產(chǎn)用途:結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn),可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用域包含:玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
產(chǎn)特點(diǎn):● 納米深度3D檢測(cè)● 高速、無(wú)接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測(cè)● 低維護(hù)成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供多功能又具友好界面的3D圖形處理與分析● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測(cè)量分析??商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)(Wafer)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能● 量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺(tái)X、Y、Z位置數(shù)字式顯示,使檢測(cè)目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對(duì)比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動(dòng)補(bǔ)點(diǎn)功能● 可自行設(shè)定掃描方向
萬(wàn)濠rational 納米白光干涉儀AE-100M技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號(hào) | AE-100M | ||
移動(dòng)臺(tái)(mm) | 平臺(tái)尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測(cè)范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機(jī)臺(tái)重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動(dòng)范圍 | 45mm , 手動(dòng)細(xì)調(diào);可訂制150mm | ||
Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調(diào)整平臺(tái) | 雙軸/手動(dòng)調(diào)整 | ||
高度測(cè)量 | |||
測(cè)量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測(cè)分辨力 | 0.1nm | ||
重復(fù)精度 | ≤ 0.1% (量測(cè)高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測(cè)高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測(cè)高度:<1μm ) | |||
量測(cè)控制 | 自動(dòng) | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽命 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)(150W) | ||
光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動(dòng)/手動(dòng) | ||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | |||
中央處理運(yùn)算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 21" 雙晶屏幕 | ||
操作系統(tǒng) | Win7 | ||
電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環(huán)境振動(dòng) | VC-C等以上 | ||
測(cè)量分析軟件 | |||
量測(cè)軟件ImgScan | ImgScan測(cè)量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測(cè)量模式(PSI量測(cè)模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波,多樣的2D和3D 觀測(cè)視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換 報(bào)表輸出,程序教導(dǎo)測(cè)量等。 |
萬(wàn)濠rational 納米白光干涉儀AE-100M
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品牌: | SNU | 型號(hào): | SIS 2000 | 操作方式: | 自動(dòng) |
功能: | 檢測(cè)、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型號(hào): | SIS 1200 |
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Talysurf CCI 6000白光干涉儀 隨著科技潮流,非接觸式的量測(cè)至今已被廣泛的應(yīng)用在生產(chǎn)及研發(fā)上,而Taylor Hobson經(jīng)多年的研發(fā)于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強(qiáng)的白光干涉儀,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以運(yùn)用在量測(cè)晶圓 ,微機(jī)電及拋光元件等產(chǎn)品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破壞性的特性更可以有效的量測(cè)軟性物質(zhì),在邁入奈米紀(jì)元同時(shí)相信Talysurf CCI 6000絕對(duì)是各大企業(yè)不可少的量測(cè)系統(tǒng)。 