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產(chǎn)品介紹：PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)、

一款獨特模塊設(shè)計的圓筒式等離子處理系統(tǒng)

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)重新定義了圓筒式等離子處理工藝。該等離子處理系統(tǒng)基于模塊化設(shè)計制造，采用一款通用的真空處理艙及機箱，多款電極模塊方便整體系統(tǒng)的組裝及配置。PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)帶給用戶方便操作，提供多種等離子處理工藝、方便維護及性價比高的系統(tǒng)比業(yè)內(nèi)氣體等離子處理系統(tǒng)更具競爭力。

圓筒式等離子處理系統(tǒng)描述

等離子工藝處理的研發(fā)需要多功能且可靠的設(shè)備。為了滿足等離子研究日新月異的要求，用戶選購的系統(tǒng)設(shè)備滿足最大范圍的等離子工藝參數(shù)需要，工藝驗證需要極其高的可重復(fù)性，必須方便改造用于新的等離子工藝需要。PS是一款滿足等離子去膠，清除浮渣，各向同性和各向同性蝕刻 ，有機物灰化，混合電路清洗，印刷電路板（PCB）去污，故障分析，表面處理及其塑料件改性，聚合物沉積，等等其他等離子應(yīng)用的研究，工藝開發(fā)及其小批量生產(chǎn)的等離子系統(tǒng)工具，用于最大八英寸基片的精密等離子刻蝕及沉積。該等離子系統(tǒng)可以容納處理多塊晶圓片。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)提供圓筒式等離子系統(tǒng)的獨特模塊化設(shè)計。PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)可容納處理最大200mm或是更小的基片（單晶圓片反應(yīng)離子刻蝕（RIE）處理，300mm晶圓片可以處理）。該系統(tǒng)的建造采用高質(zhì)量認可的部件、模塊化裝配、多功能真空艙體-電極設(shè)計、結(jié)構(gòu)緊湊、自動化及業(yè)內(nèi)認可工藝程序使得PS等離子處理系統(tǒng)成為工藝工程師首選干法設(shè)備。

系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)應(yīng)用

. PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)配備的真空機電極配置使得該系統(tǒng)能夠滿足廣泛的等離子工藝處理要求。這些等離子工藝包括簡單的材料表面清洗到復(fù)雜的亞納米級反應(yīng)離子刻蝕（RIE）蝕刻；基與眾多客戶群的緊密協(xié)作，我們開發(fā)出業(yè)內(nèi)認可的工藝程序，保證系統(tǒng)滿足用戶所需。用于生產(chǎn)制造的系統(tǒng)設(shè)備均采用最高質(zhì)量的部件，保證我們的系統(tǒng)提供最大可能的正常運行時間、 可靠性、重復(fù)性及耐用性。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)典型等離子工藝處理包括

·         等離子清除浮渣（Plasma Descuming）

·         光刻膠去膠（Photoresist Stripping）

·         等離子材料表面處理（Surface Treatment）

·         等離子各向同性和各向同性蝕刻（Anisotropic & Isotropic Etching）

·         故障分析應(yīng)用（Failure Analysis Applications）

·         材料改性（Material Modification）

·         封裝清洗（Package Cleaning）

·         鈍化層刻蝕（Passivation Etching）

·         聚酰亞胺刻蝕（Polyimide Etching）

·         促進粘合（Adhesion Promotion）

·         生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用（Biomedical Applications）

·         等離子聚合反應(yīng)（Polymerizaton）

·         混合清洗（Hybrid Cleaning）

·         預(yù)鍵合清洗（Pre-Bond Cleaning）

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)最大的成功來源于其多功能模塊設(shè)計。這些特點包括極小占地面積的臺面使用，或是層流安裝和模塊化真空艙室及電極配置，滿足廣泛的等離子工藝處理需要。此外，觸摸屏電腦控制系統(tǒng)提供了簡便操作及多層次程序/菜單控制，系統(tǒng)操作及部件控制。多款真空泵浦系統(tǒng)可選配。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)基本系統(tǒng)

