一、概述 |
hfs系列水流開(kāi)關(guān)采用靶式傳感器,可用于水,冷卻系統(tǒng)或其它流體回路?刂破鞯脑O(shè)定值可調(diào)。 |
二、技術(shù)參數(shù) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
注:1-序號(hào)6~14為參考規(guī)格 2-設(shè)定值為下切換值 |
三、電氣性能 | |||
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四、壓力損失特性 |
五、外形及安裝尺寸 |
六、安裝 | |||||||
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序號(hào) | 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
DSN—① | DSN—② | ||
1 | 流量范圍 | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM; 0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM; | |
2 | 度(%FS) | ±2%FS | ±1%FS |
3 | 線性(%FS) | ±(0.5~2)%F.S | ±(0.5~1)%FS |
4 | 重復(fù)精度(%FS) | ±0.2%FS | |
5 | 響應(yīng)時(shí)間(sec) | 電特性:<10;氣特性:<1~4 | |
6 | 工作壓差范圍(MPa) | 0.05~0.3 | |
7 | 耐壓(MPa) | 3,10 | |
8 | 工作環(huán)境溫度(℃) | 5~45 | |
9 | 輸入輸出信號(hào)電壓 | 0~+5.00V | |
10 | 電源 | +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
11 | 外形尺寸(mm) | 130*28*121 | |
12 | 重量約(kg) | 1.0 |
1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值?焖、可重復(fù)、穩(wěn)定!
2、操作便捷
? 50-100毫控制響應(yīng)
? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門(mén)孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對(duì)壓力
? 瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱:1內(nèi)即可開(kāi)始流量控制
三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標(biāo)準(zhǔn)系列
全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門(mén)為全球無(wú)摩擦閥門(mén),可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門(mén)。
MCW / MCRW 低壓損系列
限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列
可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門(mén)設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,門(mén)用于真空應(yīng)用?啥ㄖ葡鄳(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量?啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128%(過(guò)流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(hào)(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A) |
產(chǎn)品規(guī)格 | MC | 測(cè)量單位 |
量程范圍 | 0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500,800 | (S)CCM |
1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,1500 | (S)LPM | |
精度等級(jí) | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) | 滿量程 |
重復(fù)性 | ±0.5% | 滿量程 |
量程比 | 100:1 | |
響應(yīng)時(shí)間 | 100 | 毫秒 |
壓降 | - | 與廠家商議 |
操作溫度 | -10~50 | ℃ |
零點(diǎn)漂移 | 0.02%/ATM | 滿量程/℃ |
范圍漂移 | 0.02%/ATM | 滿量程/℃ |
濕度量程 | 0-100% | 無(wú)冷凝 |
過(guò)流率 | 2.4% | 滿量程 |
最大耐壓 | 125 | PSIG |
供應(yīng)電流 | 當(dāng)流量≤20LPM時(shí): 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí): 1 | 安培 |
電源電壓 | 當(dāng)流量≤20LPM時(shí):12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí):24-30VDC | |
輸入/輸出 | 0-5VDC,0-10VDC,4-20mA,RS-232 | VDC |
電氣連接 | 8針或可選的工業(yè)連接插頭 | 小型圓插頭 DIN |
機(jī)械連接 | 1/8"接口:流量≤20(S)LPM 閥門(mén)側(cè)1/2"接口,流量計(jì)側(cè)1/4"接口:當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口:當(dāng)流量為250~1000(S)LPM 1"接口:當(dāng)流量>1000(S)LPM | NPTF |
接液部件 | 303和302不銹鋼,Viton®,RTV硅樹(shù)脂,玻璃纖維增強(qiáng)尼龍,陽(yáng)極氧化鋁,410&304不銹鋼,鎳,銅,Delrin®,Loctite®粘劑326,401,609 |
流量范圍 | 高度 | 長(zhǎng)度 | 深度 | 流量計(jì)接口 | 閥門(mén)接口 |
≤20(S)LPM | 4.08" | 3.5" | 1.56" | 1/8" NPT(F) | 1/8" NPT(F) |
20~50(S)LPM | 4.600" | ~5.7" | 2.0" | 1/4" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
50~100(S)LPM | 4.727" | ~6.6" | 2.0" | 1/4" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
100~1000(S)LPM | 5.242" | ~6.6" | 2.0" | 1/2" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |