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重現(xiàn)性

<0.002MM

外形尺寸(L×W×H)

541×460×705mm

解析力標(biāo)準(zhǔn)

0.4um

臺(tái)面大小

460×313mm

位移驅(qū)動(dòng)

0.1um

機(jī)臺(tái)重量

80kg

線性精度

±(2+L/150) um

放大倍數(shù)

15X-100X

精度

±2um

臺(tái)面荷重

36kg

X行程

200mm

測(cè)量速度

500mm/min

Y行程

100mm

CCD

SONY高清晰