Talysurf CCI 6000白光干涉儀: &解析度(Z軸) 0.01nm (0.1Å) &測(cè)量范圍(Z軸) 100um &測(cè)量范圍(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物鏡倍率不同可自由選擇) &1024 x 1024 高解析量測(cè)點(diǎn)數(shù) &受測(cè)物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量測(cè)) 硬件及軟件 &氣浮式防震系統(tǒng)已隔絕樓板震動(dòng)‧隔離罩以隔離外在環(huán)境避免影響量測(cè)精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系統(tǒng) CCI干涉儀 Mirau 干涉 白光干涉儀3D分析軟件 &Talymap 3D & 2D 分析軟體。 &可分析項(xiàng)目: 粗度 平面度 波紋 膜厚 體積計(jì)算 承壓比值 等等。 &微機(jī)電尺寸計(jì)算(距離 高度 等計(jì)算)‧表面頻譜分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉儀應(yīng)用: &MEMS 微小尺寸計(jì)算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面鏡表面粗糙度 &硬碟 光碟表面組織形狀 &OLED PDP LCD 膜厚分析計(jì)算
供應(yīng)張家港常熟靖江揚(yáng)州廠家二次元三次元白光干涉儀智泰集團(tuán)南通辦事處主要從事光學(xué)影像量測(cè)儀、三維激光抄數(shù)機(jī)、光譜儀、無(wú)損探傷儀、白光干涉儀、三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x和投影儀在蘇北地區(qū)的銷售和售后服務(wù)。 同時(shí)也承接各種精密測(cè)量?jī)x器技術(shù)咨詢,測(cè)量?jī)x維修,改造服務(wù)。 公司生產(chǎn)的儀器廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽配、摩配、制冷、家電、廚具、電機(jī)、電動(dòng)工具、軸承、精密五金、精密工具、刀具、模具、沖壓制品、光學(xué)元件、塑膠制品等行業(yè)??蓽y(cè)軸承套圈、滾針、滾子、鋼球、電機(jī)軸、電機(jī)換向器(整流子)、花鍵軸、齒輪軸、凸輪軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、活塞、缸套、氣門、閥門、齒輪、凸輪、油泵油嘴、液壓件、氣動(dòng)件、紡機(jī)配件等工件相關(guān)參數(shù);適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室、車間在線檢測(cè)等。我公司產(chǎn)品使用范圍廣,成立十年來(lái)一直暢銷于各行各業(yè). Super View超大行程系列基本信息品牌: 3DFAMILY 型號(hào): SV1200 操作方式: 自動(dòng)功能: 三維測(cè)量 精度 : 4.5μm 軟件: OVM Pro其它型號(hào): SV1500 SV1000
產(chǎn)品介紹 Super View超大行程系列量測(cè)儀是3DFAMILY又一創(chuàng)新力作,產(chǎn)品擁有多項(xiàng)專利設(shè)計(jì),彌補(bǔ)了目前市場(chǎng)上銷售各品牌大行程機(jī)型的多項(xiàng)缺陷。 產(chǎn)品特點(diǎn)1、采用流線型外觀,減少運(yùn)行時(shí)的阻力,提率。2、模塊化設(shè)計(jì),超大行程移動(dòng)橋架式結(jié)構(gòu),運(yùn)行性能穩(wěn)定,且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。3、的低阿貝誤差,測(cè)量精度大幅度提升。4、日本三洋伺服馬達(dá),X、Y軸加裝德國(guó)高減速比減速機(jī)減少馬達(dá)負(fù)載、提高運(yùn)行速度使運(yùn)行速度快、穩(wěn)定。5、Y軸同步傳動(dòng)X軸硬件閉環(huán)結(jié)構(gòu),確保運(yùn)行時(shí)不會(huì)出現(xiàn)左右偏擺或甩尾的現(xiàn)象。技術(shù)參數(shù) 具體型號(hào) SV-1200測(cè)量行程(X/Y/Z) 1000×1200×200(mm)機(jī)臺(tái)尺寸(長(zhǎng)/寬/高) 1800×2500×1500(mm)機(jī)臺(tái)承重 20KG機(jī)臺(tái) 底座、立柱和橫梁材料為高精度花崗石光源材質(zhì) LED冷光源精度 (4.5+L/200)?m放大倍率 光學(xué)放大率:0.7X-4.5X,影像放大率:28X-180X光學(xué)尺解析度 1?m重復(fù)性 4.5?m操作方式 自動(dòng)顯示器 17"液晶電源供給 220±10%適宜溫度 、濕度 溫度:20±2℃ 濕度:55%-65%保修期 一年應(yīng)用領(lǐng)域大型鈑金件、PCB板及目前最熱門的TFT產(chǎn)業(yè)的刀模、背光板、絕緣材料、面版、邊框行業(yè)等 附件CCD、鏡頭、光學(xué)尺、LED冷光源、OVM Pro軟件等
白光干涉儀:非接觸式三維表面形狀測(cè)量?jī)x可以沿垂直軸方向?qū)Ρ粶y(cè)物體進(jìn)行掃描,它采用光學(xué)干涉技術(shù),精密測(cè)量樣品的表面形狀分布。 與共聚焦顯微鏡、調(diào)焦顯微鏡等三維表面測(cè)量技術(shù)相比,該表面形狀測(cè)量?jī)x具有更高的垂直分辨率。
Sunny VSI三維表面形狀測(cè)量?jī)x可安裝在配套的三維數(shù)控平臺(tái)上,實(shí)現(xiàn)橫向掃描。
系統(tǒng)構(gòu)成1)光學(xué)照明系統(tǒng)2)光學(xué)成像系統(tǒng)3)垂直掃描控制系統(tǒng):4)信號(hào)處理系統(tǒng):5)應(yīng)用軟件:6)顯示器
應(yīng)用領(lǐng)域LED晶片基板測(cè)量表面粗糙度/平整度分析硬盤懸臂焊接點(diǎn)的直徑測(cè)量太陽(yáng)能電池紋理缺陷檢測(cè)
參數(shù) 白光干涉儀型 號(hào) Sunny VSI 垂直測(cè)量分辨率 0.05um 橫向測(cè)量分辨率 2.767um/plxels 圖像分辨率 768*576 plxels 掃描體積 2.125mm*1.593mm*100um 均方根值重復(fù)精度 <0.5nm
白光干涉儀網(wǎng)址 www.-china.com
德國(guó)BMT WLIRing 干涉儀 |
