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DSN系列國產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器

用途和特點

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和

控制。它在多個領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。

東莞德欣于對產(chǎn)品性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進，DSN質(zhì)量流量控制器具有精度高、重

復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）

特點。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀

使用，也可直接同計算機實現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實現(xiàn)自動控制。它也可以作為氣體質(zhì)

量流量計使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確測量和控制。

主要技術(shù)指標:

型號DSN

序號	項目	內(nèi)容
		DSN—①	DSN—②
１	流量范圍	0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM； 0～1，2，3，5，10 ,20,30SLM;
2	度（%FS）	±2%FS	±1%FS
3	線性(%FS)	±(0.5～2)%F.S	±(0.5～1)%FS
4	重復(fù)精度(%FS)	±0.2%FS
5	響應(yīng)時間(sec)	電特性：＜10；氣特性：＜1～4
6	工作壓差范圍（MPa）	0.05～0.3
7	耐壓（MPa）	3，10
8	工作環(huán)境溫度（℃）	5～45
9	輸入輸出信號電壓	0～+5.00V
10	電源	+15V 500mA，－15V 500mA（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
11	外形尺寸（mm）	130＊28＊121
12	重量約（kg）	1.0

Compact氣體質(zhì)量流量控制器熱質(zhì)式

應(yīng)用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實驗室設(shè)備

技術(shù)指標：

顯示方式：4-Digital LCD 液晶顯示；長條圖形顯示

顯示單位：可測氣體,空氣,氧氣,氮氣,氦氣,氬氣,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性氣體笑氣,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等

度：+/-1% FS

滿刻度重設(shè)比例：1：50

反應(yīng)時間：500ms 精度優(yōu)于 99%

電源供應(yīng)：鋰電池Type AA,電池壽命約2 年選配：外接VDC24V,+/-10%

操作壓力：10bar high on request

操作溫度：0 - 50℃

材質(zhì)：鋁合金材質(zhì)選配：不繡鋼拋光材質(zhì)/Flow element PBT 工程塑料

軸封材質(zhì)：Viton 選配：EPDM

IP 等級：IP50 / Panel mount IP65

符合德國EMC 安全規(guī)范：EN50081,EN50082

測量范圍：

Code	Range air	connection	Code	Range air	connection
A4	4-200ml/min	G1/4”	C4	0.4-20l/min	G1/4”
A5	10-500ml/min	G1/4”	C5	1-50l/min	G1/4”
B4	40-2000ml/min	G1/4”	D3	2-100l/min	G1/2”
B5	100-5000ml/min	G1/4”	D4	4-200l/min	G1/2”

MCALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器測量原理圖

二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

準確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達新的設(shè)定值?？焖?、可重復(fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

? 50-100毫控制響應(yīng)

? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

? 同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對壓力

? 瞬間啟動、無需預(yù)熱：1內(nèi)即可開始流量控制

三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標準系列

全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。點擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，門用于真空應(yīng)用?？啥ㄖ葡鄳?yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。點擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時間	100ms
標準狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）

該公司產(chǎn)品分類：溫度儀表 ALICAT液體流量計渦輪流量計電磁流量計液體質(zhì)量流量控制器液體質(zhì)量流量計氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計管閥件分析測試儀表壓力儀表流量儀表

MC型氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品概述：

該層狀流量控制器采用了一個比例閥，它與流量計部分相連。測量是在流量計的層狀區(qū)域進行的，并且一體化的PID控制器按照用戶的可編程設(shè)定點定位閥門。這些堅固的、閉環(huán)控制器可以接收0-5V的控制設(shè)置點信號，設(shè)置點信號或者來自一臺外部的設(shè)備，或者來自一臺可選的Alicat本地設(shè)定點模塊（LSPM）。

控制器還能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制輸入信號，這取決于用戶的選擇愛好。與設(shè)定點電壓無關(guān)的是，控制器能配置為單路或雙路信號輸出，它們可以是同樣的或不同的電壓或參數(shù)，例如質(zhì)量流量和溫度或流量和壓力。這是因為我們的質(zhì)量流量控制器綜合了固態(tài)的差壓、絕壓和溫度傳感器來計算流量。因此，流量計不僅使用簡單而且響應(yīng)快，同時具有固有的線性和能夠顯示和變送多個過程參數(shù)。有了RS-232數(shù)字連接，不僅所有的過程參數(shù)可以同時獲得而且還具有遠程設(shè)置點能力。

