FLK-6ˮ���|(zh��)������У��_���飺
FLK-6ˮ���|(zh��)������У��_��һ�N�����ډ����y���x��У���Ҳ�������c������ֵ��һ������(sh��)�P(gu��n)ϵ�ķlj����y���x����У߀���Á��M�Љ��������Љ��������^����У�x���@�N����У�x���������l(f��)���c�����ٿ���һ���������m�����ȵĘ˜������Ԍ����y�����M������(y��ng)���ȵ��{(di��o)ԇ��У����z���У���Լ��yԇ���䑪(y��ng)���I(l��ng)��ʮ�֏V���� ����У�x�ǬF(xi��n)����?q��)����У���ա����?gu��)�������߉������߉�׃�����������_�P(gu��n)�������������������x�����x���ȵ����뉺��Դ��
����FLK-6ˮ���|(zh��)������У��_�������c������У�x�����ڌ���һ�F(xi��n)���h(hu��n)���������_�š���ʽ�O(sh��)Ӌ�����в���������������ƽ��(w��n)���{(di��o)��(ji��)����С���S�o����������й©�����c�������O(sh��)Ӌ�ĉ��U�Y(ji��)��(g��u)��ʡ�����쉺�^����ʹ�����°빦���� ����У�x�����˪��ص��O(sh��)Ӌ���oՓ���쉺Ч������������߀���ܷ��������������Q�Ή����ò��ɱȔM����
����FLK-6ˮ���|(zh��)������У��_��Ҫ���g(sh��)ָ�ˣ�
���У����0��6�ͣ�a
�������|(zh��)���՚⡢׃�������B���ݼy��M20*1.5������28 kg
FLK-6ˮ���|(zh��)������У��_/����Ӌ���Ҍ���У��O(sh��)��
���g(sh��)����(sh��)��
���H�ߴ��c���Qֵ֮�g�Ĺ��
ֱ��Φ1-45mm��У���h(hu��n)Ҏ(gu��)�������±10μm
ֱ��Φ50-300mm��У���h(hu��n)Ҏ(gu��)�������±20μm
ֱ��.1��-1.8��DIA��У���h(hu��n)Ҏ(gu��)�������±.0004��
ֱ��2��-12��DIA��У���h(hu��n)Ҏ(gu��)�������±.0008��
��(n��i)���̶ȵ��`�
ֱ��Φ1-100mm�`���±1.5μm
ֱ��Φ125-300mm�`���±2.5μm
ֱ��.1��-4��DIA.�`���±.00006��
ֱ��5��-12��DIA.�`���±.00010��
�a(ch��n)Ʒ�ڸߌӽ������ι�ˮ����ˮ������ˮ�������������bЬñ������ӡȾ��ʯ�ͻ��������Wԇ������ϴ�����t(y��)ˎʳƷ�����l(xi��ng)��ˮ����ˮ�Θ���ᄾ����ǡ��߲�������ˮ�a(ch��n)�B(y��ng)ֳ�������ء��h(hu��n)���l(w��i)���ȱ����ИI(y��)�еõ��V����(y��ng)���� ����ϩ��PE�����ܳɹ�ˇһ����ģʽ�������a(ch��n)Ʒ���У����wһ�γ������o�ӿp�����_�������ϻ��������p�����B©������A�������L�������l(w��i)���˜ʵȃ�(y��u)�c�� ʹ�����ܴ��(y��u)�ڂ��y(t��ng)�IJ�������������Ϻ�����������r�������������r���z�������Ǵ����(sh��)������Һ�w����ă�����\ݔ�O(sh��)�䣬���ஔ��ķ�����(n��i)��ȡ�����P������⁵Ȳ�����Ʒ���a(ch��n)Ʒ�V���m���ڻ������t(y��)ˎ���������r(n��ng)ˎ��Ⱦ����ұ��ϡ�����僡������������ӡȾ���h(hu��n)�����Cе�������ʳƷ���ИI(y��)��
��Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System
��������Ӌ����, С�ͭh(hu��n)���������؝�ȡ��������L�ٱO(ji��n)��ϵ�y(t��ng)
����Pentagon Technologies �� QIII+ ��(y��ng)�����O(sh��)��C�_( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber ��(n��i)Surface Particles ���y, �ɽ��ͮa(ch��n)ƷDefect��Test Wafer��ʹ����, �Լ������_��e�_���杍����..�ȵ���C. ���ў�Ŀǰ�C�_�S�o���I(y��)�r�Ę˜ʹ���֮һ. Q-view ��һᘌ�Mini-environment, Factory Interface ��
Critical Area �����y Particle, ��P, TRH, Velocity..�ıO(ji��n)ҕģ�K, �Ɍ��r����(y��ng)��Contamination Issue.
