三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)的測量方式根據(jù)所需測量產(chǎn)品特性通?煞譃榻佑|式測量、非接觸式測量和接觸與非接觸復(fù)合式測量,目前三坐標(biāo)測量機(jī)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于汽車、航天工業(yè)、模具及機(jī)加工領(lǐng)域并在學(xué)校科研單位也得到了廣泛使用對提升國內(nèi)產(chǎn)品總體競爭力取到不不可忽視的作用。 三坐標(biāo)測量機(jī)的測量方法分類:1、接觸式探針測量三坐標(biāo)測量機(jī)(最常用使用最普遍);2、影像復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī);3、激光復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī)(主要應(yīng)用于產(chǎn)品測量與逆向抄數(shù)掃描);我們將根據(jù)客戶的產(chǎn)品特點與測量要求提供最適合客戶的測量產(chǎn)品。
三坐標(biāo)測量機(jī)詳細(xì)技術(shù)咨詢請來點咨詢我們技術(shù)服務(wù)中心 7*24小時服務(wù)熱線:0769-81601125 81601126
三坐標(biāo)測量機(jī)技術(shù)參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置)
型號 | 三坐標(biāo)行程范圍 mm | 三坐標(biāo)精度指標(biāo) μm | 主機(jī)外型尺寸 mm | 產(chǎn)品凈重 | 被測產(chǎn)品重量 | |||||||
X | Y | Z | E(μm) | R(μm) | Lx | Ly | Lz | kg | kg | |||
544 | 400 | 500 | 400 | 2.5+3.0+L/1000 | 2.4 | 1250 | 1400 | 2350 | 1200 | 400 | ||
564 | 500 | 600 | 400 | 2.5+3.0+L/1000 | 2.4 | 1350 | 1550 | 2350 | 1400 | 500 | ||
675 | 600 | 700 | 500 | 2.5+3.0+L/1000 | 2.8 | 1450 | 1700 | 2550 | 1500 | 700 | ||
685 | 600 | 800 | 500 | 2.7+3.0+L/1000 | 2.8 | 800 | 1000 | 600 | 1600 | 700 | ||
787 | 700 | 800 | 700 | 2.7+3.0+L/1000 | 3.0 | 1600 | 1950 | 3000 | 2000 | 1000 | ||
6105 | 600 | 1000 | 500 | 2.7+3.0+L/1000 | 2.8 | 1450 | 2000 | 2550 | 1750 | 1000 | ||
8107 | 800 | 1000 | 700 | 2.9+3.0+L/1000 | 3.0 | 1700 | 2150 | 3000 | 2400 | 1000 | ||
10128 | 1000 | 1200 | 800 | 3.2+3.0+L/1000 | 3.0 | 1850 | 2400 | 3200 | 3000 | 1000 | ||
10158 | 1000 | 1500 | 800 | 3.5+3.0+L/1000 | 3.2 | 1850 | 2700 | 3200 | 3300 | 1000 |
三坐標(biāo)測量機(jī)測量室基本環(huán)境要求(遠(yuǎn)離震源)
三坐標(biāo)電源電壓(Power Voltage):220V 三坐標(biāo)空氣壓力(Air Pressure):0.4-0.5Mpa三坐標(biāo)過濾精度(Filter Accuracy):0.3μm 三坐標(biāo)空氣流量(Air Supply):0.12m3/min三坐標(biāo)溫度范圍(Temperature Range):18-22℃ 三坐標(biāo)溫度變化(Hourly Temperature Cycle):1℃/h三坐標(biāo)溫度梯度(Thermal Gradient):1℃/m 三坐標(biāo)濕度范圍(Relative Humidity):55%-65%
HK-331 二次元三坐標(biāo)測量機(jī)
