型號:SFT-110
測量元素:原子序號22(Ti)~83(Bi) X射線源:空冷式小型X射線管 檢測器:比例計(jì)數(shù)管 準(zhǔn)直器:○型: 0.1mmφ、0.2mmφ 2種 樣品觀察:CCD攝像頭(可進(jìn)行廣域觀察) 對焦:激光點(diǎn)(自動(dòng)) 濾波器:一次濾波器: 自動(dòng)切換 樣品臺(臺式尺寸): 500(W) x400(D) x 150(H)mm (移動(dòng)量):X:250mm, Y:200mm 操作部:電腦、19寸液晶 測量軟件:薄膜FP法 (最多5層膜、10種元素)、標(biāo)準(zhǔn)曲線法 數(shù)據(jù)處理:配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word 安全機(jī)構(gòu):樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能
配備自動(dòng)定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110],使操作性進(jìn)一步提高。 對半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測量管理,可產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來,已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺,得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。 為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測量需求,精工開發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動(dòng)定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺上,就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進(jìn)行自動(dòng)對焦。由此,無需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對焦的操作,大大提高了樣品測量的操作性。 近年來,隨著檢測零件的微小化,對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且,配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測量,可對應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
特點(diǎn) 即放即測! 通過自動(dòng)定位功能,放置樣品后僅需幾秒,便能自動(dòng)對準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。 10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量! 以的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度。 無標(biāo)樣測量! 將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。 通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測量位置! 通過廣域觀察系統(tǒng),能夠從畫面上的樣品整體圖(最大250×200mm)中方便地指定測量位置
概述:
即放即測;10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量;
可無標(biāo)樣測量;通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置!
主要特點(diǎn):
1.通過自動(dòng)定位功能提高操作性 測量樣品時(shí),以往需花費(fèi)約10秒的樣品對焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大
提高樣品定位的操作性。 2.微區(qū)膜厚測量精度提高 通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅
度提高膜厚測量的精度。 3.多達(dá)5層的多鍍層測量 使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測量。 4.廣域觀察系統(tǒng)(選配) 可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。 5.對應(yīng)大型印刷線路板(選配) 可對600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測量。 6.低價(jià)位 與以往機(jī)型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。
產(chǎn)品規(guī)格:
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概述:
是利用熒光X射線原理的鍍膜厚度測量計(jì)。SFT系列是本公司標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型。有適用小型部件的SFT9200、
有適用大型印刷基板的SFT9255。防止樣品和儀器裝備結(jié)構(gòu)不吻合的功能是本系列的標(biāo)準(zhǔn)裝備。
主要特點(diǎn):
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