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產(chǎn)品簡介

　　產(chǎn)品副名稱：可滿足所有度層厚度測量需求的雙檢測器型鍍層厚度測量儀 　　產(chǎn)品型號：SFT9400、SFT9450、SFT9455 　　產(chǎn)品特點： 　　★搭載有高功率X射線管及雙檢測器（半導體檢測器＋比例計數(shù)管） 　　可對應組合復雜的應用程序，特別是可識別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。 　　能夠對Ni／Cu和Au／Ni／Cu在不使用二次濾波器的情況下進行測量 　　對于含Br的電路板，可以不受Br的干擾對Au的鍍層厚度進行高精度的測量 　　可測量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度 　　★搭載塊體FP發(fā)軟件和薄膜FP法軟件 　　對應含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運用領域 　　★適用超微小面積的測量 　　標準配備的15μmΦ的準直器，可對超微小面積進行測量。 　　★搭載了可3段切換的變焦距光學系統(tǒng) 　　★擁有防沖撞功能 　　★搭載高精度樣品平臺，更可測量大型線路板（SFT9455） 　　★搭載激光對焦系統(tǒng) 　　★搭載測試報告自動生成軟件 　　 　　產(chǎn)品特征：　　 　　為了對應電子工業(yè)當中越來越復雜的鍍金工藝而設計，是在以往的SFT9300的基礎上升級的產(chǎn)品。他繼承了SFT9300的75W高功率X射線管，還配備雙檢測器（半導體檢測器＋比例計數(shù)管）。是SFT9000系列里級的機型，能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測量”等鍍層厚度測量需求的高性能鍍層厚度測量儀。此外，SFT9400系列還在測量鍍層厚度的基礎上，新增了可對不同被測物體積材料進行定性分析和成分分析的功能。 　　產(chǎn)品介紹： 　　SFT9400系列產(chǎn)品規(guī)格 　　型號：SFT9400／SFT9450／SFT9455 　　儀器的特長：微小面積對應及高性能型 　　可測量元素：原子序號22（Ti）～83（Bi） 　　X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（Mo靶） 　　管電壓：50kV管電流：1.5mABe窗 　　濾波器：一次濾波器：Mo-自動切換 　　二次濾波器：無 　　照射方式:上方垂直照射方式 　　檢測器:半導體檢測器＋比例計數(shù)管（不需液氮的檢測器） 　　儀器校正:自動校正＋手動校正 　　準直器（標準配置）:○型（4種） 　　安全性能:樣品室門鎖，樣品防沖撞功能 　　樣品圖像對焦:有（激光對焦） 　　樣品觀察:CCD攝像頭＋倍率光學器＋鹵素燈照明 　　焦點切換功能:3段切換9400：10／40／70mm 　　9450：10／25／40mm 　　X-rayStation  臺式電腦 　?。∣S；MS-WindowsXP®） 　　打印  噴墨打印機 　　應用  單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時測量、化學鎳 　　軟件  塊體FP法軟件、薄膜FP法軟件 　　測量功能：自動測量、中心搜索、圖像識別處理 　　修正功能：基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 　　統(tǒng)計處理功能：MS-EXCEL® 　　報告制作功能：MS-WORD®

產(chǎn)品簡介

　　適用于手機零件等微小的電子部件等樣品，專門配備了微型準直器（最小15μm）和75W（50kV，1mA）高功率X射線管，滿足測量微小區(qū)域及高精度的需求。測量樣品的微小部時與以往的機種相比，得出相同度的前提下大大縮短了測量時間。（SFT9300、SFT9350、SFT9355）　　 　　產(chǎn)品介紹： 　　SFT9300系列產(chǎn)品規(guī)格 　　型號：SFT9300／SFT9350／SFT9355 　　儀器的特長：微小面積對應型 　　可測量元素：原子序號22（Ti）～83（Bi） 　　X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（Mo靶） 　　管電壓：50kV管電流：1.5mABe窗 　　濾波器：一次濾波器：Mo-自動切換 　　二次濾波器：Co-自動切換 　　照射方式：上方垂直照射方式 　　檢測器：比例計數(shù)管 　　儀器校正：自動校正 　　準直器（標準配置）：○型（三種） 　　□型（三種） 　　安全性能：樣品室門鎖，樣品防沖撞功能 　　樣品圖像對焦：有（激光對焦） 　　樣品觀察：CCD攝像頭＋倍率光學器＋鹵素燈照明 　　焦點切換功能：3段切換9300：10／40／70mm 　　9350：10／25／40mm 　　應用  單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時測量、化學鎳 　　軟件  塊體FP法軟件、薄膜FP法軟件 　　測量功能：自動測量、中心搜索、圖像識別處理 　　修正功能：基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 　　統(tǒng)計處理功能：MS-EXCEL® 　　報告制作功能：MS-WORD®

