`★老化試驗箱/精密烤箱`★
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產(chǎn)品名稱:精密烤箱(高溫試驗箱)
產(chǎn)品型號:GT-TK-72 | GT-TK-137 | GT-TK-234
產(chǎn)品簡介:GT-TK系列精密烤箱主要是針對各種電子、塑膠、金屬.....產(chǎn)品的耐高溫性能測試。本產(chǎn)品采用特殊設計之強制循環(huán)送風系統(tǒng),可靠保證工作溫度分布均勻度。采用高效壓縮玻璃棉,保溫效果易顯著。另有其它工業(yè)烤箱,100級無塵烤箱等供選擇。溫度范圍 室溫~200℃(300℃)溫度穩(wěn)定度 ±0. 5℃溫度分布均勻度 ±2℃升溫時間 200℃約需50min精密烤箱的內/外箱材質 SUS 304#不銹鋼外箱:鋼板烤漆A:內膽為鏡面不銹鋼保溫材質 高效壓縮玻璃棉保溫裝置 無熔絲開關,超溫保護開關,瓷質保險絲配件 可調隔層板2-6件消耗電力 3.0 3.0 4.2 5.1 6.0 7.0 8.0 9.0電源 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%溫度表 日本名廠“SHTIMADEN”PID配SSR輸出,風機延時斷電功能可另購配程式控制時間計 999小時跳字顯示保險裝置 第一次超溫報警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護,溫度自整定電熱 鰭片式散熱管形電熱管運風系統(tǒng) 強制送風循環(huán)系統(tǒng)及特別設計出風口,溫度分布均勻度特佳排氣煙道 葉片式設計可調出風量控制形成 溫度到達設定溫度后自動打開時間計,時間到達后切斷發(fā)熱電源,蜂鳴提示測試標準 GB5170.2-1996
以上為標準機型的參數(shù),如果您有特殊要求,我們會按照您的要求給您設計最適合的方案。
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高天試驗設備有限公司
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簡介
東莞美泰科檢測設備專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的精密高溫烤箱是采用微電腦電子數(shù)字操控方式,精密準確,穩(wěn)定可靠;箱體絕熱packing以silicone成型,耐高溫,永不老化。用途:用于工廠、科學研究及企業(yè)事業(yè)單位之中,主要用來對各種物品(試品)進行烘焙、干燥及其它加熱作用,如變壓器鐵芯或線圈的烘干、電機定子或轉 子繞組的烘干、電焊條焊前預熱、鑄造砂型烘千、噴漆電柜和零件烘干等。
精密高溫烤箱技術指標
控制系統(tǒng)(溫到計時、 時到停機、蜂鳴器提示)
1、溫度控制器:采用LED雙數(shù)顯示按鍵型PID控溫儀表2、控制器規(guī)格:精度 溫度:±0.3%1digit F.S3、分辨率:溫度:±0.1. 4、具有上下限待機及警報功能
精密高溫烤箱特點
1、采用進口微電腦數(shù)字LED顯示溫度控制器,P、I、D+SSR控制,確保溫度控制穩(wěn)定性;2、控制形式:溫度達到設定值后自動打開記時器,當時間到達后切斷發(fā)熱器、運風馬達電源,蜂鳴器發(fā)出結束報警;3、外箱為1.2mm冷軋板經(jīng)噴粉處理,內箱采用不銹鋼板制作;4、烤箱內部為分層式、推車式、懸掛式供選擇;5、多種運風方式:水平式、上下式、左右式、組合式供不同行業(yè)選擇;6、高效鱗片式不銹鋼發(fā)熱器,發(fā)熱效果好,升溫迅速;7、高效硅酸巖棉進口保溫棉,保溫效果特佳,節(jié)能省電比普通烤箱節(jié)省30%電費;8、雙門箱、臺灣防爆門鎖,合頁特殊定制,經(jīng)久耐用,不易斷裂;9、進口耐高溫硅膠密封條經(jīng)久耐用; 10、特殊風道設計,臺灣進口電機,噪聲小,風力強,溫度分布均勻性特佳;11、功能:自動加熱----自動恒溫----時間到自動報警
(東莞美泰科http://www.mentopins.com/hengwen/kx/155.html)
產(chǎn)品用途:
烘箱為各種材料提供預熱干燥,質變等物理、化學變化需要的穩(wěn)定可靠的試驗空間溫度環(huán)境,可廣泛應用于橡塑料、膠粘劑帶、食品制藥、日用化工等行業(yè)。
特點:
1. 操作手續(xù)簡便,溫度均勻度佳;
2. 箱門為雙層鋼化玻璃結構,能清晰觀察箱內的試驗物品;
3. 超溫保護、超負載自動斷電;
技術參數(shù):
型號:A:72A B:150A; C:270A; D:480A; E:1008A; F:1800A(注:T代表烘箱,A表200℃,72代表容積)
內箱尺寸(長X寬X高)mm:A:40×40×45; B:50×50×60; C:60×90×50; D:80×100×60; E:140×120×60; F:160×140×80
溫度范圍 :200℃
分布精度 :±1%(1℃)At-room 100℃ ;
控制方式 :P.I.D自動溫度演算
加熱方式 :熱風循環(huán)系統(tǒng)
溫度分析 :0.1℃單位顯示
制造材質 :內部SUS#304不銹鋼,外部高級烤漆
附件 :雙重超溫保護及2片棚板
時間設定 :0~9999小時(分鐘)停電記憶型
安全保護 :獨立超溫保護,安全超載開關
電源電壓:AC220V/50HZ 單相
概述:
NLG-L系列高溫烘箱主要用于工礦企業(yè)、科研單位、化驗室等域。通過控制箱內的溫度對產(chǎn)品試件進行加熱處理,是塑膠固化、金屬預熱、熱工藝處理環(huán)節(jié)中不可缺少的設備。
NLGL系列高溫烘箱外殼采用冷軋鋼板,表面采用靜電噴涂,內膽采用優(yōu)質不銹鋼板制作。當發(fā)生超溫故障時,能自動切斷加熱系統(tǒng)電源,起到保護作用。
NLG-L高溫烘箱選型表
常規(guī)型號 | NLG | |||||||
27L | 72L | 137L | 234L | 640L | 1ML | |||
內部尺寸 | 深mm | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 | 1000 | |
寬mm | 300 | 450 | 550 | 650 | 800 | 1000 | ||
高mm | 300 | 400 | 500 | 600 | 1000 | 1000 | ||
外部尺寸 | 深mm | 500 | 600 | 700 | 800 | 1000 | 1200 | |
寬mm | 800 | 950 | 1050 | 1150 | 1350 | 1350 | ||
高mm | 550 | 650 | 750 | 850 | 1250 | 1300 | ||
性能指標 | 溫度范圍 | RT+10~300℃ | ||||||
溫度指標 | 波動度≤1℃,溫度均勻度≤±2.5% | |||||||
升溫時間 | RT~200℃≤45min | |||||||
結構材質 | 外殼材質 | 冷軋鋼板靜電噴粉(白色) | ||||||
內膽材質 | 不銹鋼板 | |||||||
保溫材質 | 硬質聚氨酯發(fā)泡+超細玻璃纖維 | |||||||
控制系統(tǒng) | 加熱方式 | 合金電加熱器 | ||||||
內部循環(huán) | 長軸電機傳動箱內風葉進行強制鼓風循環(huán) | |||||||
冷卻方式 | 停止加熱自然冷卻方式 | |||||||
觀察窗 | 200×200mm(寬×高) | 300×500mm(寬×高) | ||||||
測試孔 | Ø50mm | Ø100mm | ||||||
數(shù)據(jù)儲存與擴展接口 | 可選SD卡、RS485、USB | |||||||
裝機功率 | Kw | 1.5 | 2 | 2.5 | 4 | 5.5 | 8 | |
電源要求 | 220\380V±10%,50HZ±1,三相四線+接地線,保護接地電阻<4Ω | |||||||
環(huán)境條件 | 使用條件 | 5~40℃、相對濕度≤85%R.H時,可滿足全部指標 | ||||||
滿足標準 | JB/T5520-91 | |||||||
聲明: 1. 除以上所列規(guī)格外,可根據(jù)用戶要求進行非標準產(chǎn)品設計、制造。 2. 因產(chǎn)品更新導致的參數(shù)、外觀更改,恕不另行通知。 | ||||||||
型 號 | GLPO-072 | GLPO-270 | GLPO-480 | GLPO-600 | GLPO-720 | ||
