| 德國馬爾817 CLM技術(shù)參數(shù) | ||||||
| 量程 mm/inch | 350/14" | 600/24" | 1000/40" | |||
| 擴展范圍 mm | 520 | 770 | 1170 | |||
| 分辨率 | mm | 0.01/0.005/0.001/0.0005/0.0001 | ||||
| in | 0.001"/0.0005"/0.0001"/0.00005"/0.00001" | |||||
| 示值誤差 μm | （1.8+L/600）,L單位mm | |||||
| 重復性誤差 μm | 0.5（平面） 1（曲面） | |||||
| 垂直度誤差 μm | 正面≤5（經(jīng)過電子修正） | |||||
| 充電操作時間 h | 16以內(nèi) | |||||
| 測量力 N | 1.0±0.2 | |||||
| 允許空氣濕度 % | 65（非壓縮空氣） | |||||
| 工作溫度 °C | 20±1 | |||||
| 操作溫度 °C | 10-40 | |||||
| 3點氣浮高度 μm | 約9 | |||||
| 測量系統(tǒng) | 帶光電讀頭的光柵尺 | |||||
| 總高度 mm | 741 | |||||
| 底座外形尺寸（L*W） mm | 240*250 | |||||
| 重量 kg | 25 | |||||