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)的通用機箱配置包括所有必要的電磁閥、真空泵浦、射頻（RF）電源、射頻（RF）匹配器、工藝氣體控制及系統(tǒng)邏輯。這些配置提供了一款全自動化等離子處理系統(tǒng)。通用機柜可容納不同真空處理艙室，電極模塊；方便植入機柜之中。幾分鐘之內(nèi)，系統(tǒng)可以從一款普通的轉(zhuǎn)筒式等離子處理系統(tǒng)變成一款反應(yīng)離子刻蝕（RIE）系統(tǒng)、平板電極處理系統(tǒng)、或是帶支架的混合等離子清洗系統(tǒng)。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)真空艙/電極

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)的模塊化真空艙及電極組件是該款系統(tǒng)的亮點。真空艙采用硬質(zhì)陽極氧化鋁建造。幾款不同的電極設(shè)計可供選配，妻子包括水冷式（溫度控制）平板電極用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及平板式等離子工藝處理，更換托盤式（tray electrodes）電極用于表面清洗或處理，下游電極（downstream electrodes）用于減少離子損傷，圓筒籠式（cage electrodes）電極用途普通轉(zhuǎn)筒式等離子處理。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng) 等離子電源

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)采用一款600W@13.56 MHz射頻（RF）電源，配備自動匹配器網(wǎng)絡(luò)。

圓筒式等離子工藝處理真空泵浦系統(tǒng)

根據(jù)用戶的真空等離子工藝級別需要，系統(tǒng)配備機械泵、機械泵及渦輪分子泵，或是帶魯氏鼓風機的機械泵。也可根據(jù)所需真空處理級別配備不同尺寸大小的真空泵浦。

真空泵浦填充惰性泵油，用于氧氣或腐蝕性化學(xué)氣體應(yīng)用。兩套質(zhì)量流量控制器（MFC）控制氣源管路標配為最多兩路。下游壓力控制為選配。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng) 電腦控制

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)觸摸屏控制的電腦提供無線程序/菜單存儲。多步驟工藝簡單易存。工藝條件連續(xù)實時顯示。該控制系統(tǒng)編程建議且具有工藝保護功能。工藝處理可以條形碼形式 （選配）。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)選配

眾多的工藝 處理選配使得PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)具有更強大的處理能力。

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)尺寸

圓筒式等離子處理系統(tǒng)主機： 89厘米 寬 x 81厘米 深x 53厘米 高真空處理艙（內(nèi)部） Width 14.75" x Depth 17" x Height 12"

PS系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)重量： 70公斤

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一、用途　　轉(zhuǎn)筒式烘干機是一種處理大量物料的干燥器。[url=http://www.6r4427.com/shengchanxianshebei/470.html]陶粒砂設(shè)備[/url]由于運轉(zhuǎn)、操作彈性大、適應(yīng)性強、處理量大，廣泛使用于冶金、建材、食品、輕工、化工、煤炭、醫(yī)藥礦產(chǎn)業(yè)中?！　　?回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)筒干燥器一般適應(yīng)于粉粒狀物料，也可用于部分摻入物料的辦法干燥粘狀膏狀物料或含水量較高的物料。他的優(yōu)點是生產(chǎn)能力大、適用范圍光、流量阻力小、操作上允許波動范圍較大、操作方便等。[url=http://www.shzbzg.com/xian/taolisha.html]陶粒砂生產(chǎn)線[/url]二、結(jié)構(gòu)與原理　　1、結(jié)構(gòu)：　　轉(zhuǎn)筒式烘干機由1、筒體；2、前輥圈；3、后輥圈；4、齒輪；5、擋輥；6、拖輥；7、小齒輪；8、出料部分；9；揚板；10、減速機；11、電機；12、熱風道，13、進料溜槽；14、爐體等部分組成,另外可根據(jù)用戶需求設(shè)計煤氣發(fā)生爐、燃燒室或配套提升機、皮帶輸送機、定量給料機、旋風除塵器、引風機等。[url=http://www.qiumoji371.cn/xksb/12.html]浮選機[/url]    2、轉(zhuǎn)筒式烘干機工作原理：　　 干燥的濕物料由皮帶輸送機或斗式提升機送到料斗，然后經(jīng)料斗的加料機通過加料管道進入加料端。加料管道的斜度要大于物料的自然傾角，以便物料順利流入干燥器內(nèi)。[url=http://www.shzbzg.com/xk/shaifenji.html]滾筒篩價格[/url]干燥器圓筒是一個與水平線略成傾斜的旋轉(zhuǎn)圓筒。物料從較高一端加入，載熱體由低端進入，與物料成逆流接觸，也有載熱體和物料一起并流進入筒體的。隨著圓筒的轉(zhuǎn)動物料受重力作用運行到較底的一端。濕物料在筒體內(nèi)向前移動過程中，直接或間接得到了載熱體的給熱，使?jié)裎锪系靡愿稍铮缓笤诔隽隙私?jīng)皮帶機或螺旋輸送機送出。在筒體內(nèi)壁上裝有抄板，它的作用是把物料抄起來又撒下，使物料與氣流的接觸表面增大，以提高干燥速率并促進物料前進。載熱體一般分為熱空氣、煙道氣等。載熱體經(jīng)干燥器以后，一般需要旋風除塵器將氣體內(nèi)所帶物料捕集下來[url=http://www.pe1200.com/]機制砂設(shè)備[/url]。如需進一步減少尾氣含塵量，還應(yīng)經(jīng)過袋式除塵器或濕法除塵器后再放排放。三、轉(zhuǎn)筒烘干機技術(shù)參數(shù)：干燥機干燥能力因物料特性、水分含量、干燥溫度等不同而不同.