在并行連接中，最多26臺設(shè)備能被單獨尋址和控制。氣體量程從每分鐘0.5毫升滿量程到每分鐘1500+升滿量程。規(guī)格尺寸標注在設(shè)備背面，規(guī)格尺寸隨著工況的不同可能有所不同。（體積流量計不需要絕壓傳感器或離散溫度傳感器，因此會便宜些。他們常用于通風(fēng)到大氣或小的背壓應(yīng)用。）

二、流量控制器的性 1. 壓力，溫度，體積和質(zhì)量流量的持續(xù)顯示（M系列） 2. 簡易的按鍵操作界面 3. 無熱線圈的熱漂移 4. 固有的線性 5. 通過CE認證 6. 可標注用戶商標 7. NIST Traceability 8. 設(shè)定點可通過動態(tài)數(shù)字顯示 9. RS232串行輸出標準

三、設(shè)計特點 1. 滿量程從0.5CCM到1500LPM+ 2. 響應(yīng)時間100ms 3. 量程比優(yōu)于100：1 4. 位置不敏感 5. 自動復(fù)位或在顯示屏上按復(fù)位鍵（Tare）復(fù)位 6. ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） 7. 17種氣體選擇，無須重新校驗（須帶顯示） 8. 動態(tài)數(shù)字顯示 9. 本地控制能力

產(chǎn)品規(guī)格	MC	測量單位
量程范圍	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
量程范圍	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等級	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）	滿量程
重復(fù)性	±0.5%	滿量程
量程比	100：1
響應(yīng)時間	100	毫秒
壓降	-	與廠家商議
操作溫度	-10～50	℃
零點漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
范圍漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
濕度量程	0-100%	無冷凝
過流率	2.4%	滿量程
最大耐壓	125	PSIG
供應(yīng)電流	當流量≤20LPM時： 0.25 當流量≥50LPM時： 1	安培
電源電壓	當流量≤20LPM時：12-25VDC 當流量≥50LPM時：24-30VDC
輸入/輸出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
電氣連接	8針或可選的工業(yè)連接插頭	小型圓插頭 DIN
機械連接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門側(cè)1/2"接口，流量計側(cè)1/4"接口：當流量為50(S)LPM和100(S)LPM時 1/2"接口：當流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，陽極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

產(chǎn)品尺寸：

流量范圍	高度	長度	深度	流量計接口	閥門接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)

注意事項：特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區(qū)量。有時候，特殊的流量/壓力條件可能規(guī)定各種接口尺寸的組合。

CMQ氣體質(zhì)量流量控制器

CMQ0005/0020/0050數(shù)字質(zhì)量流量控制器(小流量型)CMQ系列是高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，它使用由山武公司研制的感熱式微流量傳感器和比例電磁閥這種高水平執(zhí)行器。因此CMQ具有高性能低成本。CMQ具有響應(yīng)快、控制范圍寬的特點，能滿足多種工業(yè)控制要求。

MPC9500山武氣體質(zhì)量流量控制器

此產(chǎn)品它是一款通過面板安裝來實現(xiàn)高水平的流量控制器的，而且它也是世界上最小、最輕的氣體質(zhì)量流量控制器，它具有操作簡單、安裝簡單的特性而被廣大客戶朋友們喜愛。

它在對浮子式流量計進行更換時，操作和安裝也很簡單，沒有任何不適感，標準化配置了豐富的功能，根據(jù)顧客多樣化的需求，努力降低了設(shè)備的總成本。

此產(chǎn)品的設(shè)計與應(yīng)用是來應(yīng)對這樣的需求的：① 想要數(shù)字化設(shè)定和管理流量

② 想要解決浮子式流量計不可避免的“因設(shè)計與使用時的條件差異引起的測量誤差”

③ 想要控制流量，但是，不能接受價格昂貴、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的測量儀器和復(fù)雜的操作

④ 想要將浮子式流量計更換為氣體質(zhì)量流量控制器，但是，不能對安放場所、配管布局等進行大規(guī)模的更改等。

另外，此系列還有其它幾個型的產(chǎn)品，比如有MPC0002、MPC0005、MPC0020等，它們的適用氣體必須是干燥、清潔的。其控制范圍是4 ~ 100%FS，響應(yīng)性在1.0s以內(nèi)達到設(shè)定±2%FS（TYP），此外，它的精度為±2%FS以內(nèi)（標準溫度、標準差壓下），重復(fù)性為±1%FS以內(nèi)，溫度影響情況為每1°C為0.1%FS以下，標準差壓是0.2MPa，必要差壓則為0.05MPa，耐壓為0.5MPa（表壓），它的標準工作溫度為+ 25°C，允許工作溫度范圍在-10 ~ +50°C （但是，使用RS-485通訊功能時為0 ~ +50°C ），允許保存溫度范圍是-10 ~ +60°C，允許環(huán)境濕度范圍為10 ~ +90%RH（無結(jié)露）。此產(chǎn)品的接氣部分材質(zhì)為黃銅（鎳鍍金）、不銹鋼、特氟綸、氟橡膠，連接方式為Rc1/8，安裝方式為設(shè)定顯示部表面垂直，入口配管側(cè)在下、出口配管側(cè)在上的狀態(tài)，重量約300克。如需了解更多信息，請登錄www.zhoudar.com進行咨詢！