內箱尺寸(mm) | 450×400×400 | 600×900×500 | 800×1000×600 | 1000×1000×600 | 1200×1000×600 | ||
外箱尺寸(mm) | 870×1200×550 | 1050×1650×740 | 1200×1700×840 | 1400×1750×840 | 1750×1750×840 | ||
溫度范圍 | 室溫+10℃~+200℃(300℃) | ||||||
性 能 | 溫度波動度 | ±0.3℃ | |||||
溫度均勻度 | ±0.1℃ AT 200℃;±1.5%AT300℃ | ||||||
解析精度 | 0.1℃/1℃ | ||||||
升溫時間 | 100℃/30min | ||||||
材 料 | 外箱材料 | 冷軋鋼板+烤漆 | |||||
內箱材料 | SUS#304不銹鋼鋼板 | ||||||
隔熱材料 | 玻璃棉 | ||||||
系 統(tǒng) | 循環(huán)系統(tǒng) | 圓形風扇 | |||||
加熱系統(tǒng) | 鉻鋼條線加熱器 | ||||||
控制系統(tǒng) | 電機數(shù)字控制+ S.S.R. | ||||||
開門方式 | 單門 | 雙門 | |||||
附 件 | 環(huán)境控制指示燈亮, 托盤(2個)。 | ||||||
保護裝置 | 過熱保護斷路器, 控制系統(tǒng),故障指示燈。 | ||||||
電 源 | AC 1Ψ 220V ; 3Ψ 380V 60/50Hz
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1.保修一年,終身服務;2.免費在買方現(xiàn)場安裝、調試、培訓;3.從設備驗收后,廣東省內8小時內到達現(xiàn)場服務;廣東省外2個工作日內,到達現(xiàn)場為用戶解決問題。4.質保期內:如屬正常操作,造成某部件損壞,供方可免費更換某部件。如果在3個月內出現(xiàn)嚴重質量問題,我公司可無條件換相同型號的新機。5.質保期后:如屬正常操作,某部件、零件損壞,需要更換,只收取成本費。6.可以提供全面的技術培訓,對設備維護、零配件供應及其他方面要提供及時完善的售后服務。
>>應用領域
該儀器也叫”數(shù)顯鼓風干燥箱“,”高溫烘箱“,”高溫老化箱“。廣泛應用于化驗室,實驗室,電子通訊,塑料,電纜,電鍍,五金,光電,塑膠制品,模具,鞋材,噴涂,印刷,醫(yī)療,航天及高等院校等行業(yè)。
>>產(chǎn)品尺寸
(下列尺寸僅供參考,可根據(jù)用戶要求訂制)
>>設計標準
1、JB 20033-2004
2、JB/T 5520-1991
3、JB/T 9505-1999
>>技術參數(shù)
1、溫度范圍:常溫~200℃or300℃
2、精度:±1% 電熱管:3KW,4KW
3、馬達:1/4HP
4、電源:1∮,AC 220V,14.5A;1∮,AC 220V,19A
5、干燥箱材質:內膽為碳鋼/不銹鋼,外箱為鋼板噴涂表面
6、溫度設定方式:指針式可調
>>儀器特點
1、試驗箱設計完美,箱體采用數(shù)控機床加工成型,操作容易;
2、設有雙層玻璃觀察窗,供觀察工作室狀況之用;
3、內膽為優(yōu)質鏡面不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀;
4、電路系統(tǒng)側采用門式開啟,方便維護和檢修;
5、送風循環(huán)系統(tǒng)采用低噪音、長壽命、空調型美國進口風機,風輪為多翼式離心風葉。熱風循環(huán)系統(tǒng)由能在高溫下連續(xù)運轉的風機和合適的風道組成。工作室內溫度均勻。
>>華測實力
1、華測經(jīng)過多年發(fā)展,在造紙、紙品、印刷、包裝以及材料檢測設備研發(fā)和生產(chǎn)中擁有非常成熟的技術,并且在造紙/紙品/印刷等多個領域中獲國家專利,產(chǎn)品質量有保障。
2、我司有專業(yè)的售前工程師,在您購買產(chǎn)品之前會根據(jù)您的需求修改訂制方案,針對您產(chǎn)品的需求進行訂制化生產(chǎn)。
3、我們有完善的售后機制,從安裝,培訓、到維修各個環(huán)節(jié),包括您使用的人員離職后可以進行二次培訓,確保您購買我司產(chǎn)品無后顧之憂!
