HMDS預處理系統(tǒng)
在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關重要的一個工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細的時候,任何一個環(huán)節(jié)有一點紕漏,都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的化合物,這實際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。 最初,人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結合問題,但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預處理系統(tǒng)。
2 HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)點在于:
(1)預處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達多盒的晶片。
(4)更加節(jié)省藥液。實踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多;
(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結構
整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側加熱,采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出,從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程。
它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組成。
人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個控制軟件共分4個部分,即自動運行、手動控制、參數(shù)設定、幫助。
當按下自動運行鍵后,畫面轉換到運行畫面,顯示當前的工藝狀態(tài),運行時間等,同時系統(tǒng)開始運行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達到某高真空度(該值可預設)后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設)后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達到設定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當?shù)竭_設定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數(shù)為設定值,當系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異?牲c擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸:450X450X450
電源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下
材質: 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路: SUS潔凈管
層架; SUS316材質
門內(nèi)板: 鋼化玻璃
流程控制:液晶觸摸屏(臺灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)
加熱方式:腔體外側加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫
精確可靠?販鼐龋1℃,真空室溫度均勻
氮氣裝置:氮氣進入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置,控制有自動閥完成。
HMDS裝置:HMDS藥液進入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶內(nèi)HMDS方式,自動閥控制
真空泵:抽氣速度4升\秒
工作流程:
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達到某高真空度(該值可預設)后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設)后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達到設定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當?shù)竭_設定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數(shù)為設定值,當系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異?牲c擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。
產(chǎn)品自編號: | DH0093 |
產(chǎn)品中文名稱: | 黃芪總黃酮 |
中文別名: |
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英文名: | Total flavonoids from Astragali radix |
CAS登錄號: |
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分子式: |
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分子量: |
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分子結構: |
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外觀: | 粉末 |
規(guī)格: | 20mg/支 |
純度: | ≥90% |
用途: | 用于含量測定/鑒定/藥理實驗等 |
提取來源: |
|
鑒別方法: | NMR,MS |