該公司產(chǎn)品分類：流量計傳感器伺服系統(tǒng)

D07-7K 氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號	D07-7K
產(chǎn)品類型	普通型
流量量程	20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±1％F.S.
響應(yīng)時間	≤4sec
工作溫度范圍	（5~45）°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠（耐氨橡膠） Neoprene
輸入輸出信號	（0~5）VDC
電源	±15V
閥類型	常閉
溫度系數(shù)	- 無 -
零點飄移指標	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Female
工作壓差范圍	（0.1～0.5） MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4（內(nèi)）×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6（內(nèi)）×1軟管接頭
表面化學(xué)成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	- 無 -
重量	1.1Kg

該公司產(chǎn)品分類：氣體流量計 D08系列流量顯示儀/積算儀 cs系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器 D07系列模擬式質(zhì)量流量控制器

DSN-700供應(yīng) DSN-700大量程氣體質(zhì)量流量控制器

DSN-700大量程氣體質(zhì)量流量控制器（帶通訊接口）技術(shù)標準

標準介質(zhì)：（N2）

量程：（0~10,30）SLM

準精度：±1％F.S；

重復(fù)精度：±0.2%F.S線性：±（0.5～1）％F.S工作壓差范圍：0.05～0.3MPa；

耐壓：3，10MPa工作環(huán)境溫度：5～45℃；

輸入輸出信號電壓：0～+5.00V電源：24V電連接器：D15pin外形尺寸：130*28*121mm重量：約1.0kg接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.1/4〞.3/8〞....VCR接頭：1/4〞.3/8〞.1/8〞........

一、概要介紹

質(zhì)量流量控制器是與東莞德欣產(chǎn)品DSN-MFC600CD以及DSN-MFC700型配套的控制操作觸屏。實現(xiàn)MFC對氣體的控制儀表。

功能：

①流量設(shè)定：在閥控狀態(tài)下，以F.S滿量程為基準，設(shè)定范圍“0~110%F.S”（注：“0”-根據(jù)MFC不用，范圍可能是2~110%）。

②流量讀?。鹤詣幼x取實時流量值。

③清洗（清掃）：在安裝氣路過程中，方便清除管道內(nèi)的異物，確保管路的清潔。注：間斷使用，不可長時間使用。

④關(guān)閉：實現(xiàn)MFC的關(guān)閉功能。注：間斷使用，不可長時間使用。

⑤累積流量設(shè)定：控制一定總量的氣體，到想要的總量，自動關(guān)閉。在“流量設(shè)定”的某一個值下，設(shè)定氣體總量，實現(xiàn)總量控制。

⑥定時控制：某一設(shè)定流量下，在一定時間內(nèi)控制流量。

⑦實時流量記錄：查看氣體流量的記錄表?？梢杂肬盤存貯。

⑧實時流量曲線：查看氣體流量的實時曲線。

⑨多氣體種類的選擇。實現(xiàn)一個MFC控制多種氣體。

⑩分段流量控制：氣體流量的曲線控制

該公司產(chǎn)品分類：氣體質(zhì)量流量計氣體流量控制器

Compact熱質(zhì)式氣體質(zhì)量流量控制器

特點：

1.世界個使用電池電力之氣體質(zhì)量流量計

2.互補金屬氧化半導(dǎo)體元件(CMOS)技術(shù)原理

3.對壓力及溫度的話不敏感

4.高度和高解析度

5.使用時不需安裝其他配件

6.可使用電池電力或24伏特直流電力

7.安裝后可連續(xù)使用兩年自主性（電池部分)

8.LCD液晶直讀式設(shè)計及條狀圖形顯示

9.外型設(shè)計精巧可耐壓力之衛(wèi)擊

10.可選配手動針狀閥或開關(guān)功能

流量范圍： 0~10/100/1000/5000ml/min 0~5/10/50/100/100/200/300L/min (依客戶選定) 精確度：+/-1% FS

反應(yīng)時間：500毫秒

操作溫度：0~50℃

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