二:品牌:華凱
三 :產(chǎn)品介紹 超大的大理石00級底座與立桿,確保機(jī)臺的穩(wěn)定性和減小阿貝誤差。外接激光指示燈和同軸光源,工件自動對焦功能,大大方便了操作者,讓人在緊張的目視中解放出來,還可以得到一個更加的測量結(jié)果,同時具備了高精度的光學(xué)測高功能,強(qiáng)大的光學(xué)軟件AC-OPTICAL可以進(jìn)行各種各樣的功能測量,可以直接手支框選測量,自動尋邊,及各種采點方式,電子導(dǎo)軌功能,公差對比及專業(yè)的數(shù)據(jù)報表的方式和統(tǒng)計SPC,各種格式的輸出與轉(zhuǎn)換功能,光學(xué)輪廓掃描功能和CAD繪圖功能,拼圖功能,同時它具有強(qiáng)大的編程和自學(xué)習(xí)(CNC)測量功能,對大批量工件的檢測是最合適與方便的選擇。特別是對接觸式探頭的測量功能更是強(qiáng)大(MCP和Tp6),是名符其實的多功能測量機(jī),可外接各種RENISHAW測頭,點激光掃描頭,NAVITAR 12X自動變焦鏡頭,因為可配合不同測頭,無須多次搬動測量工件,并使過去要多臺不同測量機(jī)完成的測量工作統(tǒng)一到一臺測量機(jī)完成,使各種測量在同一臺坐標(biāo)系統(tǒng)上,達(dá)到各種測量要求的精度結(jié)合。 |
產(chǎn)品名稱: Inspector三坐標(biāo)測量機(jī) 產(chǎn)品型號: Inspector 簡單介紹 Inspector三坐標(biāo)測量機(jī)是工業(yè)計量應(yīng)用領(lǐng)域中的經(jīng)濟(jì)的測量解決方案,從而提高了生產(chǎn)過程中的檢測效率和檢測精度。Inspector 主機(jī)采用全鋁結(jié)構(gòu),同時,在設(shè)計過程中運用了廣泛的計算機(jī)輔助設(shè)計中的有限元分析原理和模塊化設(shè)計原理,使得整機(jī)系統(tǒng)具備了改善的抗溫變能力和抗形變/扭擺能力,提高了整機(jī)空間結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,降低了結(jié)構(gòu)微形變、振動以及溫度梯度變化對測量性能的影響。閉式空氣軸承設(shè)計優(yōu)化了測量機(jī)各軸的機(jī)械運動, 因此,整機(jī)系統(tǒng)在測量過程中表現(xiàn)出極高的重復(fù)性和系統(tǒng)的穩(wěn)定性。 |
Inspector三坐標(biāo)測量機(jī)的詳細(xì)介紹 | |
· 主要特征Key Features: - 輕質(zhì)量的外罩減少了整機(jī)的重量,從而提高了效率。 - 獲得專利的 “ 精密三角梁 ” 橫梁設(shè)計提高了整體的剛性質(zhì)量比,從而提高了測量的精度和運行的穩(wěn)定性。 - 厚重穩(wěn)固的花崗石工作臺減少了振動。 - 燕尾式導(dǎo)軌整體加工在花崗石平臺上(該技術(shù)獲得專利),提高了機(jī)器的精度和重復(fù)性。 - 電機(jī)遠(yuǎn)程放置減少了移動質(zhì)量,提高了速度,也避免了電機(jī)發(fā)熱對機(jī)器性能的影響。 - 獲得專利的氣動平衡設(shè)計,提高了機(jī)器的測量性能。 - 采用 Heidenhain 的 Aurodur 高分辨率金質(zhì)光柵,其熱膨脹系數(shù)獲得 PTB 認(rèn)證 - 控制器固定在主機(jī)一側(cè),便于整體的移動。 - 高性價比。 · 性能指標(biāo)測量行程 X x Y x Z (mm) :600*800*600, 600*1000*600, 800*1000*600, 800*1200*600 精度指標(biāo)Accuracy (mm) (根據(jù)ISO10360-2坐標(biāo)測量機(jī)的性能評定標(biāo)準(zhǔn)): (Accuracy is according toISO 10360 – 2 ) 長度測量最大允許示值誤差( mm) : MPEE= 2.8+ 4L/1000 最大允許探測誤差( mm) : MPEP= 3.5 · 控制系統(tǒng) Controller
PC-DMIS PRO (DCC) 通用測量軟件,能夠解決復(fù)雜的計量檢測任務(wù)。該軟件主要針對車間基層檢測人員設(shè)計,能夠使其在最短的時間內(nèi)掌握該軟件的使用。 PC-DMIS 提供了如下的性能 : - 具有中文版面和在線中文幫助 - 完善、可定制的直觀化圖形用戶界面(GUI) 為不同軟件應(yīng)用水平的操作者提供了便捷的執(zhí)行功能強(qiáng)大的計量軟件的方法 - 點擊鼠標(biāo),立即執(zhí)行下述操作:完善的測頭管理 、零件坐標(biāo)系管理和工件找正功能、 檢測報告、支持預(yù)覽、特征構(gòu)造、特征測量 - 幾何元素的 評價 ,包括:直線度、平面度、圓度、圓柱度、圓錐度以及圓環(huán)和球面等。相對基準(zhǔn)幾何要素真實位置度的評價:平行度、垂直度、角度、對稱度、位置度、同軸度、同心度、軸向跳動、徑向跳動、軸向全跳動、徑向全跳動 - 可 實現(xiàn)工件幾何特征量的直接測量,并能夠完成幾何關(guān)系的計算、構(gòu)造和形位公差的評價與分析 - 互動式超級報告功能,增加了報告格式和數(shù)據(jù)處理上的靈活性 - PTB 認(rèn)證 - 支持所有通用標(biāo)準(zhǔn),例如,DMIS 標(biāo)準(zhǔn)和IGES 標(biāo)準(zhǔn) - 符合ISO 標(biāo)準(zhǔn)的公差評判能力
產(chǎn)品留言 |
結(jié)構(gòu)型式:活動橋式
傳動方式:柔性同步齒型帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承
長度測量系統(tǒng):RENISHAW(英國)開放式光柵尺,分辨率為0.5 μm
機(jī)臺:高精度花崗巖平臺
使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65% ,溫度梯度1℃/m
溫度變化 1℃/h
空氣壓力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
空氣流量:100 L/min – 120 L/min
整機(jī)尺寸:2.0 m X 1.5 m X 2.5 m
機(jī)臺承重:1000 kg
整機(jī)重量:2500 kg
控制及探針測量系統(tǒng):
1.驅(qū)動系統(tǒng):直流伺服電機(jī)
2.控制系統(tǒng):RENISHAW (英國) UCC1
3.操作方式:計算機(jī)自動控制 + 微電腦操縱盒(RENISHAW MCU1)
4.控制軟件:CMM-Manager (美國)標(biāo)準(zhǔn)版
5.探測系統(tǒng):RENISHAW(英國)MH20i +TP20 (標(biāo)準(zhǔn)配置)
RENISHAW測頭座 PH10T(選配)
6.空間測量精度(E):(3+L/300)μm
三維激光掃描系統(tǒng):(選配)
1. 控制軟件:MultiScan
2. 操作方式:軟件控制
3.掃描景深:60 mm
4.單次掃描寬度 :50 mm
5.掃描速度 : 1500 p / sec
6.掃描方式:單目測頭SmartEye,激光線掃描,測頭可旋轉(zhuǎn)
7. 測頭連接方式:通過Renishaw的PH10M專用接頭,可以方便地裝卸,重復(fù)定位精度<0.001 mm
8.工件裝夾方式: 任意裝夾
9.掃描精度: ≤0.05 mm
10.?dāng)?shù)據(jù)格式:ASCII 通用格式,可通過軟件轉(zhuǎn)換成 IGS、STL、DXF、IMW等專用格式
『技術(shù)參數(shù)』 重現(xiàn)性(Repeatability): <0.005mm解析力(Resolution): 0.001mm示值精度(Linearaccuracy):4+L/150umX*Y*Z行程(X*Y*Zrange):200x100x100mm外形尺寸(WxDxH):520x580x870mm臺面大。∕achine Size):350x270mm機(jī)臺重量(Machine weight):100kg放大倍數(shù)(Zoom multiple):20x~120x臺面荷重(Table-board weight):20kgCCD:彩色1/3寸41萬畫素(1/3"color CCD) SOV-2010A自動測量全功能版 |
『功能介紹』 |
1、 CNC電動桌面:(以軟件功能控制工作臺面,增加操作人員使用及操作上的方便性)。 |
2、 CNC自動測量:可按客戶自行設(shè)定的程序自動測量出產(chǎn)品尺寸,測量值可自動轉(zhuǎn)到Excel生成統(tǒng)計報表。 |
3、 SPC數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換(制程能力分析):能將測量之?dāng)?shù)據(jù)輸出至Excel進(jìn)行分析。 |
