�x�����c(di��n) ��
Ӌ(j��)��C(j��)ȫ��(sh��)�ֻ����ƣ���������ֱ�^�� ���M(j��n)�R�_(d��)�Ԅ�(d��ng)�M(j��n)��ᘼ⣭����Ʒ�ƽ�����(sh��)�(y��n)�A�M�ɹ��� ��ȶ��Ȝy�������S�@ʾ�� �{�ײ��ϴֲڶȜy�����w�����Ȝy�����ֲ��y(t��ng)Ӌ(j��)�� �����ٶ��S��Ʒ�Ƅ�(d��ng)ƽ�_(t��i)������������Ʒ�^(q��)�� ��(bi��o)��(zh��n)RS232���нӿ�,�o���κ�Ӌ(j��)��C(j��)�� ��Ʒ�^�y������0.001um-20000um�� �����ٶ��_(d��)40000�c(di��n)/�� ���x��{���g����ģ�K�� ���g(sh��)ָ��(bi��o) ��
STM̽�^ ��Ʒ�ߴ磺���С����15mm�� XY�����跶������(bi��o)��(zh��n)6X6�� ���x3��m��3��m,10��m��10��m,20��m��20��m,50��m��50��m,100��m��100��m ����ֱ��ʣ�0.01nm(HOPG����(bi��o)) XY���S��Ʒ�Ƅ�(d��ng)��������mm ��Ʒ-ᘼ������ ���M(j��n)�R�_(d��)�Ԅ�(d��ng)�M(j��n)��ᘼ�-��Ʒ�ƽ�(�Ԅ�(d��ng)���o(h��)ᘼ�) ȫ�������η�������䣨�x�䣩 ���ܸ���ƽ�_(t��i)���x�䣩 ��ӌW(xu��)������ ��
XTZ���� 18-Bit D/A ��(sh��)��(j��)�ɘ� 14-BitA/D��16 Bit A/D��·ͬ���ɘ� Z���� DSP��(sh��)�ַ��� �����ɘ����� 64.0KHz �߉��Ŵ��� ���ɸ߉��\(y��n)��Ŵ��������늉�����+/-150V �l�ʷ��� --- ���ȷ��� --- �������� 21Hz ����Ƕ� 0-360���B�m(x��)���{(di��o) ����ƫ�� ���� �D��ɘ��c(di��n) 256X256��512X512 ���M(j��n)�R�_(d��)���� �ք�(d��ng)���Ԅ�(d��ng)�M(j��n)�� Ӌ(j��)��C(j��)�ӿ� ��(bi��o)��(zh��n)RS232����/USB
ʹ��AFM���ߵ��x�(xi��ng)��pA-STMҲ�����Á��M(j��n)��AFM�yԇ��