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Huace-8綜合性分析探針臺(tái)

綜合性分析探針臺(tái)

探針臺(tái)介紹：     

探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來測(cè)試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用:

◆ 可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試；

◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)；

◆ 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)；

◆ 針座平臺(tái)快速、微調(diào)升降功能；

◆ 可搭配多種類型顯微鏡；

◆ 晶片測(cè)試、光電器件測(cè)試、PCB/IC測(cè)試、射頻測(cè)試、高壓大電流測(cè)試等；

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升；

◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。

臺(tái)體規(guī)格：

尺寸：8英寸/12英寸；

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；

X-Y移動(dòng)行程：8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；

X-Y移動(dòng)精度：10μm/1μm；樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，**可放置10個(gè)探針座；平臺(tái)升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm；

背電測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電；

尺寸： 840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高/

950mm長(zhǎng)*700mm寬*700mm高；設(shè)備重量：約40/60KG；

可選配件：

加熱臺(tái)；顯示器；轉(zhuǎn)接頭；射頻測(cè)試配件；

屏蔽箱；

光學(xué)平臺(tái)；鍍金卡盤；光電測(cè)試配件；

顯微鏡快速傾仰裝置；

激光系統(tǒng)；

探針卡夾具；

光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；放大倍率：16X-200X/20X-4000X；移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360°旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm；光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；

定位器：

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm；移動(dòng)精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；吸附方式：磁力吸附/真空吸附；線纜：同軸線/三軸線；

漏電精度：10pA/100fA/10fA；

固定探針：彈簧固定/管狀固定；接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；