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L300N L300ND尼康12寸晶圓專用金相顯微鏡L300N L300ND

尼康12寸晶圓專用金相顯微鏡 L300N L300ND尼康12寸晶圓專用金相顯微鏡L300N L300ND FPD/LSI檢查顯微鏡ECLIPSE L300N 反射專用型ECLIPSE L300ND 透反射兩用型

集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達(dá)到的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的檢查。

最大觀察樣品:ECLIPSE L300D 300 mm硅片; ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。
觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
使用CFI60光學(xué)系統(tǒng),消除耀斑影響,對比度更高,成象更加清晰、明亮;
物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求;
主機(jī)剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;
光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面,使用方便,即使操作也不易產(chǎn)生疲勞;
 
 
 
          L300ND/反射.透射照明兩用型
 

規(guī)格

  ECLIPSE L300N ECLIPSE L300ND
(落射照明型) (透射/落射照明型)
主機(jī)

內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠矗粌?nèi)置用于電動(dòng)控制器的電源

用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動(dòng)控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤?/p>

光圈葉片控制器

 

物鏡轉(zhuǎn)換器:具備物鏡轉(zhuǎn)換器

對中功能的電動(dòng)通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器

          — 反射/透射切換器
調(diào)焦 部分

對焦部:行程29mm

粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對焦機(jī)能)

微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(以um為單位)

反射 照明部

12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置

孔徑光闌(電動(dòng).可調(diào)心)、視場光闌(固定.帶對焦目標(biāo))

可插入小孔光闌滑塊(OPTION)

可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器

觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光

(僅用于L300N/L300ND/L200ND)

透射 照明部          —

12W50W高亮度鹵素?zé)? 照明裝置

內(nèi)置孔徑光闌

內(nèi)置LWD聚光器

接口 USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1
鏡筒

L2-TTA超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒(視角0~30°)

視場數(shù)25、光分光100:0/0:100

L2-TT2A超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒(俯角0~30°)

視場數(shù)25、光分光100:0/20:80

LV-T13正立三目鏡筒

視場數(shù)25、光分光100:0/0:100

目鏡 CFI目鏡
物鏡 CFI60系列物鏡

載物臺(tái)

14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm

(透射觀察范圍:354mmx268mm)

帶粗/微動(dòng)切換功能

微動(dòng)手輪位置固定

防靜電 功能 從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以內(nèi)
耗電 1.2A/90W
尺寸 約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時(shí))

 

尼康12寸晶圓專用金相顯微鏡 L300N L300ND尼康12寸晶圓專用金相顯微鏡L300N L300ND
該公司產(chǎn)品分類: Nikon OGP

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