型號: |
EL-FLOW®系列質量流量控制器是一款高科技代表的產品,能測量控制流量范圍:0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min,最大操作壓力達到400 bar。
Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列儀表性能表現(xiàn):
技術應用:
控制閥被設計成模塊化結構,可以方便地更換,Kv值為1.5。獲得專利保護的獨特結構設計,能適應大流量及高差壓的控制,這是的產品。
應用
流量范圍表(空氣)
F-200C | min. 0,02 ... 1 mln/min |
max. 0,2 ... 10 mln/min | |
F-201C | min. 0,2 ... 10 mln/min |
max. 0,3 ... 15 ln/min | |
F-201AC | min. 0,2 ... 10 ln/min |
max. 1,4 ... 70 ln/min | |
F-202AC | min. 0,5 ... 25 ln/min |
max. 5 ... 250 ln/min | |
F-203AC | min. 2 ... 100 ln/min |
max. 25 ... 1250 ln/min | |
F-232M | min. 0,2 ... 10 mln/min |
max. 2 ... 100 ln/min |
一、概述:
GFC系列用于測量和控制氣體質量流量。本品外殼堅固耐用,精確度高,是一款多功能而且經濟實用的流量控制產品。
可選鋁或不繡鋼外殼,可選顯示工程單位(標準)或百分比。自帶的電磁比例閥可以控制設定的流量,該閥是常閉閥,當意外停電時,閥門將自動關閉。設定點可以本地控制或外部給定控制。
自帶置于傳感器頂部的LCD顯示模塊,這個顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數(shù)。它用一個標準的插頭與傳感器連接,也可以分開獨立安裝。OEM的應用可提供無 LCD顯示的產品。
二、操作原理:
被測氣體分別流經兩個層流區(qū),一路通過主流量管道,另一路通過毛細測量管。
兩個管路的設計保證流體處于層流狀態(tài),因此兩個管路流量比是恒定的。
兩個精密的溫度感應繞組在測量管上被加熱,當有流量產生時,被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應繞組上。產生溫差和感應圈電阻的變化是成比例的。
測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關系,采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。
根據被測氣體的質量流量,輸出0-5VDC或者4-20mA信號。
經過兩個層流區(qū)的氣體混合后流過具體特定孔徑的電磁比例閥,質量流量測量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng),使流量穩(wěn)定在設定的流量值上。
在一定范圍內溫度和壓力的變化不會影響流速。
三、技術參數(shù):
產品名稱:質量流量控制器GFC 精度: 精度%FS
型號 GFC17,37,47 GFC57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1.5% ±3%
可選精度%FS
型號 GFC17 GFC37,47,57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%
校準:標況【14.7psia(101.4kpa),70℉(21.1℃)】
重復性:±0.25%滿里程、
響應時間:在滿里程的25-100%范圍內,2秒內達到2%精度
溫度系數(shù):0.05%滿里程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿里程/psi(0.07bar)
推薦氣體壓力:25psig(1.73bars)
最大氣體壓力:GFC17,37,47最大1000psi(70bars).GFC57,67,77最大500psig(34.5bars)
量程比:40:1
最大壓差:GFC17/37/57/67/77 50psi(3.4bars),GFC47 40psi(2.7bars)
氣體和周圍溫度:32℉-122℉(0℃-50℃),14℉-122℉(-10℃-50℃),干燥氣體
方位靈敏度:水平到垂直旋轉低于15度;標準校準是在水平位置
輸出信號:線性0-5Vdc(3000ohms最小負載阻抗);線性4-20mA(500ohms最大回路電阻)最大噪聲±20mV
控制信號:遠程設定模式:模擬0-5Vdc或4-20mA;NPN兼容清洗/關閥
連接:GFC17and37:1/4"卡套連接
可選6mm,1/4VCR,3/8或1/8卡套
GFC47:3/8"卡套
GFC57:3/8"卡套
GFC67:1/2"卡套
GFC77:3/4"FNPT.可選:3/4"卡套
泄漏率:氦氣泄漏率1*109sml/s
輸入電源:+12Vdc,800mA;可選+24Vdc,650mA
回路保護:電路板內置極性保護,自動恢復電阻保護電源過載輸入
顯示:3-1/2數(shù)字LCD,0.5"英寸高字符
CE認證:EN55011class1,classB;EN50082-1
|
材質:316不銹鋼,416不銹鋼, Viton7 O形圈;Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.
5400系列金屬密封型質量流量計控制器
經濟型,適用于半導體等行業(yè),5400是質量控制器,5410是質量流量計流量范圍:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM控制閥:常閉,電磁隔膜閥反應時間:到達設定值±2%范圍內≤1秒精度:±1%以內線性:±0.5%以內重復性:±0.2%以內使用壓差:范圍≤5SLM時,49~294KPA,5SLM <范圍≤20SLM時,147~294KPA壓力限制:980KPA泄露率:1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小操作溫度:0~50°C接觸介質的材質:本體: SUS316L 隔膜:Ni-CO閥座:PTFE密封材料:Ni,SUS316L連接:1/4VCR電氣連接:9針插座控制信號:0-5VDC輸出信號:0-5VDC電源:5400:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 200 mA 5410:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 100 mA
02133194893,liuliejun123@sina.cn 詳情來電 劉工 ,15711669815
功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | LF400-S | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
| SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±1.5(>15SLM.) | |
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
| ±1.5%(>15SLM.) | |
重復精度(%F.S.) | ±0.2 | |
響應時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
最大耐壓 | 3MPa | |
介質接觸材質 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | |
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 1.0KG |
盤裝質量流量控制器 型號:M297247 | |
盤裝質量流量控制器MPC系列是本公司獨自開發(fā)的超高速響應流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術于一體,可安裝在儀表盤上的質量流量控制器 | 產品圖片 |
功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | LF400-S | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±1.5(>15SLM.) | ||
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
±1.5%(>15SLM.) | ||
重復精度(%F.S.) | ±0.2 | |
響應時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
最大耐壓 | 3MPa | |
介質接觸材質 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,丁氰橡膠,聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 1.0KG |