越光學(xué)極限的高倍率
■ 最高倍率達(dá)100,000X■ SE(二次電子)探測器(可選BSE探測器)
■ 加速電壓5kV~30kV范圍可調(diào)
■ 多種真空模超式-標(biāo)準(zhǔn)/荷電減輕
■ 等待時(shí)間少于2分鐘
■ 5軸控制載物臺-X、Y、R、Z、T
■ 4孔可變光闌-30/50/100/200 um
■ 選配-EDX系統(tǒng) 冷凍載臺 低真空控制系統(tǒng)
非導(dǎo)電性樣品無須涂層、快速簡便
■ 任何人都能使用的自動(dòng)調(diào)整功能■ 交替樣品后兩分鐘即可獲得滿意的影像■ 體積小巧,靈活快捷■ 最便利化的GUI界面
影像鮮明的掃描電鏡
■ 高分辨率最高可達(dá)5百萬像素■ 極大的景深層次豐富■ 多種格式儲存■ 多種測定功能:長度、角度等
儀器簡介
SU8200 系列冷場掃描是日立高新經(jīng)過多年潛心鉆研,巨額投入而研發(fā)出來的新一代革新性冷場電鏡,此系列掃描電鏡在完全秉承以往冷場發(fā)射掃描電鏡全部優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),將探針電流進(jìn)行了大幅提高,電流穩(wěn)定性得到了極大增強(qiáng),同時(shí)避免了燈絲Flash 后的采圖等待時(shí)間,可以說其彌補(bǔ)了以往冷場電鏡的所有弱勢,成為一款真正的超高分辨分析型冷場掃描電鏡,上演了一部現(xiàn)實(shí)版的王者歸來!
主要特點(diǎn):
日立高新新研發(fā)的冷場電子槍
1.利用電子槍轟擊后的高亮度穩(wěn)定期,束流更大更穩(wěn)定,高分辨觀察和分析兼顧
2.大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
3.減輕污染的高真空樣品倉
4.通過頂部過濾器(選配項(xiàng))實(shí)現(xiàn)多種材料對比度可視化聯(lián)系人鐘先生 1564055 / QQ:
型號:RL157584干涉顯微鏡 | 型號:RL157595掃描隧道顯微鏡 | 型號:RL157604數(shù)碼型工業(yè)檢測顯微鏡 |
電子學(xué)控制器: | |
XYZ控制 | 18-Bit D/A |
數(shù)據(jù)采樣 | 14-BitA/D、16 Bit A/D多路同步采樣 |
Z向反饋 | DSP數(shù)字反饋 |
反饋采樣速率 | 64.0KHz |
高壓放大器 | 集成高壓運(yùn)算放大器,電壓范圍+/-150V |
頻率范圍 | --- |
幅度范圍 | --- |
掃描速率 | 21Hz |
掃描角度 | 0-360度連續(xù)可調(diào) |
掃描偏移 | 任意 |
圖像采樣點(diǎn) | 256X256或512X512 |
步進(jìn)馬達(dá)控制 | 手動(dòng)和自動(dòng)進(jìn)退 |
計(jì)算機(jī)接口 | 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行/USB |
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S-3400N掃描電子顯微鏡
S-3400N具有最新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng),強(qiáng)大的自動(dòng)化功能,操作更簡易。
特點(diǎn):
1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能,包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺,傾斜角度可達(dá)-20度~+90度,樣品最高可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈、高效。
技術(shù)指標(biāo):
項(xiàng)目 | 描述 |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV),高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV),低真空模式 |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 |
加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV |
低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa |
最大樣品尺寸 | 直徑200mm |
樣品臺 | I型 II型 |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360º 360º |
T | -20º~ +90º -20º ~ +90º |
最大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
驅(qū)動(dòng)類型 | 手動(dòng) 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
物鏡光欄 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏 |
檢測器 | 二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤,手動(dòng)旋鈕 |
自動(dòng)調(diào)校 | 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦 消像散、自動(dòng)亮度對比度 |
日本電子,電鏡,掃描電鏡 大樣品室和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺 艾先生 134--5334 0755--3150 Q -6154
樣品室對應(yīng)樣品的直徑可達(dá)到200mm,5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)確保了率的樣品移動(dòng)和觀察。
操作窗口
直觀的操作界面的設(shè)計(jì),簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo),營造率的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí),即可加載已注冊過的設(shè)定。
同時(shí)顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像??赏瑫r(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。
微細(xì)結(jié)構(gòu)測量
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進(jìn)行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像,保存在文件中。
標(biāo)準(zhǔn)的全對中樣品臺,能收錄三維照片
3D Sight(選配件),能夠進(jìn)行平面測量和高度測量,實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析,配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器,一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護(hù)簡便
工廠預(yù)置中心燈絲,十分便于更換。因此,可保持穩(wěn)定的高性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說明。
可信賴的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無活動(dòng)部件,體現(xiàn)了操作穩(wěn)定,維護(hù)簡便的特色。
KYKY-2800系列 | |||||||||
實(shí)用型掃描電子顯微鏡 | |||||||||
項(xiàng)目 | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
分辨率 | 4.5nm(30KV) | ||||||||
放大倍數(shù) | 15x~250,000x | ||||||||
電子槍類型 | 發(fā)叉式鎢絲陰極 | ||||||||
加速電壓 | 0~30KV | ||||||||
透鏡系統(tǒng) | 三級電磁透鏡 | ||||||||
物鏡光闌 | 三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||||||||
樣品臺 | 手動(dòng) | X/Y軸自動(dòng) | 手動(dòng) | X/Y軸自動(dòng) | |||||
行程 | X | 0~50mm(大樣品臺0~80mm) | |||||||
Y | 0~50mm | ||||||||
Z | 0~25mm(大樣品臺0~30mm) | ||||||||
R | 360º | ||||||||
T | ‘-5º ~90º (大樣品0º~90º) | ||||||||
探測器 | 二次電子探測器,背散射電子探測器(可選),X-ray能譜儀(可選) | ||||||||
真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵 | 擴(kuò)散泵 | 分子泵 | 分子泵 |
KYKY-2800 Series | |||||||||
Practical Type SEM | |||||||||
Model | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
Resolution | 4.5nm(30KV) | ||||||||
Magnification | 15x~250,000x | ||||||||
Electron gun | Hair fork tungsten cathode | ||||||||
accel voltage | 0~30KV | ||||||||
Lens System | Level 3 electromagnetic lens | ||||||||
Lens Isis | three diaphragm can be adjusted without vacuum | ||||||||
Stage
| Manual | X/Y axis Automatic | Manual | X/Yaxis Automatic | |||||
Move Range | X | 0~50mm(large stage 0~80mm) | |||||||
Y | 0~50mm | ||||||||
Z | 0~25mm(large stage 0~30mm) | ||||||||
R | 360º | ||||||||
T | ‘-5º ~90º (large stage 0º~90º) | ||||||||
Detector | secondary electron detector ,backscattered electron detector (optional),X-ray Energy Disperse Spectroscopy (optional) | ||||||||
Vacuum system | diffusion pump | diffusion pump | molecular pump | molecular pump |