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氣體質(zhì)量流量控制器

 一、 產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

 

 二技術(shù)參數(shù)（本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗）

2.1  測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2   流量范圍：   DN3   100-1000mL/min

                      DN4    250-2500mL/min

                      DN6    1000-10000mL/min

                      DN8    1500-15000mL/min  

      DN10   2500-25000mL/min             

                注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

2.3   流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS

2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6   供電電源：24VDC±10%；

2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9   顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

 

該公司產(chǎn)品分類： 金屬轉(zhuǎn)子流量計 磁翻柱液位計 玻璃轉(zhuǎn)子流量計 熱式氣體質(zhì)量流量計 氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式

氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式貨號:
一、產(chǎn)品主要特點:本產(chǎn)品可自動測控氣體質(zhì)量流量。不受溫度和壓力的限制，度高、重復(fù)性好標(biāo)準(zhǔn)電信號輸入輸出，可測控瞬間和累計流量。適用于各種介質(zhì)，可替代同類進(jìn)口產(chǎn)品，除此以外，還具有以下特點： 1、采用當(dāng)今的40MHz高速主頻、32位ARM系列單片機做數(shù)字處理控制。數(shù)字化處理的測量線性、精度，及實時動態(tài)控制等。響應(yīng)速度做到了2秒。 2、12位精度、采樣速率高達(dá)1MSPS的AD/DA轉(zhuǎn)換。 3、RS232/485串口，Modbus協(xié)議，與上位機通訊簡單方便。配合上位機，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計量、控制操作及組態(tài)。 4、結(jié)構(gòu)主體采用不銹鋼（316L）材料，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。5、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。6、具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定？扇我馕恢冒惭b。 7、兼容模擬電氣操作控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。 二、主要技術(shù)指標(biāo) 表1、硬件性能 項目\型號 S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉（設(shè)定<2% F.S） 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S。精度范圍10%~100% F.S 5 線性 ±0.5~1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時間 2Sec 8 工作壓差范圍 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度（℃） 5~45 11 材料 不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用戶指定 13 漏率 ＜2×10-9mbar.l/s He 14 接頭 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定 15 輸入輸出信號 模擬0~＋5.00V 輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA數(shù)字RS232/RS485串口，Modbus RTU 協(xié)議 16 供電電源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外型尺寸（mm） 123×111×28 18 重量（kg） 0.7 產(chǎn)品圖片

　

   

INHA氣體質(zhì)量流量控制器

 

私人定制 該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，中外合作，價格需電議，廠家直銷仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和全球服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測等各類高新技術(shù)領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。

我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們獨家技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個部件都有我們自己設(shè)計制作，且已取得了多項技術(shù)專利申請 ,氣體質(zhì)量流量控制器每一個部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗到自動化流量控制設(shè)備帶來的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級提供基礎(chǔ)服務(wù)。 致力于為客戶開發(fā)“生產(chǎn)工藝最優(yōu)化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢：本公司自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計，是一種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測量儀表？芍苯佑脕頊y量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際先進(jìn)水平， 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們獨家技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個部件都有我們自己設(shè)計制作，且已取得了多項技術(shù)專利申請MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200MMF產(chǎn)品系列特點：有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm，最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為50:1）。——耐高壓（最大工作壓力可達(dá)100bar）——響應(yīng)時間快≤1sec——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容——尺寸小——連接方便，快拆快擰——交貨周期短——優(yōu)惠的價格極具性價比——準(zhǔn)確率高——穩(wěn)定的流量控制——壓力范圍廣

用途和特點氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。工作原理•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。•分流器決定主通道的流量。•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術(shù)指標(biāo)

編號 項目 MF-200C MF-200M1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 響應(yīng)時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）5 耐壓 ≤90bar6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范圍 2～100％滿量程

 
該公司產(chǎn)品分類： 流量顯示控制儀表 INHA氣體質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器

MPC氣體質(zhì)量流量控制器

品牌:日本山武Yamatake（創(chuàng)立于1906年）  型號:MPC系列    類型:氣體質(zhì)量流量控制器  測量范圍:2ML—20L/MIN  精度等級:1—2%FS以下 適用介質(zhì):空氣/氮氣/氧氣/氬氣/CO2模擬信號：0-5V、1-5V工作壓力:0.5（MPa）  工作溫度:-10 到 +60（℃）