中國藥典測定方法: | 無 |
貯存條件: | 4℃冷藏、密封、避光 |
有效期: | 2年 |
供貨能力: | 現(xiàn)貨 |
黃芪總黃酮標準品 Total flavonoids from Astragali radix價格 黃芪總黃酮標準品 Total flavonoids from Astragali radix價格
DH0086 | 槐黃醇 | Sophoflavescenol | 216450-65-6 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0087 | 環(huán)巴胺 | Cyclopamine | 4449-51-8 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0088 | 環(huán)孢菌素C | Cyclosporin C | 59787-61-0 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0089 | 環(huán)孢菌素D | Cyclosporin D | 63775-96-2 |
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DH0090 | 環(huán)孢素A | Cyclosporin A | 59865-13-3 | USP級,98% | 250mg/支 |
DH0091 | 黃腐醇 | Xanthohumol | 6754-58-1 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0092 | 黃芪紫檀烷 | 3-Hydroxy-9,10-Dimethoxypterocarpan | 73340-41-7 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0093 | 黃芪總黃酮 | Total flavonoids from Astragali radix |
| HPLC≥90% | 20mg/支 |
DH0094 | 黃楊酮堿 | Buxtamine | 4236-73-1 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0096 | 茴芹內(nèi)酯 | Pimpinellin | 131-12-4 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0097 | 茴香酸對羥基苯乙酯 | Hydroxyphenethylanisate | 87932-34-1 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0098 | 慧花牡荊苷 | Agnuside | 11027-63-7 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0099 | 2'-O-甲基苦參酮 | Kurarinone, 2'-O-methyl- | 270249-38-2 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0100 | 3'-甲氧基葛根素 | Methoxypuerarin, 3'- | 117047-07-1 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DH0101 | 4'-O-甲基補骨脂查耳酮B | 4'-O-Methylbroussochalcone B | 20784-60-5 | HPLC≥99% | 20mg/支 |
DH0102 | 5-O-甲基維斯阿米醇-4'-O-β-D-呋喃芹糖基-(1→6)-β-D-吡喃葡萄糖苷 | 5-O-Methylvisammioside, 6''-O-apiosyl- | 139446-82-5 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0103 | 6-甲氧基二氫血根堿 | 6-Methoxydihydrosanguinarine | 151890-26-5 | HPLC≥99% | 5mg/支 |
DH0104 | 6-甲氧基山柰酚-3-O-蕓香糖苷 | 6-Methoxykaempferol 3-O-rutinoside | 403861-33-6 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0105 | 7-O-甲基白楊素 | 7-O-Methylchrysin | 520-28-5 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0106 | 7-O-甲基蘆薈新甙A | O-Methylaloeresin A, 7- | 329361-25-3 | HPLC≥98.5% | 5mg/支 |
DJ0058 | 7-O-甲基杧果苷 | 7-O-Methylmangiferin | 31002-12-7 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0060 | 吉托皂苷元 | Gitogenin | 511-96-6 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0061 | 蒺藜皂苷D | Terrestrosin D | 179464-23-4 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DJ0062 | 蒺藜皂苷K | Terrestrosin K | 193605-07-1 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DJ0063 | 戟葉馬鞭草苷 | Hastatoside | 50816-24-5 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DJ0066 | 甲基原薯蕷皂苷 | Methylprotodioscin | 54522-52-0 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DJ0067 | 甲氧基香豆素 | Herniarin | 531-59-9 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0068 | 假人參皂苷RT1 | Pseudoginsenoside RT1 | 98474-74-9 | HPLC≥99% | 20mg/支 |