�@�Nϵ�е�Ӌ���ñ�����SEKO�a(ch��n)Ʒ�ĸ�Ʒ�|(zh��)������������SEKO��˾����ᘌ��Ї���ͬ�Ӵε��Ñ��������S���µ�Ԫ�ء�
ᘌ�Ŀǰ�Ј��M��������߀�ЙCе��Ĥ�Ãr����^���@һ���c��SEKO��˾�Ƴ���SPRING�@��ϵ�С��@�N���������c�����|(zh��)�����r���m�У����ԝM����N�Ñ���ͬ��Ҫ�����@�N�����ú͙Cе����SEKO������о��ɹ�����(j��ng)�^�o��(sh��)�ε�ԇ��������ܝM�㲻ͬ�ИI(y��)����Ҫ����ͬa(ch��n)Ʒ���Ǹ�����(y��u)�ݵġ����ҵ����ărλ�������ڸ������ҵć���(n��i)Ӌ�����Ј��������_����
SEKOӋ�����®a(ch��n)Ʒ�Ć������ݱؕ��o�Ї���Ӌ�����Ј�ע�����r��ѪҺ�����|(zh��)�������õķ���(w��)�ѽ�(j��ng)�o����(n��i)�Ñ���������̵�ӡ�������Դ˴�SEKO��˾�Ƴ��®a(ch��n)Ʒ���϶���������(n��i)���Ñ��������������õķ���(w��)�Ñ����@Ҳ��SEKO����Ŭ������KĿ�ġ�
MS1ϵ�б���һ�N�Cе��ĤӋ���ã������Џ����(q��)���b�ú��X���⚤��
���c��
������5.5-460L/H
�������10BAR
�_���l�ʣ�58/78/116��/��
��Ĥֱ����65-165����
늙C���˜�늉�0.18/0.25/0.37KW(IP55)
�_���L�ȣ�2/4/6����
PS1���R�_�(q��)������ʽӋ���� PS1ϵ�б���һ�N����Ӌ���ã������Џ����(q��)���b�ú��X���⚤��
���c ������1.5-304L/H �������20BAR �_���l�ʣ�58/116��/�� ����ֱ����6-64mm 늙C���˜�늉� 0.18KW��0.25KW��IP55�� �_���L�ȣ�15mm PS2���R�_�(q��)������ʽӋ���� PS2ϵ�б���һ�N����Ӌ�����������Џ����(q��)���b�ú��X���⚤�� ���c ������400-1000L/H���������20BAR���_���l�ʣ�58/116��/��������ֱ����25-89������늙C���˜�늉�0.25/0.37/0.55/0.77KW(IP55)���_���L�ȣ�25����
Ԕ��Ո��䛣�www.henanseko.cn
���b��ʽ������ݔ�����b | �Ǽܲ��ϣ����� | ��̖��AKH-0.66/G-60I |
�~�������5A ����1��mA�� | �@����ʽ���Ό����@ʽ | Ʒ�ƣ������� |
�N���������� | �˷Q늉���660��V�� | ��(y��ng)�÷������y�� |
AKH-0.66ϵ����������� |
1 ������ AKH-0.66ϵ�����������,�⚤������ȼ,�͜�140��ľ�̼��֬��ע�������Fо����ȡ����܈��䓎����@���ɣ����Ό������øߏ���늴���������a(ch��n)Ʒ�Y(ji��)��(g��u)�·f���������^�����b�������w�eС�����������|(zh��)���p�� �a(ch��n)Ʒ���χ��HGB1208-2006�� 2 �����g(sh��)ָ�� �����y��CTһ�����5��6300A�������5A��1A��0.1A��0.05A ���oCTһ�����200��6300A���������5A��1A��0.1A��0.05A ʣ�����CTһ�����0��5A������ݔ��늉�1V�����2mA,20mA �p�@�MCTһ�����5��6300A���������5A��20mA��1A��20mA ���~������늉�AC0.66kV����ЧAC0.69kV��GB156-2003�� ���~���l��50��60Hz ���h(hu��n)���ض�-30��~70������͜�120�� �����θ߶�≤3000m �����l�͉�3000V/1min 