 優(yōu)勢供應(yīng)：

 FORMSPRAG套筒軸承離合器產(chǎn)品介紹：

FS-02, 04, 05系列

   這些小的離合器非常適合使用在所有類型的小型機器和精密儀器在哪里需要索引的功能。他們是油脂潤滑。對模型 FS-02 和 FS-04 樞紐和外圈外徑地面到接近極限，可能用于裝載附加部分。在模型上 FS-05 部分應(yīng)安裝外徑離合器的地上。

 FORMSPRAG套筒軸承離合器：

   有八個套筒軸承離合器模型適合一般用途索引應(yīng)用程序。鍵槽和止動環(huán)槽可用于安全的樞紐，是地面作為安裝表面附加的部分。油潤滑模型有丁腈橡膠油封每一端的離合器，提供積極的潤滑密封。

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三筒烘干機的安裝、調(diào)整和試運行：    1．安裝程序及裝配技術(shù)要求：首先清除設(shè)備零部件灰塵并清點，修整設(shè)備在運輸過程中造成的損傷，如發(fā)現(xiàn)缺少的要補齊。    2．按照基座輪廓尺寸及地腳螺栓位置做混凝土基礎(chǔ)，基礎(chǔ)為水平放置在地面上，其標高可參考工藝圖，也可根掘用戶實際情況自行確定。烘干機價格http://www.hnkeheng.cn/    3．安裝地腳螺絲應(yīng)按機械工程施工規(guī)范施工并驗收。    4．托輪裝置的安裝及裝配要求：煤泥烘干機：http://china.ke-heng.com/      a、在托輪裝置的支撐摯板與基礎(chǔ)之間楔入斜鐵，用來調(diào)整支撐摯板的水平及高度。      b、托輪底部的十字中心線與設(shè)計位置的偏差不得大于1.5mm，且兩軸承座軸向中心線，其平行線，其平行度不得大于0.5mm.。      c、四托輪中心線平行于簡體中心線，其平行度不得大于±0.1 mm／m。    5．回轉(zhuǎn)簡體安裝后，其偏差不得大于下列定值      a、兩輪帶的端面跳動不得大于1.2mm      b、兩輪帶的徑向跳動不得大于1 mm    6．傳動托輪的安裝      a、兩傳動托輪的軸心線要平行      b、傳動托輪軸與減速機輸入軸同軸度數(shù)公差不得大于0.2mm    7．密封裝置的安裝密封裝置距離筒體端面的距離應(yīng)該可以變動，用戶可根掘本廠的實際情況及所配置熱風爐的具體結(jié)合部位來確定。    8．安裝防塵罩、除塵器、提升輸送設(shè)備。    9．各環(huán)節(jié)調(diào)整合格后二次灌漿。    10．空負荷試機      a、空負荷試機時間不少于8小時，并做以下檢查