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德國(guó)BMT WLIRing 干涉儀 該測(cè)量系統(tǒng)用于快速準(zhǔn)確測(cè)量圓柱形工件的表面形貌,計(jì)算粗糙度參數(shù),微型結(jié)構(gòu),及內(nèi)外部表面特征。 特點(diǎn) l 對(duì)內(nèi)外層都可進(jìn)行測(cè)量 l 光滑粗糙表面都可進(jìn)行測(cè)量 l 測(cè)量結(jié)果不受工件的顏色和材料影響 l 數(shù)秒內(nèi)進(jìn)行快速測(cè)量 l 用于在線測(cè)量的OEM測(cè)量頭 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大約(mm):1 l 測(cè)量區(qū)域的尺寸:由物體決定 l 圖像尺寸(Pixel):1000×1000 移動(dòng)平臺(tái) l Z軸(mm):10~50 l 步進(jìn)速度(μm/min):1 |
產(chǎn)特點(diǎn):● 納米深度3D檢測(cè)● 高速、無(wú)接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測(cè)● 低維護(hù)成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供3D圖形處理與分析● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測(cè)量分析。可提供多達(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)(Wafer)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能● 量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺(tái)X、Y、Z位置數(shù)字式顯示,使檢測(cè)目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對(duì)比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動(dòng)補(bǔ)點(diǎn)功能● 可自行設(shè)定掃描方向技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號(hào) | AE-100M | ||
移動(dòng)臺(tái)(mm) | 平臺(tái)尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測(cè)范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機(jī)臺(tái)重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動(dòng)范圍 | 45mm , 手動(dòng)細(xì)調(diào) | ||
Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調(diào)整平臺(tái) | 雙軸/手動(dòng)調(diào)整 | ||
高度測(cè)量 | |||
測(cè)量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測(cè)分辨力 | 0.1nm | ||
重復(fù)精度 | ≤ 0.1% (量測(cè)高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測(cè)高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測(cè)高度:<1μm ) | |||
量測(cè)控制 | 自動(dòng) | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)(150W) | ||
光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動(dòng)/手動(dòng) | ||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | |||
中央處理運(yùn)算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17 " 雙晶屏幕 | ||
操作系統(tǒng) | Windows XP(2) | ||
電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環(huán)境振動(dòng) | VC-C等以上 | ||
測(cè)量分析軟件 | |||
量測(cè)軟件ImgScan | ImgScan測(cè)量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測(cè)量模式(PSI量測(cè)模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波,多樣的2D和3D 觀測(cè)視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換 報(bào)表輸出,程序教導(dǎo)測(cè)量等。 |
獲取報(bào)價(jià)請(qǐng)電議,或者訪問(wèn)中圖儀器與我們?nèi)〉寐?lián)系,http://www.chotest.com SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行亞納米測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀只需操作者裝好被測(cè)器件,在軟件測(cè)量界面上設(shè)置好視場(chǎng)參數(shù),調(diào)整鏡頭到接近器件表面,選擇自動(dòng)聚焦,儀器會(huì)對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦并找到干涉條紋,調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開(kāi)始進(jìn)行掃描測(cè)量;掃描結(jié)束后,軟件分析界面自動(dòng)生成器件3D圖像,操作者可通過(guò)軟件對(duì)生成的3D形貌進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測(cè)量方法,它具有測(cè)量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。
系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng),操作方便。
二、 產(chǎn)品功能1.行業(yè)域和應(yīng)用對(duì)象
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。