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脈沖試驗(yàn)機(jī) 

特　　征：精度高；抗干擾能力強(qiáng)，不受溫度、濕度及風(fēng)力的影響；安裝、調(diào)試、使用簡(jiǎn)單；功耗低。應(yīng)　　用：適用于湖泊、河道、水庫(kù)、明渠、潮汐水位等水位監(jiān)測(cè)。最大量程：　70m測(cè)量精度：　±3mm天線材料：　不銹鋼316L喇叭/PTFE振子天線結(jié)構(gòu)：　尖錐形振子頻率范圍：　26GHz信號(hào)輸出：　RS485/MODBUS協(xié)議電　　源： （6~26）V DC

特　　征：精度高；抗干擾能力強(qiáng)，不受溫度、濕度及風(fēng)力的影響；安裝、調(diào)試、使用簡(jiǎn)單；功耗低。應(yīng)　　用：適用于湖泊、河道、水庫(kù)、明渠、潮汐水位等水位監(jiān)測(cè)。最大量程：　70m測(cè)量精度：　±3mm天線材料：　不銹鋼316L喇叭/PTFE振子天線結(jié)構(gòu)：　尖錐形振子頻率范圍：　26GHz信號(hào)輸出：　RS485/MODBUS協(xié)議電　　源： （6~26）V DC   雷達(dá)水位計(jì)－－脈沖雷達(dá)水位計(jì)－－雷達(dá)液位計(jì)

特　　征：精度高；抗干擾能力強(qiáng)，不受溫度、濕度及風(fēng)力的影響；安裝、調(diào)試、使用簡(jiǎn)單；功耗低。應(yīng)　　用：適用于湖泊、河道、水庫(kù)、明渠、潮汐水位等水位監(jiān)測(cè)。最大量程：　70m測(cè)量精度：　±3mm天線材料：　不銹鋼316L喇叭/PTFE振子天線結(jié)構(gòu)：　尖錐形振子頻率范圍：　26GHz信號(hào)輸出：　RS485/MODBUS協(xié)議電　　源： （6~26）V DC

MDSC318E系列脈沖轉(zhuǎn)換隔離器為導(dǎo)軌安裝式，底座與主機(jī)可以分離插拔，安裝維護(hù)簡(jiǎn)便。系列產(chǎn)品種類豐富，可以處理電流、電壓、熱電阻、熱電偶、開關(guān)量等各種工業(yè)信號(hào)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于建材、冶金、電力等各種行業(yè)，有效抑制各種干擾信號(hào)。

功能

接收現(xiàn)場(chǎng)的直流電壓或電流信號(hào)，經(jīng)過(guò)隔離，變換成頻率信號(hào)輸出?？蛇x1入1出、1入2出。

型號(hào)規(guī)格

產(chǎn)品特點(diǎn)：

輸入、輸出、電源三方完全隔離，抗干擾能力強(qiáng)

精度高，線性度高，長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性高

模塊化設(shè)計(jì)，體積小，功耗低，適合密集安裝

結(jié)構(gòu)合理，插拔輕松，安裝、拆卸、維護(hù)更為方便簡(jiǎn)單 

技術(shù)指標(biāo)

工作電源：20~30VDC

功    耗：≤1.2W（1入1出）

≤1.8W（1入2出）

輸入信號(hào)：直流電壓或電流

輸入阻抗：電壓輸入，≥500kΩ

          電流輸入，≤200Ω

輸出信號(hào)：24V/0V電壓脈沖

高電平16~30V，低電平0~5V

輸出信號(hào)：5V/0V電壓脈沖

高電平3.5~5.5V，低電平0~0.5V

輸出信號(hào)：無(wú)源脈沖（集電極開路）

回路電流≤30mA，回路電壓≤30V

脈沖寬度：≥10us

頻率范圍：0.1Hz~100KHz（訂貨指定）

（低于0.1Hz當(dāng)作0Hz處理）

響應(yīng)時(shí)間：1s（0~90%F.S）

輸出精度：±0.1%F.S

溫度漂移：±0.01% F.S/℃

絕緣電阻：≥100MΩ/500VDC

絕緣強(qiáng)度：輸入-輸出，2000VAC/1min

輸入-電源，2000VAC/1min

輸出-電源，1000VAC/1min

備注：1入1出型號(hào)，11、12腳懸空不接。

如需詳細(xì)資料請(qǐng)下載：MDSC318E系列脈沖轉(zhuǎn)換隔離器

一、 系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)

系統(tǒng)由真空腔室（外延室、進(jìn)樣室）、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、真空排氣、真空測(cè)量、電器控制、配氣、計(jì)算機(jī)控制等各部分組成。