  盤裝面板式質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨自開發(fā)的超高速響應(yīng)流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體，可安裝在儀表盤上的質(zhì)量流量控制器。  特點： 1：全球面板式安裝氣體流量計；世界最小、最輕的質(zhì)量流量控制器（面板尺寸48*48mm，深73.7MM；最輕300公克） 2：盤式結(jié)構(gòu)，LED數(shù)字顯示，產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕，極其容易操作;通訊功能RS-485 3：帶有RS-485通訊，能于其他外部設(shè)備實現(xiàn)通訊4：采用了感熱式質(zhì)量流量測量，因此實現(xiàn)了不受溫度、壓力變動影響的精確測量5：響應(yīng)速度高速1秒以內(nèi)，高精度1—2%FS以下的流量控制

詳細(xì)型號和資料歡迎來電咨詢柯勇 13122347382郵箱：keyong0519@163.comQQ：717563143

C50熱式氣體質(zhì)量流量控制器氮氣流量計氬氣流量計

 概要

 

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。

本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。

MFC出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度－－-273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：滿量程值

 

產(chǎn)品特點

 

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計算機使用。

 

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

 

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

 

輸入輸出信號

 

0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

應(yīng)用行業(yè)

 

化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

 

質(zhì)保與服務(wù)

 

我公司承諾對產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負(fù)責(zé)免費維修或更換新品。

在保修期外，我們提供終身維修和維護服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護的成本費。維修和維護后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。

我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。

產(chǎn)品規(guī)格
流量規(guī)格(N2標(biāo)定) 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格(N2標(biāo)定) 0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型 常閉式
量程比 (2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率 0.1％F.S.
準(zhǔn)確度 ±1％F.S. (≤15SLM)
準(zhǔn)確度 ±2％F.S. (＞15SLM)
線性 ±0.5％F.S. (≤15SLM)
線性 ±2％F.S. (＞15SLM)
重復(fù)精度 ±0.2％F.S.
響應(yīng)時間 ≤2sec
工作壓差范圍 0.1～0.5MPa (≤10SLM)
工作壓差范圍 0.1～0.3MPa (＞10SLM)
最大耐壓 3MPa
工作環(huán)境溫度 5～45℃
電纜接頭 DB15pin(針形)
輸入輸出信號 0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求 +15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
對外單點泄漏率 ≤1×10-9Pa·m3/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì) 316，316L，密封填料
   
管道接頭尺寸 VCR型接頭：1/4”
管道接頭尺寸 雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸 長×寬×高：127×30×100 mm
凈重量 0.88kg
該公司產(chǎn)品分類： 不銹鋼管 顯微鏡 流量儀表

XF805-JY-2B氣體進(jìn)樣器 質(zhì)量流量控制器

 產(chǎn)品名稱:氣體進(jìn)樣器 質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品型號:XF805-JY-2B氣體進(jìn)樣器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬和樣品恒溫氣化等特點，廣泛用于石油化工等行業(yè)。 顯 示 范 圍：LED顯示 大流量（FS）: 3000毫升/分鐘 準(zhǔn) 確 度：±2% 重 復(fù) 精 度：±2% 響 應(yīng) 時 間：1～4秒 工 作 壓 力：3MPa 工 作環(huán)境溫度：5℃～45℃  大 漂 移：0.08% 氣 化 溫 度：室溫～120℃ 控 溫 精 度：±1.5℃ 電 源：220V±20% 
該公司產(chǎn)品分類： 顯微鏡系列 復(fù)合氣體檢測儀 可燃?xì)怏w檢測儀/探測儀 甲烷檢測儀 有毒氣體檢測儀 酒精測試儀 垃圾場氣體檢測 空氣質(zhì)量檢測儀 熏蒸氣體檢測儀 氣體檢測報警儀 氫氣氣體檢測報 氧氣檢測儀 測氡儀 干燥箱系列 培養(yǎng)箱系列 振蕩器系列 攪拌器系列 水浴鍋系列 離心機系列 粉碎機系列

MFC供應(yīng)美國派克質(zhì)量流量控制器

 

•流量范圍從0-5 sccm到0-1000slpm（氮氣）• I/O（輸入&輸出）可選模擬和數(shù)字信號 •設(shè)定點的響應(yīng)時間不超過1sec 

•可實現(xiàn)本地/遠(yuǎn)程設(shè)置/顯示 •控制精度可達(dá)實際流量的1%

 

 

•熱式測量系統(tǒng)測量準(zhǔn)確,流體溫度上升不超過5°C

•專利控制電路與壓電執(zhí)行控制閥在低流量范圍提供快速、穩(wěn)定的控制

 

