á�
����Ҏ(gu��)��(N2��(bi��o)��)
0��5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0��1,2,3,5,10,20,30 SLM
ע���M�������������ڴ�̎�г�������Ҏ(gu��)����������5SCCM��30SLM������(n��i)���x������123SCCM��
ݔ��ݔ����̖(h��o)
0��+5.00V (ݔ���迹����100kΩ��ݔ�����������3mA)
��(y��ng)���ИI(y��)
���W(xu��)���I(y��)��ʯ�����I(y��)��LNG���I(y��)���댧(d��o)�w���Ϻ���ӹ��I(y��)���t(y��)ˎ���I(y��)���طN�����о����h(hu��n)��������ИI(y��)����ʹ�ñ��a(ch��n)Ʒ���O(sh��)����Ҫ�У�����Ĥ�O(sh��)�䡢�������O(sh��)�������w�۟��O(sh��)�䡢���w�Ƃ��O(sh��)��������O(sh��)�䡢����(y��ng)�b��������ɫ�V�x�����������x������
�|(zh��)���c����(w��)
�ҹ�˾���Z��(du��)�a(ch��n)Ʒ���|(zh��)���ڞ����ꡣ������؛��������?x��n)?n��i)����������f(shu��)����(sh��)Ҫ��ʹ�������ذ�ȫע�����(xi��ng)�����Үa(ch��n)Ʒ�](m��i)�б��p�������b�����������κι��Ϻ͆�(w��n)�}���ҹ�˾ؓ(f��)؟(z��)���M(f��i)�S����Q��Ʒ��
�ڱ����������҂��ṩ�K���S�;S�o(h��)����(w��)�����m��(d��ng)��ȡ�S�;S�o(h��)�ijɱ��M(f��i)���S�;S�o(h��)�����S���ֵ��|(zh��)���ڞ�Ҽ����
�ҹ�˾�Ќ�(zhu��n)�I(y��)���ۺ̎����Ԏ�������Q�P(gu��n)�ڰ��b��ʹ�õȸ�����Ć�(w��n)�}�������ṩ�a(ch��n)Ʒ��ʹ����Ӗ(x��n)��
����Ҏ(gu��)��(N2��(bi��o)��) | 0��5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
����Ҏ(gu��)��(N2��(bi��o)��) | 0��1,2,3,5,10,20,30 SLM |
�{(di��o)��(ji��)�y�(l��i)�� | ���]ʽ |
���̱� | (2��100)��F.S. ��50:1 |
�����ֱ��� | 0.1��F.S. |
��(zh��n)�_�� | ±1��F.S. (≤15SLM) |
��(zh��n)�_�� | ±2��F.S. (��15SLM) |
���� | ±0.5��F.S. (≤15SLM) |
���� | ±2��F.S. (��15SLM) |
�؏�(f��)���� | ±0.2��F.S. |
푑�(y��ng)�r(sh��)�g | ≤2sec |
��������� | 0.1��0.5MPa (≤10SLM) |
��������� | 0.1��0.3MPa (��10SLM) |
����͉� | 3MPa |
�����h(hu��n)���ض� | 5��45�� |
��|���^ | DB15pin(���) |
ݔ��ݔ����̖(h��o) | 0��+5.00V (ݔ���迹����100kΩ��ݔ�����������3mA) |
����ԴҪ�� | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) |
��(du��)����c(di��n)й©�� | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
���|(zh��)���|���|(zh��) | 316��316L���ܷ����� |
�ܵ����^�ߴ� | VCR�ͽ��^��1/4” |
�ܵ����^�ߴ� | �p�����ͽ��^��1/8”��1/4”��3/8”��φ3��φ6��φ8��φ10 mm |
���γߴ� | �L(zh��ng)×��×�ߣ�127×30×100 mm |
������ | 0.88kg |
EL-FLOW®ϵ���|(zh��)��������������һ��߿Ƽ������Įa(ch��n)Ʒ���ܜy(c��)����������������0..1 mln/min �� 0..1250 ln/min�������������_(d��)��400 bar��
Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®ϵ�Ѓx�����ܱ��F(xi��n)��
���g(sh��)��(y��ng)�ã�
�����y���O(sh��)Ӌ(j��)��ģ�K���Y(ji��)��(g��u)�����Է���ظ��Q��Kvֵ��1.5���@�Ì�(zhu��n)�����o(h��)�Ī�(d��)�ؽY(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ(j��)�����m��(y��ng)���������߲�Ŀ��ƣ��@�ǵĮa(ch��n)Ʒ��
��(y��ng)��
����������(�՚�)
F-200C | min. 0,02 ... 1 mln/min |
max. 0,2 ... 10 mln/min | |
F-201C | min. 0,2 ... 10 mln/min |
max. 0,3 ... 15 ln/min | |
F-201AC | min. 0,2 ... 10 ln/min |
max. 1,4 ... 70 ln/min | |
F-202AC | min. 0,5 ... 25 ln/min |
max. 5 ... 250 ln/min | |
F-203AC | min. 2 ... 100 ln/min |
max. 25 ... 1250 ln/min | |
F-232M | min. 0,2 ... 10 mln/min |
max. 2 ... 100 ln/min |
���y(c��)���w�քe����(j��ng)�ɂ�(g��)�����^(q��)��һ·ͨ�^(gu��)�������ܵ�����һ·ͨ�^(gu��)ë��(x��)�y(c��)������
�ɂ�(g��)��·���O(sh��)Ӌ(j��)���C���w̎�ڌ�����B(t��i)����˃ɂ�(g��)��·�������Ǻ㶨�ġ�
�ɂ�(g��)���ܵĜضȸБ�(y��ng)�@�M�ڜy(c��)�����ϱ��ӟ�����(d��ng)�������a(ch��n)���r(sh��)�����ӟ�Ě��w�����Ύ��ߟ��������εĸБ�(y��ng)�@�M�ϡ��a(ch��n)���ز�Б�(y��ng)Ȧ����׃���dzɱ�������
�y(c��)���@�M�����ֵ�c˲�r(sh��)�����ɾ��Ա����P(gu��n)ϵ�����û�˹�D늘��(l��i)�z�y(c��)�y(c��)���@�M�����׃����
����(j��)���y(c��)���w���|(zh��)��������ݔ��0-5VDC����4-20mA��̖(h��o)��
��(j��ng)�^(gu��)�ɂ�(g��)�����^(q��)�Ě��w��Ϻ����^(gu��)���w�ض�����늴ű����y���|(zh��)�������y(c��)���c늴ű����y�M���]�h(hu��n)�Ŀ���ϵ�y(t��ng)��ʹ������(w��n)�����O(sh��)��������ֵ����
��һ��������(n��i)�ضȺ͉�����׃������(hu��)Ӱ�����������(sh��)Ҏ(gu��)��
�a(ch��n)Ʒ���Q(ch��ng)�����w�|(zh��)������������ ���ȣ� ����%FS
��̖(h��o) GFC17,37��47 GFC57,67,77
�������� 0-100% 20-100% 0-20%
���� ±1% ±1.5% ±3%
���x����%FS
��̖(h��o) GFC17 GFC37��47,57,67,77
�������� 0-100% 20-100% 0-20%
���� ±1% ±1% REF DATA with ±1%
У��(zh��n)����(bi��o)�r��14.7psia��101.4kpa����70�H��21.1�棩��
�؏�(f��)�ԣ�±0.25%�M�����
푑�(y��ng)�r(sh��)�g���ڝM��̵�25-100%������(n��i)��2���(n��i)�_(d��)��2%����
�ض�ϵ��(sh��)��0.05%�M���/��
����ϵ��(sh��)��0.01%�M���/psi��0.07bar��
���]���w������25psig��1.73bars��
�����w������GFC17,37,47���1000psi��70bars��.GFC57,67��77���500psig��34.5bars��
���̱ȣ�40:1
��GFC17/37/57/67/77 50psi��3.4bars����GFC47 40psi��2.7bars��
���w����?ch��)��ضȣ?2�H-122�H��0��-50�棩��14�H-122�H��-10��-50�棩��������w
��λ�`���ȣ�ˮƽ����ֱ���D(zhu��n)����15������(bi��o)��(zh��n)У��(zh��n)����ˮƽλ��
ݔ����̖(h��o)������0-5Vdc��3000ohms��Сؓ(f��)�d�迹��������4-20mA��500ohms����·��裩�����±20mV
������̖(h��o)���h(yu��n)���O(sh��)��ģʽ��ģ�M0-5Vdc��4-20mA��NPN������ϴ/�P(gu��n)�y
�B�ӣ�GFC17and37��1/4�������B��
���x6mm��1/4VCR��3/8��1/8����
GFC47��3/8������
GFC57��3/8������
GFC67��1/2������
GFC77��3/4��FNPT.���x��3/4������
й©�ʣ�����й©��1*109sml/s
ݔ���Դ��+12Vdc��800mA�����x+24Vdc��650mA
��·���o(h��)���·���(n��i)�ØO�Ա��o(h��)���Ԅ�(d��ng)�֏�(f��)��豣�o(h��)�Դ�^(gu��)�dݔ��
�@ʾ��3-1/2��(sh��)��LCD��0.5��Ӣ����ַ�
CE�J(r��n)�C��EN55011class1,classB;EN50082-1�a(ch��n)Ʒҕ�l��
|
���� | ����Ӌ(j��)/������ | |
������̖(h��o) | LF400-S | |
�M������������(N2) | SCCM | 0��5��10��20��30��50��100��200��500 |
SLM | 0��1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
����(��F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±1.5(��15SLM.) | ||
�����y��(d��ng)����ʽ | ���]ʽ | |
����(��F.S.) | ±0.5��1(≤15SLM) | |
±1.5��(��15SLM.) | ||
�؏�(f��)����(��F.S.) | ±0.2 | |
푑�(y��ng)�r(sh��)�g(sec) | ≤1 | |
����ݔ����̖(h��o) | 0-+5.00V | |
�����O(sh��)����̖(h��o) | 0-+5.00V | |
������^ | DB15 pin(���^) | |
�����h(hu��n)���ض� | (��) | 5��45 |
�������� | (MPa) | 0.1��0.5 |
©�� | SCCSHe | 1×10-9 |
����͉� | 3MPa | |
���|(zh��)���|���|(zh��) | 304��316��316L | |
�ܷ���� | �����z�������z���������z�����ķ���ϩ | |
���^ | VCR " 1/4��1/2 | |
Swagelok1/8”��1/4” ��3/8” ��1/2”��φ3��φ6��φ8��φ10��φ12mm | ||
���^�ͳߴ� | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
�ԴҪ�� | +15V,50mA;-15V,200mA | |
���� | 1.0KG |
|
|
|
|
��(y��ng)���I(l��ng)���������x�� ���ɿ̣�RIE/DRIE�� ��ȼ��늳أ����\�g(sh��) ������ɫ�V���� �����x�ӿ��g�����⺸�C(j��) ��������ϵ�y(t��ng) ������(y��ng)�b�ã�����Ĥ ���^(gu��)���Ԅ�(d��ng)�� ��ʯ�����I(y��)