4、 掃描工件外形作為行動地圖:以圖原點(外形圖)形式成為行動地圖,若以鼠標(biāo)則工作臺會自動將你所點擊的移動至畫面中心點。 |
5、 自動多點畫線、畫圓:減少兩點畫線(畫圓)造成的誤差,更精確測量。 |
6、 自動取線、取圓:無須以人工取線或圓,在某一范圍內(nèi)軟件可自動捕捉到最精確的線或圓。 |
7、 自動平均多點線,自動平均多點圓。 |
8、 輔助對焦:由計算機(jī)判定每次的對焦面,以變換焦距時測量的重現(xiàn)性及度。 |
9、 簡易測高:搭配輔助對焦功能可測量Z軸高度。 |
10、 圖形輸出到AutoCAD:可將實時影像中按實際工件外形所描繪的圖形直接輸出到AutoCAD中成為工程圖。 |
11、 圖形輸出到AutoCAD并自動擺正:可將按實時影像中按實際工件外形所描繪的圖形按實際需要來自行設(shè)定基準(zhǔn)并在傳輸過程中擺正。 |
12、 AutoCAD中標(biāo)準(zhǔn)工程制圖輸入:可把AutoCAD中的標(biāo)準(zhǔn)工程制圖直接輸入到測繪儀軟件的影像中,令A(yù)utoCAD工程圖興實際工件外形重迭進(jìn)行對比,從而找出工件和工程制圖的區(qū)別。 |
13、 JPEG圖片輸入:可輸入先前拍照儲存的JPEG圖片興實時影像中的實際工件進(jìn)行重迭對比。 |
14、 烏瞰圖:可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能。 |
15、 在烏瞰全視圖中進(jìn)行標(biāo)注:可以在烏瞰的全圖中進(jìn)行標(biāo)注尺寸。 |
16、 自定義圓:可按客戶需要自定義標(biāo)準(zhǔn)的圖(由客戶自行定義圓的圓心坐標(biāo)、直徑、半徑)。再以標(biāo)準(zhǔn)的圓和影像中的工件作重迭對比,從而找到工件與標(biāo)準(zhǔn)圖形之間的誤差。 |
17、 自定義線段:客戶自行定義線段的起點坐標(biāo)、長度、旋轉(zhuǎn)的角度,再與影像中的工件作重迭對比從而找到工件與標(biāo)準(zhǔn)圖形之間的誤差。 |
18、 直接畫圖:直接移動工作桌,以十字線中心點畫線、圓、弧時不僅可以在AutoCAD中直接生成圖形同時在測繪儀軟件的影像中也生成相同外形及位置的圖形。 |
19、 自設(shè)客戶坐標(biāo):可以根據(jù)客戶本身的需要在實時影像中的實際工件上自行設(shè)定坐標(biāo)原點(0,0),再以(0,0)點為基準(zhǔn)在畫面任一點上標(biāo)示該點X,Y坐標(biāo)位置。 |
20、 坐標(biāo)標(biāo)注:以自己所設(shè)定之坐標(biāo)原點(0,0)為基準(zhǔn),標(biāo)注圖上任意一點的坐標(biāo)位置。 |
21、 圖形自動捕捉:可自行設(shè)定參數(shù),對線、圓、弧進(jìn)行自動掃描邊緣并自動取得圖形。 |
22、 專利取R角功能:為目前市面上的平面取R角方式。 |
23、 測量:可測量平面上的任何幾何尺寸(角度、直徑、半徑、點到線的距離、圓的偏心、兩圓間距等等)。 |
24、 繪圖:可將實時影像中的實際工件外形進(jìn)行描繪,形成完整的工程圖,繪圖方式和AutoCAD相似。 |
25、 自動捕捉圖形線條的各結(jié)點:可以自動捕捉線的起點、中點、終點及兩線的交點、圓心及圓周上的三個結(jié)點,用于輔助標(biāo)注繪圖等應(yīng)用功能。 |
26、 標(biāo)注:可在實時影像中的工件上標(biāo)注尺寸。有長度、角度標(biāo)注、坐標(biāo)標(biāo)注及連續(xù)標(biāo)注等。 |
27、 拍照:可拍下實物照片,包括所標(biāo)注的尺寸。 |
本公司主要計量校準(zhǔn)服務(wù)范圍
電學(xué)類計量校準(zhǔn):數(shù)字多用表、數(shù)字功率表、鉗形電流表、電源、負(fù)載、變頻器、指針表、頻率計、高/低頻信號發(fā)生器、脈沖信號發(fā)生器、音頻/掃頻信號發(fā)生器、功率因素表、LCR電橋、電阻箱、標(biāo)準(zhǔn)電容、標(biāo)準(zhǔn)電感、接地電阻測試儀、靜電環(huán)測試儀、靜電電壓表、表面阻抗測試儀、線材測試儀、多功能校準(zhǔn)儀、絕緣電阻測試儀、泄漏電流測量儀、電能表、電壓/電流表、音頻分析儀、失真儀、衰感棒、示波器、火花試驗機(jī)、直流低電阻表、耐壓測試儀、變壓器綜合測試儀、線圈測量儀、變壓器匝比測試儀、晶體管特性圖示儀、電池內(nèi)阻測試儀、安規(guī)綜合測試儀…….