產(chǎn)品簡介

　　是改進SEIKOSFT3000而上市的一種新產(chǎn)品，添加了SFT3000系列沒有的激光對焦，自動樣品臺等功能，使使用者操作更簡便更快捷的儀器。與他社儀器相比具有2048通道的MCA采樣分析電路，大大減小了分析誤差并配備了5種圓形，方形準直器，不受樣品形狀的影響能夠更地進行測量。 　　 　　產(chǎn)品介紹： 　　型號：SFT9200／SFT9250／SFT9255 　　儀器的特長：廣泛應用型 　　可測量元素：原子序號22（Ti）～83（Bi） 　　X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（W靶） 　　管電壓：45kV管電流：1mABe窗 　　濾波器：一次濾波器：A1-自動切換 　　二次濾波器：Co-自動切換 　　照射方式：上方垂直照射方式 　　檢測器：比例計數(shù)管 　　儀器校正：自動校正 　　準直器（標準配置）：○型（三種） 　　□型（三種） 　　安全性能：樣品室門鎖，樣品防沖撞功能 　　樣品圖像對焦：有（激光對焦） 　　樣品觀察：CCD攝像頭固定倍率、鹵素燈照明 　　焦點切換功能：3段切換9200：10／40／70mm 　　9250：10／25／40mm 　　應用  單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時測量、無電解鎳（最多可測5層） 　　軟件  薄膜FP法軟件 　　測量功能：自動測量、中心搜索、圖像處理 　　修正功能：基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 　　統(tǒng)計處理功能：MS-EXCEL® 　　報告制作功能：MS-WORD®

技術參數(shù):

--元素范圍:    Ti22 – U92 同時分析層數(shù)和元素定量:5層(4層+基體)；最多同時15種元素定量

--X射線激發(fā):   100瓦(50kV-2.0mA)微焦點鎢靶X射線管（可選鉬靶X射線管）

--X射線檢測:   高分辨封氣 (Xe)正比計數(shù)器，靈敏度高，可最多裝備3種二次濾光片

--準直器:       單準直器或多準直器系統(tǒng)，準直器系統(tǒng)最多可安裝4種規(guī)格的準直器，備有各種規(guī)格準直器（0.015mm-0.5mm)圓形或矩形供客戶選用

--數(shù)字脈沖處理器:  4096通道數(shù)字多道分析器,包含自動波譜校正和Pulse Pile Rejection功能

--樣品臺:                程控XYZ軸:300 x 200 x 230mm

                         手動XY軸：250 x 250mm＋230mm程控Z軸

                         固定位置樣品臺，最大高度230 mm

--CCD系統(tǒng):   1/2" CMOS-640X480 VGA resolution鏡頭標準為15倍，可選購40倍或由軟件放大X1、X2、X3、X4 激光自動對焦

--自由距離測量DIM:  在12.7~88.9mm自由聚焦范圍內可聚焦樣品表面任意測量點，并有自動雷射聚焦功能

--統(tǒng)計報表功能: 平均值、標準偏差、相對標準偏差、最大值、最小值、數(shù)據(jù)變動范圍、量測點數(shù)、控制上線圖、控制下線圖、CP、CPK數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖、直方圖

數(shù)據(jù)儲存功能統(tǒng)計報告軟件允許用戶自行設計報表 (另可選購Excel 輸出功能)