1、 ★★外延室：

極限真空優(yōu)于：5.0x10^-8Pa

真空漏率小于2.0x10^-8Pa.l/S

1.1、 ★真空室組件：1套

       真空室采用球形結(jié)構(gòu)，尺寸：Ф450mm；選用0Cr18Ni9Ti不銹鋼材料制

造，氬弧焊接，表面噴玻璃丸及電化學(xué)拋光處理，全部接口采用金屬墊圈密

封，腔體上各種法蘭接口如下：

1.1.1 、CF250接口法蘭1個(gè)（接升華泵）；

1.1.2 、CF200接口法蘭1個(gè)（接靶組件）；

1.1.3 、CF150接口法蘭4個(gè)（接樣品臺(tái)組件、分子泵、離子泵、活開門

  組）；

1.1.4 、CF100接口法蘭7個(gè)（接2個(gè)激光入射窗口、高能電子衍射電子

 槍、熒光屏  口、進(jìn)樣室口、2個(gè)光譜口）；

1.1.5 、CF50接口法蘭5個(gè)（2個(gè)觀察窗口、1個(gè)紅外測(cè)溫窗口、2個(gè)備用）；

1.1.6 、CF35接口法蘭5個(gè)（接規(guī)管、放電電極、2個(gè)備用）；

1.1.7 、CF16接口法蘭6個(gè)（低真空規(guī)管、放電電極、進(jìn)氣管路、充氣閥、 照明、備用；

1.2 、★旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)組件：1套

1.2.1、CF200密封法蘭，靶與樣品之間距離可調(diào)30～90mm（腔外調(diào)節(jié)）；

1.2.2、靶組件為垂直結(jié)構(gòu)，靶材最大尺寸Φ70mm, 每次可以裝四塊靶材；提供可安裝直徑分別為Φ25mm、Φ30mm、Φ50mm、Φ70mm靶材的靶材架各四套。

1.2.3、每塊靶材可實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)，磁力耦合傳動(dòng)，轉(zhuǎn)速5～60轉(zhuǎn)/分，連續(xù)可調(diào)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)；

1.2.4、公轉(zhuǎn)換靶采用波紋管轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)，由電機(jī)控制；

1.2.5、靶的定位與靶距調(diào)節(jié)均采用光電開關(guān)定位，靶組件的中心位置定在前方靶面與基片的距離為60mm的位置，為了保證靶定位精度，采用細(xì)分驅(qū)動(dòng)器控制電機(jī)；

1.3、 ★基片加熱臺(tái)組件：1套

1.3.1、 基片尺寸：提供安裝1*1cm方形基片的基片架六套；Φ25和Φ51圓形基片的基片架各兩套。

1.3.2、★★采用抗氧化材料作加熱器；基片加熱最高溫度 800°C±1°C，由熱電偶閉環(huán)反饋控制；基片溫度誤差小于±1°C；基片溫度從中心到邊沿的偏差小于±1°C。

1.3.3、 基片臺(tái)可以作前后手動(dòng)移動(dòng)，采用波紋管密封結(jié)構(gòu)，基片以RHEED的位置為準(zhǔn)可拉出30mm，縮進(jìn)20mm；

1.3.4、 基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5～60轉(zhuǎn)/分，電機(jī)驅(qū)動(dòng)；

1.3.5 、樣品擋板組件；

1.4、★窗口及法蘭盲板組件

1.4.1 、供準(zhǔn)分子激光入射用的石英玻璃窗口（選用JGS1-1型石英玻璃）：6個(gè)

1.4.2 、觀察用玻璃窗CF50：2個(gè)

1.4.3 、紅外測(cè)溫窗CF50：1個(gè)

1.4.4 、CF35盲法蘭：1個(gè)

1.4.5 、CF50盲法蘭：2個(gè)

1.5、 ★活開門組件：1套

1.5.1、 上焊接Ф50mm 通導(dǎo)窗口；

1.5.2、 采用膠圈，金屬兩用密封結(jié)構(gòu)；

1.6、 ★工作氣路組件：3條

1.6.1、質(zhì)量流量控制器、DG16角閥、管路、接頭等：2路

       質(zhì)量流量計(jì)范圍：1－－100SCCM（廠家：北京匯博隆）。

1.6.2、CF16角閥、管路、接頭 ：1路

1.7、★工作真空獲得:機(jī)械泵+分子泵+離子泵+升華泵

1.7.1、抽速：8升/秒，2XZ-8直連機(jī)械泵:1臺(tái)

1.7.2、抽速：620升/秒，分子泵及控制電源:1臺(tái)

1.7.3、抽速：400升/秒，濺射離子泵及控制電源:1臺(tái)

1.7.4、鈦鉬絲升華泵及控制電源:1臺(tái)

1.7.5、CC-150-B閘板閥：2臺(tái)

分別用于分子泵與外延室隔離，離子泵與真空室隔離。

1.7.6、CC-100-B閘板閥：1臺(tái)

進(jìn)樣室與外延室隔離。

1.7.7、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管：1套

1.7.8、電磁隔斷放氣閥：DN40：1臺(tái)

