采用定電位電解式傳感器,對(duì)被測氣體具有選擇性
· 高檢測靈敏度 · 能檢測很多種類的半導(dǎo)體特氣 · 液晶數(shù)字顯示規(guī)格: 型號(hào) | XD-303AH | XD-303PH | XD-303BH | XD-303 |
檢測對(duì)象氣體 | 砷烷 (ASH3) | 磷烷 (PH3) | 乙(B2H6) | 其它 |
檢測范圍 | 0~1ppm 0~0.2ppm | 0~1ppm 0~0.3ppm | 0~1ppm | 因規(guī)格而異 |
最小刻度 | 0.1ppm0.01ppm | 0.1ppm0.01ppm | 0.1ppm | |
采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 |
應(yīng)答速度 | 60%應(yīng)答40秒 |