--電源:        85-130V或者215-265V、頻率47-63Hz

--工作環(huán)境:    10－40℃、相對濕度小于98%，無冷凝水 

--儀器尺寸:     H744 x W686 x D813

--重量:         160公斤

CMI900/950系列X射線熒光測厚儀是一種功能強大的材料涂/鍍層測量儀器，可應用于材料的涂/鍍層厚度、材料組成、貴金屬含量檢測等領域，為產(chǎn)品質量控制提供、快速的分析。基于Windows2000中文視窗系統(tǒng)的中文版SmartLink FP應用軟件包，實現(xiàn)了對CMI900/950主機的自動化控制，分析中不需要任何手動調整或手動參數(shù)設定。可同時測定最多5層、15種元素。數(shù)據(jù)統(tǒng)計報告功能允許用戶自定義多媒體分析報告格式，以滿足您特定的分析報告格式要求；如在分析報告中插入數(shù)據(jù)圖表、測定位置的圖象、CAD文件等。統(tǒng)計功能提供數(shù)據(jù)平均值、誤差分析、最大值、最小值、數(shù)據(jù)變動范圍、相對偏差、UCL(控制上限)、LCL(控制下限)、CpK圖、直方圖、X-bar/R圖等多種數(shù)據(jù)分析模式。CMI900/950系列X射線熒光測厚儀能夠測量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品；并且測量點最小可達0.025 x 0.051毫米。CMI900系列采用開槽式樣品室，以方便對大面積線路板樣品的測量。它可提供五種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為： 標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。 擴展型標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。 可調高度型標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。 程控樣品臺：XYZ軸自動控制。 超寬程控樣品臺：XYZ軸自動控制。CMI950系列采用開閉式樣品室，以方便測定各種形狀、各種規(guī)格的樣品。同樣，CMI950可提供四種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為： 全程控樣品臺：XYZ三軸程序控制樣品臺，可接納的樣品最大高度為150mm，XY軸程控移動范圍為300mm x 300mm。此樣品臺可實現(xiàn)測定點自動編程控制。 Z軸程控樣品臺：XY軸手動控制，Z軸自動控制，可接納的樣品最大高度為270mm。 全手動樣品臺：XYZ三軸手動控制，可接納的樣品最大高度為356mm。 可擴展式樣品臺用于接納超大尺寸樣品。CMI900/950主要技術規(guī)格如下：No. 主要規(guī)格 規(guī)格描述1 X射線激發(fā)系統(tǒng) 垂直上照式X射線光學系統(tǒng)空冷式微聚焦型X射線管，Be窗標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標準      75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選X射線管功率可編程控制裝備有安全防射線光閘2 濾光片程控交換系統(tǒng) 根據(jù)靶材，標準裝備有相應的一次X射線濾光片系統(tǒng)二次X射線濾光片：3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質、多種厚度的二次濾光片任選位置傳感器保護裝置，防止樣品碰創(chuàng)探測器窗口3 準直器程控交換系統(tǒng) 最多可同時裝配6種規(guī)格的準直器，程序交換控制多種規(guī)格尺寸準直器任選：－圓形，如4、6、8、12、20 mil等－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等4 測量斑點尺寸 在12.7mm聚焦距離時，最小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準直器)在12.7mm聚焦距離時，最大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準直器)5 X射線探測系統(tǒng) 封氣正比計數(shù)器裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路6 樣品室 CMI900 CMI950－樣品室結構 開槽式樣品室 開閉式樣品室－最大樣品臺尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm－XY軸程控移動范圍 標準：152.4 x 177.8mm任選：50.8mm x 152.4mm      50.4mm x 177.8mm      101.6 x 177.8mm      177.8 x 177.8mm      610mm x 610mm 300mm x 300mm－Z軸程控移動高度 43.18mm XYZ程控時，152.4mmXY軸手動時，269.2mm－XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制－樣品觀察系統(tǒng) 高分辨、彩色、實時CCD觀察系統(tǒng)，標準放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。激光輔助光自動對焦功能可變焦距控制功能和固定焦距控制功能7 計算機系統(tǒng)配置 IBM計算機：1.6G奔騰IV處理器，256M內存，1.44M軟驅，40G硬盤，CD-ROM，鼠標，鍵盤，17寸彩顯，56K調制解調器?；萜栈驉燮丈噬珖娔蛴C。8 分析應用軟件 操作系統(tǒng)：Windows2000中文平臺中文分析軟件包：SmartLink FP軟件包－測厚范圍 可測定厚度范圍：取決于您的具體應用。請告訴牛津儀器您的具體應用，我們將列表可測定的厚度范圍－基本分析功能 無標樣檢量線測厚，可采用一點或多點標準樣品自動進行基本參數(shù)方法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應用提供必要的校正用標準樣品。樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)可檢測元素范圍：Ti22 – U92可同時測定5層/15種元素/共存元素校正組成分析時，可同時測定15種元素多達4個樣品的光譜同時顯示和比較元素光譜定性分析－調整和校正功能 系統(tǒng)自動調整和校正功能：校正X射線管、探測器和電子線路的變化對分析結果的影響，自動消除系統(tǒng)漂移譜峰計數(shù)時，峰漂移自動校正功能譜峰死時間自動校正功能譜峰脈沖堆積自動剔除功能標準樣品和實測樣品間，密度校正功能譜峰重疊剝離和峰形擬合計算－測量自動化功能(要求XY程控機構) 鼠標激活測量模式：“Point and Shoot”多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復測量模式測量位置預覽功能激光對焦和自動對焦功能－樣品臺程控功能(要求XY程控機構) 設定測量點One or Two Datumn (reference) Points on each file測量位置預覽(圖表顯示)－統(tǒng)計計算功能 平均值、標準偏差、相對標準偏差、最大值、最小值、數(shù)據(jù)變動范圍、數(shù)據(jù)編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表直方圖數(shù)據(jù)庫存儲功能－系統(tǒng)安全監(jiān)測功能 Z軸保護傳感器樣品室門開閉傳感器操作系統(tǒng)多級密碼操作系統(tǒng)：操作員、分析員、工程師－任選軟件 統(tǒng)計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書液體樣品分析，如鍍液中的金屬元素含量材料鑒別和分類檢測材料和合金元素分析貴金屬檢測，如Au karat評價