1.8、★★真空測(cè)量

1.8.1、DL-7型超高真空測(cè)量規(guī)、計(jì)：1套

       測(cè)量范圍：1.0x10^-2Pa～1.0x10^-8Pa；

1.8.2、ZDF復(fù)合真空計(jì)測(cè)量低真空：1套

     測(cè)量范圍：1.0x10⁵Pa～1.0x10^-1Pa；

2、進(jìn)樣室：

極限真空優(yōu)于：1.0x10^-5Pa；

真空漏率小于5.0x10^-8Pa.l/S；

2.1、 ★真空室組件：1套

真空室腔體尺寸Ф150x150mm，上面開有連接樣品傳輸桿、真空泵、活開

門、真空規(guī)、放氣閥等各種規(guī)格的法蘭接口，選用0Cr18Ni9Ti不銹鋼材料制

造，氬弧焊接，表面噴玻璃丸及電化學(xué)拋光處理。

2.2、★★真空部件

2.2.1、 磁力樣品傳送桿，傳送距離700mm：1套

2.2.1、 壓力表，放在進(jìn)氣閥門外：1套

2.2.1、 觀察窗組件：1套

2.3、★★工作真空獲得:機(jī)械泵+分子泵

2.3.1、直聯(lián)機(jī)械泵：1臺(tái)（抽速4升/秒）；

2.3.2、復(fù)合分子泵及變頻控制電源：1臺(tái)（抽速600升/秒）；

2.3.3、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管：1套 ；

2.3.4、CF150-B閘板閥：1臺(tái)（用于分子泵與樣品引進(jìn)室隔離）；

2.3.5、ZDF量程高真空測(cè)量規(guī)、計(jì)：1套（用外延室真空計(jì)的另外兩路）

         低真空規(guī)：1套（1.0x10⁵Pa～1.0x10^-1Pa）；

         電離規(guī)：1套（1.0x10^-1Pa～1.0x10^-5Pa）；

2.3.6、高真空角閥CF16、管路、接頭、充氣閥D6等：1路（解除真空充氮?dú)猓?/span>

2.3.7、KF25電磁壓差閥：1臺(tái)；

2.3.8、KF40電磁截止閥：1臺(tái)；

2.4、相關(guān)規(guī)格的金屬密封銅圈，氟橡膠密封圈：全套

2.5、不銹鋼緊固螺栓、螺母、墊片等： 全套

3、 ★安裝機(jī)臺(tái)架組件：1套

安裝臺(tái)架：整個(gè)設(shè)備安放在一個(gè)用型鋼焊接而成的臺(tái)架上，臺(tái)面板由不銹鋼蒙皮裝飾，臺(tái)架及圍板均進(jìn)行噴塑處理。機(jī)臺(tái)有移動(dòng)/固定腳輪兩用。

4、 ★電源控制系統(tǒng) ：1套

自制電源

4.1、總控制電源：1套

4.2、電源控制機(jī)柜：2臺(tái)   

4.3、樣品加熱電源：1臺(tái)

4.4、鹵鎢燈照明電源：1臺(tái)

4.5、步進(jìn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)電源：4套

4.6、升華泵電源：1套

4.7、機(jī)械泵啟動(dòng)控制電源：2套

外配套電源

4.8、3L-400離子泵電源：1套

4.9、FB620分子泵電源：2套

4.10、電離真空計(jì)電源：2套

4.11、質(zhì)量流量計(jì)電源（2顯）：1套

5、★備品備件：1套

5.1、無(wú)氧銅密封墊圈（相關(guān)規(guī)格）

CF16：5個(gè)；    CF35：5個(gè)；   

CF50：5個(gè)；    CF100：3個(gè)； CF150：5個(gè)

Ф6mm：卡套：4套Ф6mm：不銹鋼管：6米

5.2、氟橡膠密封圈

Ф150     3個(gè)    Ф100     3個(gè)

5.3、烘烤帶：      4條

5.4、點(diǎn)鎢燈：      5個(gè)

5.5、加熱絲：      3米

6、★配套儀器及控制系統(tǒng)

1）、★★差分式高能電子衍射儀（RHEED）：                1套

（1）、高能電源：最高能量25KV，最大束流100μA。

（2）、三極濺射離子泵（抽速：25升/秒）及閥門、管道：1套

（3）、熒光屏：1快

（4）、熒光屏擋板：1套

（5）、照像用黑筒：1套

2）、★★RHEED強(qiáng)度振蕩，生長(zhǎng)速率監(jiān)測(cè)系統(tǒng) ：             1套

      主要由攝象頭，硬件，計(jì)算機(jī)控制軟件包等組成。

3）、★★激光束掃描裝置 ：                             1套                                                

（1)、二維掃描機(jī)械平臺(tái)。

（2)、手動(dòng)/自動(dòng)，兩套步進(jìn)電機(jī)控制，執(zhí)行兩自由度掃描。

4）、★★氧等離子體發(fā)生器及電源  ：                    1套

5）、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng) ：                              1套

（1）、由硬件卡，計(jì)算機(jī)控制軟件包，及計(jì)算機(jī)組成。

（2）、控制的內(nèi)容主要有公轉(zhuǎn)換靶、靶自轉(zhuǎn)、樣品自轉(zhuǎn)、樣品控溫、激光束掃描等。

6）、★★四極質(zhì)譜儀（質(zhì)量數(shù)：1－－-100）：               1套