無線電學(xué)類計量校準(zhǔn):藍(lán)牙綜合測試儀、手機(jī)綜合測試儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、頻譜分析儀、晶體管圖示儀、音頻分析儀…….
理化類計量校準(zhǔn):紫外分光光度計、原子吸收分光光度計、原子吸收光譜儀、液相色譜儀、氣相色譜儀、電導(dǎo)率儀、粘度計、量筒、移液管、滴定管、密度計…….
光學(xué)類計量校準(zhǔn):照度計、積分球、光譜分析系統(tǒng)、光譜分析儀、標(biāo)準(zhǔn)光源箱、色差儀…….
長度類計量校準(zhǔn):投影儀、三坐標(biāo)測量機(jī)、影像測量儀、工具顯微鏡、數(shù)顯測高儀、顯微鏡、鋼直尺、數(shù)顯千分尺、量塊、塞尺、玻璃線紋尺、通用卡尺、高度尺、大量程百分表、百(千)分表、杠桿百(千)分表、內(nèi)徑千分尺、測深千分尺、測厚規(guī)、針規(guī)、螺紋量規(guī)、環(huán)規(guī)、水平儀、平面平晶、大理石/巖石平臺、游標(biāo)/萬能角度尺…….
熱工類計量校準(zhǔn):溫度計(表)、溫濕度計、數(shù)據(jù)采集器、轉(zhuǎn)速表、震動測試儀、亮度計、噪音計、光澤度計、恒溫恒濕箱、鹽霧試驗箱、干燥箱、冷熱沖擊試驗機(jī)、燃燒試驗機(jī)、爐溫測試儀、高溫爐、低溫箱、恒溫箱、插頭溫升測試儀、多路溫度測試儀、老化試驗機(jī)、PH計、計米器、紅外測溫儀…….
力學(xué)類計量校準(zhǔn):各類電子稱、電子天平、機(jī)械天平、架盤天平、磅秤、砝碼、粘度計、插拔力試驗機(jī)、拉力計、推拉力計、張力計、扭力扳手、扭矩儀、扭力起子、扭力天平、壓力表、測試指、紙箱抗壓試驗機(jī)、搖擺測試儀、邵氏橡膠硬度計、洛氏/維氏/顯微硬度計、突拉試驗機(jī)、拉壓力試驗機(jī)、木材含水率測試儀、耐磨試驗機(jī)…….
玩具類計量校準(zhǔn):試驗手指、試驗銷、小球測試儀、壓力頭、假手指、跌落地板、光電轉(zhuǎn)速表、模厚儀、奶嘴測試儀、銳利尖點測試儀、銳利邊緣測試儀、聲級計、秒表…….