 

 

應(yīng)用于流量測量領(lǐng)域的緊湊型安裝解決方案，減小高達(dá)85%的連接點和泄露點，降低安裝成本，提高安全性，多種材料可選，多種規(guī)格可選，多種連接接口方式可選，防火設(shè)計可選。

該公司產(chǎn)品分類： 塑料 金屬

KT-實驗室測量多種混配器氣體的質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品用途

氣體配比器主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強 根據(jù)客戶要求隨意添加

該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

 

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設(shè)備

3.特種材料表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和配氣系統(tǒng)

6.泄漏探測系統(tǒng)

7.環(huán)境檢測與分析設(shè)備

8.分析儀器的氣體流量計量與控制

9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所

技術(shù)資料

 

 

產(chǎn)品型號

 KT-C3Z
產(chǎn)品類型

 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制 觸摸屏控制
可選量程

 20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm
產(chǎn)品精度

 高精度型±1％F.S     普通型±1％F.S 
重復(fù)精度

 高精度型±0.2% F.S   普通型±0.2% F.S
線性

 高精度型±0.5% F.S.   普通型±1% F.S.
響應(yīng)時間

 高精度型≤2sec     普通型≤4sec
工作溫度范圍

 (5~45)°C
供電電源

 ~85-265VAC 50/60Hz
功耗

 40W
進(jìn)氣口壓

 ≤0.6MPa
連接管道

 φ4-6mm316不銹鋼管道
截止閥類型

 電磁閥
單向閥開啟壓力

 0.02Mpa
壓力顯示量程

 0-0.6Mpa
控制方式

 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時間設(shè)定

 0-99999
清洗功能

 一鍵清洗
數(shù)據(jù)導(dǎo)出

 無
程序控制

 5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示

 有（出氣壓力檢測）
氣體緩沖罐

 有
流量累計

 有（累計當(dāng)前運行總流量）
可選進(jìn)出氣口接頭形式

 3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 雙卡套接頭
抗電磁干擾

 無
外形尺寸

 460X210X480
重量

 18KG

產(chǎn)品用途

    氣體配比器主要用于氣體流量測試,并按比例混合；旌虾蟮臍怏w通過真空測試腔體從而傳感器根據(jù)不同比例的氣氛環(huán)境傳出不同的模擬量信號？刂品绞讲捎眉苫K控制 功能延伸性強 根據(jù)客戶要求隨意添加

 

    該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

聯(lián)系電話：手機/微信：152 8682 QQ:760625767聯(lián)系人：李工

該公司產(chǎn)品分類： 傳感器 實驗室搭建 材料樣品處理 實驗室氣體配比器 材料樣品檢測 材料樣品封裝 真空探針臺 分子泵 質(zhì)量流量配比器 等離子清洗機 石英管封口機 真空腔體 氣體配比器

M3100氣體質(zhì)量流量控制器M3100

   1. 用途及特點

氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。

氣體質(zhì)量流量計( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。

它們在石化工業(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）進(jìn)行了的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計算機連接實現(xiàn)自

動控制。

M3100V 和M3100A 型 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項 目 M31000V 和M3100A

1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

 

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687  范先生

CMQ日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ

型號 日本山武（YAMATAKE） 日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ        數(shù)量 大量庫存        產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，使用山武公司獨有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應(yīng)快、精度高、控制范圍寬等特點，能滿足多種工業(yè)控制要求。        基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體 氮氣、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤氣13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%                                       控制范圍 1--100%FS                                                                                                              響應(yīng)速度 0.5秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                                                          1秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                     閥門輸出更新周期 10ms                                                                                                                  精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標(biāo)準(zhǔn)差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa                                                                                                                 設(shè)定方法 1、鍵盤操作  2、外部設(shè)定電壓輸入  3、通訊                                                                                  設(shè)定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設(shè)定和外部開關(guān)輸入選擇）                                                                   輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設(shè)定和外部開關(guān)輸入選擇）                                                                         輸出點數(shù) 報警輸出：1點 ； 事件輸出：2點                                                                                         外部開關(guān)輸入 外部3位開關(guān)輸入（OPEN/GND/5V）：1點 ；外部節(jié)電輸入（2位開關(guān)）：3點                                                       安裝方式 水平安裝，顯示部不可向下                                                                                                 電源 DC15--24V  消耗電流：300mA  max                                                DC24V / 400mA max    DC24V/500mA重量 約1.2Kg                                                                      約3.5Kg                        

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