50Hz �����ڛ]������ֱ�����u���o������Ⱦ���������ӵĈ��� 3 ���x���f�� ��������(j��)һ�������ĸ������ȅ���(sh��)�x��(y��ng)��Ҏ(gu��)��a(ch��n)Ʒ��һ�Ό�����Խ������������ж�»�����픲��Ӿ��֚���ȥ�������|Ƭ�������������֚���λ��Ӌ������õĿ����ù̶���˨���֚���С�ӷ��Uӡ���Է��`늡� ������������L�ڲ����^1.1���~��ֵ�����S��1.2���~��ֵ�r�̕rʹ�ã��r�g�����^1h��˲�r��1S��(n��i)����������������S���^60���~������� ����(j��)���y�����С,�x���~��������~�������,һ����ؓ�d�����2/3����; �a(ch��n)Ʒ�O�Ա�ʾ��:һ�νӾ���־P1��P2������(y��ng)���νӾ���־S1��S2;S1��ʾP1��ͬ����,S2��ʾP2��ͬ����; �y���x������S1��S2����,�˕r���Ӄx���Ŀ��迹�������B��������(y��ng)���^���������~��ؓ��.�����b�x��λ���c���������������h���·ؓ�d�^��r,��(y��ng)��(y��u)���x�������1A��Ҏ(gu��)��; ע�����(j��)ĸ�ŵ�Ҏ(gu��)�����(sh��),�x����ƥ�䴰�ڴ�С�Ļ������� |
NRS-02����Ӌ���@ʾ�x
��Ҫ���g(sh��)ָ��
�����`������±0.5%�����۷e�͟�ˮ����
�����`��������ˮ�ضȡ���ˮ�ض���˲�r������˲�r������±0.5%
�ض��a�����x���Ԅӌ���ˮ���ܶȓ{ֵ�ȅ���(sh��)�M���a������ֵ�M�Мض��a����
�ضȌ��������� +0�� +150�������ز�100��
ݔ����̖���ض���̖������Pt100�������̖��
������̖����������׃����ݔ��4�� 20MA��0�� 10mA�����̖�������}
�_��̖������늉��}�_�����ƽ0�� 2V�����ƽ8�� 24V��ݔ��
�迹����10K��ռ�ձȼs50%���}�_�l��0�� 2.5KHz��
���ӛ�����x�������Դ�Gʧ���x��ԭ���O(sh��)�Ô�(sh��)��(j��)�����������۷eֵ�����Gʧ�����е��
�r�@ʾ��
�@ʾ��ʽ��˲�r���@ʾ��λ��(sh��)�����۷e���@ʾ��λ��(sh��)����
�@ʾ��������(sh��)���@ʾ�۷e��������늜ضȣ���ˮ�ض����ز˲�r������˲�r������
���\�����x�����r�z�y���(n��i)�˜���̖�M���\�������@ʾ����e�������Ԅӏ�λ������
�Ԃ��Դ���x������+12V��24V�Դһ�M������Ӌʹ����
ͨӍ�ӿ����x�����И˜�ͨӍ�ӿ�RS232��RS422�ȹ��Ñ��x����
�����h(hu��n)���l������ ��:0�� 50��
������ȣ�5�� 90%
�x������Դ������220V��+10%�� -15%��,50Hz+5%
�� ������15VA
���γߴ���80X160X250mm����X��X�
�_�׳ߴ�����152+1��X��76+1��mm����X�ߣ�
�� �����s3�K
BI5-M18-AD4X BI5-M18-AZ3X BI5-M18-Y1 BI5-M18-Y1X BI5-M18-Y1X NI8-M18-AP6X NI8-M18-AN6X NI8-M18-AD4X NI8-M18-AZ3X NI8-M18-Y1 672u -20 NI8-M18-Y1X NI8-M18-LIU 652u -10 NI8-M18-RP6X EPK MSOFT7000 640/650 -4/5 NI8-M18-RN6X NI8-M18-RD4X ZB618E 8-56 NI8-M18-RZ3X BI5-G18-AP6X eZ-TOMAS eZ-Blance MiniTest 600 N VM110 NI10-G18-AD4X