我們有4大質(zhì)量保證
1)所提供的儀器檢測、校準(zhǔn)服務(wù),是按國家實驗室運行規(guī)范、儀器設(shè)備檢定規(guī)程及相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)法規(guī)和技術(shù)規(guī)范作業(yè)。
2)作業(yè)人員全部是具有高度職業(yè)操守、獲授權(quán)許可的專業(yè)計量檢定人員持證上崗。
3)標(biāo)準(zhǔn)器是國家法定許可和在有效期內(nèi),量程范圍、準(zhǔn)確度要求符合所檢設(shè)備要求,并已溯源至上一級計量標(biāo)準(zhǔn)。
4)對所供的儀器設(shè)備校準(zhǔn)證書和檢測報告是科學(xué)、公正和完整的,是值得信賴的并得到國際實驗室認(rèn)可合作組織多邊互認(rèn)協(xié)議(ILAC-MRA)其他成員的承認(rèn)和認(rèn)可。
我們提供的服務(wù):1、下廠到客戶單位現(xiàn)場校準(zhǔn);2、到客戶單位收集儀器,帶回實驗室校準(zhǔn);3、對精度偏離允許范圍的儀器免費提供力所能及的校正服務(wù);4、將帶回校準(zhǔn)儀器完好送回給客戶;5、客戶寄來待校儀器,進(jìn)行校準(zhǔn);6、包裝好已校儀器,寄回客戶單位;7、出具校準(zhǔn)證書,證書具備:A、國際實驗室互認(rèn)組織(ILAC-MRA)認(rèn)可,即世界上主要的八十多個國家及地區(qū)認(rèn)可的帶“ILAC-MRA”標(biāo)志的證書;B、中國合格評定認(rèn)國家可委員會(CNAS)認(rèn)可,即帶“CNAS”標(biāo)志的證書;C、通過 ISO17025國際計量準(zhǔn)則要求第三方實驗室蓋章(鋼印),國家備案、法定簽字人簽字的證書
全國范圍校準(zhǔn)咨詢電話微信:18898711963 業(yè)務(wù)經(jīng)理:謝春美
三坐標(biāo)測量機(jī) 手動三坐標(biāo)測量機(jī)
型號:GR/Tango
北京GR/Tango三坐標(biāo)測量機(jī)產(chǎn)品使用說明書主要特征
l 橫梁與Z軸采用表面陽極化航空鋁合金,溫度一致性極佳;并降低了運動部件的質(zhì)量,減少測量機(jī)在高速運行時的慣性
l 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運動更平穩(wěn),導(dǎo)軌永不受磨損
l 三軸均采用高精度進(jìn)口光柵尺
l 北京GR/Tango三坐標(biāo)測量機(jī)產(chǎn)品使用說明書X向采用精密三角梁專利技術(shù),相比矩形梁和橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比最佳,運動更加可靠
l Reflex測量軟件,操作更簡便,運行可靠
l Y向采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機(jī)器重量的同時,有效消除了運動扭擺,保證了測量精度和穩(wěn)定性
l 符合人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計
北京GR/Tango三坐標(biāo)測量機(jī)產(chǎn)品使用說明書規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo):
型號 | Tango564 | Tango686 | Tango8126 | |
行程(mm) Strokes | X | 500 | 600 | 800 |
Y | 600 | 800 | 1200 | |
Z | 400 | 600 | 600 | |
測量空間(mm) | Dx | 614 | 714 | 914 |
Dy | 1155 | 1355 | 1755 | |
Dz | 535 | 735 | 735 | |
Dx1 | 135 | 135 | 135 | |
Dy1 | 105 | 105 | 105 | |
花崗巖平臺螺紋孔尺寸(mm) | M1 | 172 | 195 | 270 |
M2 | 327 | 377 | 377 | |
Mx | 200 | 125 | 150 | |
My | 150 | 150 | 150 | |
主機(jī)尺寸(mm)Overall Size | L | 1155 | 1355 | 1755 |
W | 940 | 1040 | 1240 | |
H | 2209 | 2609 | 2609 | |
承重(kg)Weight | 300 | 300 | 500 | |
機(jī)器重量(kg) | 725 | 1030 | 1400 | |
MPEe(μm) | 3.5+L/300 | 3.5+L/300 | 5.0+L/300 | |
光柵尺分辨率(μm) | 0.4 | 0.4 | 0.4 | |
流量/供氣壓力 | 120NI/min,0.45Mpa | 120NI/min,0.45Mpa | 120NI/min,0.45Mpa |
注:工作環(huán)境為溫度(20±2)℃, 濕度為45%-75%