薄膜厚度范圍:1納米 – 8 微米; 厚度分辨率為0.1納米;測量速度: 5 – 15秒;重現(xiàn)性: cos(Delta) ±0.0003, tan(Psi) ± 0.0002 (Si上70納米SiO2);光譜范圍: 450納米 – 900納米(其他波長范圍可以選配);角度: 70° (其他角度可以選配);Mapping功能: 6”/12” 選配,度±10微米,光學(xué)編碼全自動控制;光學(xué)顯微鏡: 不同放大倍數(shù)選配;軟件: 一鍵厚度測量,易于使用,多等級用戶管理,多種數(shù)學(xué)模型構(gòu)建;
關(guān)于橢圓偏光法橢圓偏光法是基于測量偏振光經(jīng)過樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質(zhì)。光譜型橢偏儀在全部光譜范圍內(nèi)(而不是特定的波長)測量Psi和Delta,通過構(gòu)建物理模型對數(shù)據(jù)進行擬合分析,最終得到膜厚、折光系數(shù)、吸收、粗糙度、組成比率等結(jié)果。
在光譜橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態(tài)。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。 |
集成的精確測量系統(tǒng)
SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測量可達0.005%。
SpecEl可通過電話問價。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件,你可以配置及存貯實驗設(shè)計方法實現(xiàn)一鍵分析,所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后,你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實驗。
SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度,折射率及吸光率。 |
配置說明
波長范圍: | 380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
光學(xué)分辨率: | 4.0 nm FWHM |
測量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角: | 70° |
膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
光點尺寸: | 2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
采樣時間: | 3-15s (最小) |
動態(tài)記錄: | 3 seconds |
機械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
膜層數(shù): | 至多32層 |
參考: | 不用 |
EMPro是針對高端研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的極致型多入射角激光橢偏儀。
項目 | 技術(shù)指標 |
儀器型號 | EMPro31 |
激光波長 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚測量重復(fù)性(1) | 0.01nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測量重復(fù)性(1) | 1x10-4 (對于Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測量時間 | 與測量設(shè)置相關(guān),典型0.6s |
結(jié)構(gòu) | PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準確度) |
激光光束直徑 | 1mm |
入射角度 | 40°-90°可手動調(diào)節(jié),步進5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° 樣品對準:光學(xué)自準直和顯微對準系統(tǒng) |
樣品臺尺寸 | 平面樣品直徑可達Φ170mm |
最大的膜層范圍 | 透明薄膜可達4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
最大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺 真空吸附泵 |
軟件 | ETEM軟件: l 中英文界面可選; l 多個預(yù)設(shè)項目供快捷操作使用; l 單角度測量/多角度測量操作和數(shù)據(jù)擬合; l 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出 l 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持 |