DJ0069 | 降二氫辣椒堿 | Nordihydrocapsaicin | 28789-35-7 | HPLC≥99% | 5mg/支 |
DJ0070 | 焦地黃苯乙醇甙A1 | Jionoside A1 | 120444-60-2 | HPLC≥95% | 5mg/支 |
DJ0071 | 焦地黃苯乙醇甙B1 | Jionoside B1 | 120406-37-3 | HPLC≥97% | 10mg/支 |
DJ0072 | 芥子堿 | Sinapine | 18696-26-9 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0073 | 筋骨草甾酮C | Ajugasterone C | 23044-80-6 | HPLC≥99% | 10mg/支 |
DK0015 | 咖啡酸乙酯 | Ethyl caffeate | 102-37-4 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DK0016 | 咖倫賓;古倫賓 | Columbin | 546-97-4 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DK0017 | 堪非醇-3-O-桑布雙糖苷 | Leucoside | 27661-51-4 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
TA儀器專利的調(diào)制DSC(MDSC)技術,是在傳統(tǒng)的線性變溫程序上疊加一個變溫正弦波,直接的效果就是可以同時測量熱容。采用Fourier 轉換,熱流被分解為比熱相關成份和動力學相關成份,比熱成份為可逆的熱流,動力學成份為不可逆的熱流。熱流信號含有所有的熱轉化信息,與標準DSC的一樣?赡鏌崃髦泻械氖遣AЩD變、熔融等信息;不可逆熱流中含有的信息是動力學的事件,如固化、揮發(fā)、分解等。
主要特點:
1.在不損失靈敏度的前提下,提高解析度 2.檢測弱轉變和熔化時,提高靈敏度 3.將復雜轉變分解為更容易理解的成份 4.直接測量熱容 5.更的結晶測量
更多詳細產(chǎn)品信息,請登錄http://www.tainstruments.com.cn/main.aspx?id=86&n=1&siteid=12
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[ 技術參數(shù) ] |
地址:上海市浦東金橋出口加工區(qū)川橋路1501號1號樓202(申江路口東北角)
郵編:201206
電話:400-668-1092(全國咨詢熱線),,58500913,50343037
傳真:
·公司主頁:http://www.58500843.com 或 http://www.58500843.com高強度直線導軌,超高負荷和精度。
為行業(yè)客戶優(yōu)化之機型。
整體加固的機架和升降機構。
7寸液晶顯示屏。
150*90mm的打標范圍。
可通過電腦USB連接或單片機直接使用。
FIX1706LWZ
GDS-15氣動打標機(單片機或電腦USB連接)詳細功能介紹 | |||||
特別適用 | 一般批量,有一定精度要求,每日加工量≤7000 | 沖擊頻率 | 大于200 Hz | ||
運行系統(tǒng) | 單片機集成打標機系統(tǒng),擁有所有電腦打標機功能。此外也可以使用電腦操作WinXP win7 (通過USB與電腦連接) | 多種字體 | 多種字體可選,可加載 | ||
軟件系統(tǒng) | 工業(yè)標記刻印系統(tǒng)(含:工業(yè)打印系統(tǒng)、圖形編輯器、圖形轉換器、字體編輯器、刻印數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)) | 圖形編輯 | 軟件提供自編輯器 | ||
打印內(nèi)容 | 各種字符、流水號、VIN碼及圖形防偽標記 | 文字編輯 | 同時提供各類標記文字改型編輯 | ||
支持條碼 | 可外接條碼機,打印條形碼 | 圖形轉換 | 軟件提供各類圖形文件轉換方式 | ||
打印范圍 | 150×90mm(可以根據(jù)要求定做) | 數(shù)據(jù)檢索 | 將每天打印內(nèi)容存檔,隨時檢索歷史打印數(shù)據(jù) | ||
旋轉升級 | 可外接旋轉夾具,進行圓弧打標 | 自動記憶 | 自動記憶設定的狀態(tài)、流水號數(shù) | ||
重印精度 | 0.08 mm | 自動對比 | 自動對比流水號、VIN碼,提示重復 | ||
打印深度 | 0.02~0.6 mm 可調(diào)(視材質而定) | 文字定位 | 提供鼠標拖動、方向鍵移動及坐標輸入 | ||
工件硬度 | 〈HRC60(更高硬度換用超硬打印針) | 自動保存 | 自動提示文件保存 | ||
打印速度 | 每秒可達4個字符 (2 mm字高字母或數(shù)字) | 模擬顯示 | 可直接在屏幕上觀察標記效果 | ||
打印方向 | 可選上、下、左、右、及管弧面、扇形 | 運行直觀 | 屏幕顯示即時運行路線 | ||
適用工件 | 各種材質、形狀、尺寸 | 可連續(xù)工作 | >36小時 | ||
輸入方式 | 手工、自動流水號遞增(可設定遞增數(shù)) | 符合標準 | 可打印國家『車輛識別代號管理規(guī)則』中規(guī)定的VIN代碼?勺詣咏y(tǒng)計打印內(nèi)容可滿足ISO9001-9002質量體系認證對產(chǎn)品可標識性、追溯性的要求 | ||
電壓/功率 | 220V 50Hz ±10% 約200 W | ||||
機頭旋轉 | 選裝夾具非標配 | ||||
外包裝 | 紙箱 | 紙箱尺寸 | 700(長)*470(寬)*370(高)(單位:mm) | ||
氣源壓力 | >=0.6 Mpa(實際使用0.2 ~ 0.6 Mpa) | 總 重 | 45 KG | 凈 重 | 35 KG |
工作溫度 | 5~45度 | 價 格 |
GDS-15氣動打標機 主要部件配置表 | ||||
序號 | 子系統(tǒng)名稱 | 規(guī)格型號 | 產(chǎn)地/品牌 | 數(shù)量 |
1 | XY驅動器 | 380 | 雷賽 | 2 |
2 | 控制單片機 | GDS-15 | 菲克蘇自產(chǎn) | 1 |
3 | 電磁閥 | 高頻系列 | 美國MAC | 1 |
4 | XY步進電機 | DM70 | 中德合資百格拉 | 2 |