4、用戶認可度高,我司擁有15年生產(chǎn)研發(fā)經(jīng)驗,自行研發(fā),獲得多個國家標準,產(chǎn)品暢銷國內外,我們不僅為您提供高品質,高性價比的產(chǎn)品,而且由資深工程師為您全程跟進,買儀器選華測,由我司為您帶來的價值遠超同行的購物體驗。
注:需了解此產(chǎn)品的價格,報價,參數(shù),廠家等更多詳情可咨詢電話:0553-8352789 公司網(wǎng)站:http://www.huaceyiqi.cn
HMDS預處理系統(tǒng)
在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關重要的一個工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細的時候,任何一個環(huán)節(jié)有一點紕漏,都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的化合物,這實際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。 最初,人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結合問題,但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預處理系統(tǒng)。
2 HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)點在于:
(1)預處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達多盒的晶片。
(4)更加節(jié)省藥液。實踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多;
(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結構
整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側加熱,采用人工智能PID調節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制,調節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出,從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程。
它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組成。
人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個控制軟件共分4個部分,即自動運行、手動控制、參數(shù)設定、幫助。
當按下自動運行鍵后,畫面轉換到運行畫面,顯示當前的工藝狀態(tài),運行時間等,同時系統(tǒng)開始運行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內真空度達到某高真空度(該值可預設)后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設)后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達到設定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當?shù)竭_設定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數(shù)為設定值,當系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異?牲c擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內部尺寸:450X450X450
電源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下
材質: 內部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路: SUS潔凈管
層架; SUS316材質
門內板: 鋼化玻璃
流程控制:液晶觸摸屏(臺灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)
加熱方式:腔體外側加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫
精確可靠?販鼐龋1℃,真空室溫度均勻
氮氣裝置:氮氣進入箱內有調壓裝置,控制有自動閥完成。
HMDS裝置:HMDS藥液進入箱內采用壓力差吸取瓶內HMDS方式,自動閥控制
真空泵:抽氣速度4升\秒
工作流程:
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內真空度達到某高真空度(該值可預設)后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設)后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達到設定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當?shù)竭_設定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數(shù)為設定值,當系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異?牲c擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。
電熱恒溫干燥箱規(guī)格尺寸(高*寬*深 單位:mm)
型號:DY-16A 內尺寸:350*350*350 外尺寸:440*480*390 功率:0.8KW型號:DY-40A 內尺寸:350*350*350 外尺寸:540*580*490 功率:1.2KW型號:DY-70A 內尺寸:450*450*350 外尺寸:680*680*490 功率:2.0KW型號:DY-136A 內尺寸:550*550*450 外尺寸:820*840*670 功率:2.4KW型號:DY-225A 內尺寸:750*600*500 外尺寸:1020*890*720 功率:3.5KW型號:DY-640A 內尺寸:1000*800*800 外尺寸:1330*1150*1020 功率:6.0KW型號:DY-960A 內尺寸:1200*1000*800 外尺寸:1500*1330*1090 功率:9.0KW
產(chǎn)品名稱:電熱恒溫干燥箱/恒溫箱溫控范圍:室溫+10~290℃;控制精度:±1℃溫度波動度:±1℃溫 控 器:LED 數(shù)顯、智能溫控器;箱體材質:內鍍鋅板、外鐵板噴漆;加熱部件:底部發(fā)熱絲加熱,兩組加熱并可分別控制(16L的僅一組);熱 電 偶:PT100 鉑電阻 ;定時功能:0~999 分鐘;熱風循環(huán):空氣經(jīng)風機從底部抽進風道,在左側邊吹出(16L的不帶鼓風);標配層架:1塊網(wǎng)架。注:易燃、易爆、有液體流下物品不能烘烤。⊙保 固 期:保固一年.⊙注意事項:(機器周圍環(huán)境溫度維持在+5~+30℃之間,貴廠自行負責配至機器設備旁邊)產(chǎn)品特點:1、箱體內均采用鍍鋅板或不銹剛制作而成,箱體外觀鐵膽噴漆,造型美觀、新穎。2、采用具有超溫偏差保護、數(shù)字顯示的微電腦P.I.D溫度控制器,帶有定時功能,溫度精確可靠。3、熱風循環(huán)系統(tǒng)由能在高溫下連續(xù)運轉的風機和合適風道組成,提高工作室內溫度均勻。4、采用新型的合成硅密封條,能長期高溫運行,使用壽命長,便于更換。5、可以從控溫面板上調節(jié)箱內進風和排氣量大小。6、獨立限溫報警系統(tǒng),超過限制溫度即自動恒溫,保證實驗安全運行不發(fā)生意外。