型號:SFT-110

測量元素:原子序號22（Ti）～83（Bi） X射線源:空冷式小型X射線管 檢測器:比例計數(shù)管 準直器:○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　2種 樣品觀察:CCD攝像頭（可進行廣域觀察） 對焦:激光點（自動） 濾波器：一次濾波器： 自動切換 樣品臺（臺式尺寸）: 500（W） x400（D） x 150（H）mm （移動量）:X:250mm, Y:200mm 操作部:電腦、19寸液晶 測量軟件:薄膜FP法 （最多5層膜、10種元素）、標準曲線法 數(shù)據(jù)處理:配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word 安全機構:樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能

配備自動定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110]，使操作性進一步提高。 　　對半導體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進行測量管理，可產(chǎn)品的功能及品質，降低成本。精工從1971年推出非接觸、短時間內可進行高精度測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來，已經(jīng)累計銷售6000多臺，得到了國內外鍍層厚度、金屬薄膜測量領域的高度關注和支持。 　　為了適應日益提高的鍍層厚度測量需求，精工開發(fā)了配備有自動定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺上，就可在數(shù)秒內對樣品進行自動對焦。由此，無需進行以往的手動逐次對焦的操作，大大提高了樣品測量的操作性。 　　近年來，隨著檢測零件的微小化，對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且，配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準物質也可進行多達5層10元素的多鍍層和合金膜的測量，可對應更廣泛的應用需求。

特點 即放即測！ 通過自動定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動對準觀察樣品焦點。 　 10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量！ 以的設計實現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度。 無標樣測量！ 將薄膜FP軟件進一步擴充，即使沒有厚度標準物質也能進行高精度的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。 通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測量位置！ 通過廣域觀察系統(tǒng)，能夠從畫面上的樣品整體圖（最大250×200mm）中方便地指定測量位置

概述：

    即放即測；10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量；

    可無標樣測量；通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置！

 

主要特點：

  1.通過自動定位功能提高操作性 測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現(xiàn)在3秒內即可完成，大大

    提高樣品定位的操作性。   2.微區(qū)膜厚測量精度提高 通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅

    度提高膜厚測量的精度。   3.多達5層的多鍍層測量 使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。   4.廣域觀察系統(tǒng)（選配） 可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。   5.對應大型印刷線路板（選配） 可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。   6.低價位 與以往機型相比，既提高了功能性又降低20%以上的價格。

 

產(chǎn)品規(guī)格：

   

概述：     X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學系統(tǒng)（聚焦導管）與X射線源相結合，并且可以照射出實際照射直徑     為 0.1mmφ以下高強度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強度不足而     無法得到理想精度的導線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進行測量。同時搭載高計數(shù)率、     高分辨率的半導體檢測器，在測量鍍層厚度的同時，也能對RoHS、ELV、中國版RoHS等法規(guī)所管制的     有害物質進行分析測量。   主要特點：   1.X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導管 由于采用了X射線聚光導管方式，可得到以往十倍以上的X射線強度，     從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質測量的精度。   2.無需液氮的半導體檢測器 在進行薄膜測量與有害物質的濃度測量時，高分辨率的檢測器是必不可少的。     SFT9500的檢測器不但可以達到高分辨率，而且可以實現(xiàn)高計數(shù)率。同時，由于使用了電子冷卻方式，     所以無需液氮。   3.能譜匹配軟件（選配件） 可瞬間識別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫中哪一個樣品較為接近的軟件。     對識別材料十分有效。   4.塊體檢量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件） 可簡單地測量出電鍍液中主要金屬的濃度。   5.繪圖軟件（選配件） 將元素面分析的結果進行等高線和色彩使用等視覺處理的軟件。   6.電鍍液容器（選配件）   7.各種標準物質（選配件）   產(chǎn)品規(guī)格：

概述：

    SFT9000系列里最好的機型“SFT9455”，搭載75W高速X射線管和雙重檢驗裝置（半導體檢驗裝置十比

    例計數(shù)管）。適用“薄膜”、“金屬膜”、“極微小部分測定”等所有鍍膜膜厚測定要求的高性能膜

    厚測量儀器。而且 “SFT9455”在鍍膜厚度測量功能的基礎上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。

 

主要特點：