5 | 濾水調(diào)壓閥 | 亞德客 | 0.1-1MPa | 1 |
6 | 同步帶 | EWB30 | 寧波伏龍 | 2 |
7 | 硬質合金針頭 | 2 ~ 4 mm | 盧森堡CERAMETAL | 2 |
8 | 直線導軌 | 150*90 mm | 臺灣MPI加強型 | 2 |
FIX1706LWZ
產(chǎn)品型號 | 檢測氣體 | 檢測量程 | 分辨率 | 訂貨號 |
FGM-1300S | CO | 0 ~ 1000ppm | 1ppm | 036-0805-C20 |
FGM-1300S | CO | 量程在200 ~ 1000 內(nèi)可設定 | 036-0805-C21 | |
FGM-1300S | H2S | 0 ~ 300ppm | 1ppm | 036-0805-C10 |
FGM-1300S | H2S | 量程在30 ~ 300 內(nèi)可設定 | 036-0805-C11 | |
FGM-1300S | O2 | 0 ~ 30%VOL | 0.1%VOL | 036-0805-C70 |
檢測原理 | 電化學 |
傳感器 | 智能傳感器 |
采樣方式 | 擴散式 |
工作電源 | 9~36VDC |
大功率 | 40mA@24VDC |
輸出信號 | 4~20mA, 可微調(diào) |
負載阻抗 | 600Ω |
其他輸出 | RS485 Modbus,兩級可編程無源繼電器30VDC 2A |
檢測精度 | ±2%F.S. |
響應時間 | <15s |
電氣接口 | 3/4” NPT M |
安裝方式 | 2”立管/ 壁掛安裝 |
顯示方式 | LCD 顯示,四色報警指示燈 |
防護等級 | IP65 |
環(huán)境溫度 | -40℃ ~+60℃ |
環(huán)境濕度 | 0~95% RH( 無凝露) |
環(huán)境壓力 | 86kPa ~106kPa |
外形尺寸 | 188mm×150mm×109mm(HWD) |
殼體材料 | 不銹鋼 |
重量 | 3.5kg |
ATEX | (Ex)II 2G EEx d Ⅱ CT6 |
防爆認證 | Ex d II CT6 DIP A21 TA,T6 |
Hypersil填料是基于粒度為3μm、5μm和10μm, 孔徑為120A 的硅膠為基質的HPLC填料,其生產(chǎn)過程的質量控制標準非常嚴格。全世界數(shù)千個實驗室使用Hypersil色譜柱已長達20多年,很多應用實例可以從多種文獻及雜志上查到。
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報價列表:
名稱 | 規(guī)格型號 | 單位 | 價格 | 產(chǎn)地 |
液相色譜柱 | Hypersil ODS2 150*4.6/5um | 支 | 1493 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil ODS2 200*4.6/5um | 支 | 1544 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil ODS2 250*4.6/5um | 支 | 1596 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil BDS C18 150*4.6/5um | 支 | 1613 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil BDS C18 200*4.6/5um | 支 | 1672 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil BDS C18 250*4.6/5um | 支 | 1786 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil BDS C8 150*4.6/5um | 支 | 1613 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil BDS C8 200*4.6/5um | 支 | 1672 | 大連 |
液相色譜柱 | Hypersil BDS C8 250*4.6/5um | 支 | 1786 | 大連 |
液相色譜柱 | Betasil C18 150*4.6/5um | 支 | 2050 | 大連 |
液相色譜柱 | Betasil C18 200*4.6/5um | 支 | 2100 | 大連 |
液相色譜柱 | Betasil C18 250*4.6/5um | 支 | 2150 | 大連 |
液相色譜柱 | Spherisorb C18 150*4.6/5um | 支 | 2033 | 大連 |
液相色譜柱 | Spherisorb C18 250*4.6/5um | 支 | 2064 | 大連 |
液相色譜柱 | Sino Chrom ODS-AP 150*4.6/5um | 支 | 1340 | 大連 |
液相色譜柱 | Sino Chrom ODS-AP 250*4.6/5um | 支 | 1440 | 大連 |
液相色譜柱 | SinoChrom ODS-BP 150*4.6/5um | 支 | 1340 | 大連 |
液相色譜柱 | SinoChrom ODS-BP 200*4.6/5um | 支 | 1390 | 大連 |
液相色譜柱 | SinoChrom ODS-BP 250*4.6/5um | 支 | 1440 | 大連 |
液相色譜柱 | Lichrosorb RP-18 150*4.6/5 | 支 | 1847 | 大連 |
液相色譜柱 | Lichrosorb RP-18 200*4.6/5 | 支 | 1978 | 大連 |
液相色譜柱 | Lichrosorb RP-18 250*4.6/5 | 支 | 2099 | 大連 |
凝膠色譜柱 | Sephadex G-10 10*300 | 支 | 3610 | 大連 |
凝膠色譜柱 | Sephadex G-10 10*400 | 支 | 5800 | 大連 |
凝膠色譜柱 | Sephadex G-10 15*300 | 支 | 5800 | 大連 |
液相色譜柱 | Sephadex G-10 15*400 | 支 | 6400 | 大連 |
液相色譜柱 | YWG C18 150*4.6/10um | 支 | 760 | 大連 |
液相色譜柱 | YWG C18 250*4.6/10um | 支 | 918 | 大連 |
氨基酸專用柱 | 支 | 4420 | 大連 |