�x�����c�� Ӌ��Cȫ��(sh��)�ֻ���������������ֱ�^�� ���M�R�_�Ԅ��M��ᘼ⣭����Ʒ�ƽ������A�M�ɹ��� ��ȶ��Ȝy�������S�@ʾ�� �{�ײ��ϴֲڶȜy�����w�����Ȝy�����ֲ��y(t��ng)Ӌ�� �����ٶ��S��Ʒ�Ƅ�ƽ�_������������Ʒ�^(q��)�� �˜�RS232���нӿ�,�o���κ�Ӌ��C�� ��Ʒ�^�y������0.001um-20000um�� �����ٶ��_40000�c/�� ���x��{���g����ģ�K�� ���g(sh��)ָ�� ��
AFM̽�^ ��Ʒ�ߴ磺ֱ��С����30mm�����С����15mm�� XY�����跶�����˜�6X6�� 0.25nm 0.03nm(��ĸ����) XY���S��Ʒ�Ƅӷ�������mm������0.5�� ��������ᘼ��������R�e 44-283X�B�m(x��)׃����ɫCCD�@�^��ϵ�y(t��ng)(�x��) AFM늻��Wᘼ�K��Һ늳���Һ�w�p��ʽ�����ܣ��x�䣩 ȫ�������η��������/���ܸ���ƽ�_���xُ�� ��ӌW�������� XTZ���� 18-Bit D/A ��(sh��)��(j��)�ɘ� 14-BitA/D��16 Bit A/D��·ͬ���ɘ� Z���� DSP��(sh��)�ַ��� �����ɘ����� 64.0KHz �߉��Ŵ��� ���ɸ߉��\��Ŵ��������늉�����+/-150V �l�ʷ��� --- ���ȷ��� --- �������� 21Hz ����Ƕ� 0-360�� ����ƫ�� ���� �D��ɘ��c 256X256��512X512 ���M�R�_���� �քӺ��Ԅ��M�� Ӌ��C�ӿ� �˜�RS232����/USB
Dimension Icon ϵ�����鲼���˹�˾��Bruker AXS�� ԭ�����@�R����Ş�a(ch��n)Ʒ�������˶�헵Č������g(sh��)���Ƕ�ʮ���꼼�g(sh��)��(chu��ng)�¡��͑��������ИI(y��)��(y��ng)�õĽY(ji��)���� Dimension Icon �ij��F(xi��n)��ƌW���I(y��)���ڼ{�׳߶ȵ��о������˸����Ե�֮����Dimension Icon ���Ԍ��F(xi��n)������Ҫ�Ē���̽ᘳ����g(sh��)����yԇ��Ʒ�ߴ���_��ֱ��210mm�����15mm���ض��a��λ�Â�����ʹZ-�S��X-Y�S�������քe�����ځ�-�����Ͱ���ˮƽ�����ʬF(xi��n)��ǰ��δ�еĸ߷ֱ��ʡ����ڴ��Ʒ��90�ג��跶����ϵ�y(t��ng)���f���@�N����ˮƽ��Խ�����е��_�h(hu��n)����߷ֱ��ʵ�ԭ�����@�R����XYZ�]�h(hu��n)�����^�ڲ��pʧ�D���|(zh��)����ǰ���´������˒����ٶ���̽ᘺ͘�Ʒ�_���_��ʽ�O(sh��)Ӌʹ Icon �Ʉ��θ��N�˜ʺͷǘ˜ʵČ�
XY�(q��)�ӷֱ��ʣ�24λ������0.06Am��
Z�(q��)�ӷֱ��ʣ�24λ������0.006Am��
������ɼ�������658nm���L������С��1mw��
���s�_�ĽY(ji��)��(g��u)���������g(sh��)��
�Ќ�������s�Ŵ��_�A�ҵ������������S������ԭ���_�A�����ӷֱ��ʣ�ֱ��100µm������
����ֱ���X-Y��0.06nm��Z��0.006nm�� ������մɹ��ǘ����������s�й�Ч����
���ܻ�AFM
a. ����������ɼ�����
b.����������������늉��(q��)�Ӊ�늒�������
c.24λDAC���ƣ����ܿ���
d.���100µm���裨Z����9µM ��
e.�߷ֱ��ʵĴ�������
�������������Ϳ�����+24λ����+��s�_�A���������g(sh��)��=�����ĵ�������·=һ�wʽ�����������������߷ֱ������ҟo����Q��������
�Ԅ��O(sh��)�ú��Ԅ��_�P(gu��n)
1.�Ԅ��{(di��o)�C�����i�ࣨAC�͆�ͨKFMģʽ��
2.�Ԅ��O(sh��)�����ϵ�y(t��ng)���o��ʹ�����B����|��ģ�K��
3.픲��͂�(c��)��ҕ�D��̽�-��Ʒڅ������- >����ײᘣ�
4.ֱ�^��ܛ�����A(y��)�����õ�AFMģʽ
�����RȫAFM
����ʹ�ã�픲��͂�(c��)���ҕ�D��ֱ�^��ܛ�����|�������ƣ�
���_100µm�������裨Z����9µM��
�߷ֱ���
�����i�ࣨ���`���ȣ�
24���
��ģʽ
���|/Ħ��&��ʎģʽ/��λ
Conductive AFM����(d��o)�AFM��
PFM (���푑�(y��ng))
MFM/EFM������/�o�����
���{(di��o)��
�m���ڲ�ͬ�h(hu��n)�����挍�O(sh��)Ӌ
EZ�ض� : �ضȿ��ƣ����_200°
���ډ�����������M�и���(w��n)���ļӟ���x����Ư�ƣ�
�c��������Һ�wģʽ�������ģʽ(KFM,CAFM, ResiScope…) �����
�����ƣ����w�͝�ȣ�
���̽�y���ͼ����������w�ⲿ����ȿ��Ʋ��������Ӽ��p����
���̽�y���ͼ����������������R������һ���������Q- >�]�к��ӣ�
���Ϳ����O(sh��)��
�c늚�y��ģʽ����ѵļ���(KFM, ResiScope…)
EZҺ�w��Һ�w�y��
��늱��o
���������ʣ���������픲�ҕ�l�ڿ՚��Ќ��ʼ��⣩
�dz���(w��n)����“��ʎģʽ”�ěQ����
����ʹ���Ҹ��ɹ���ԭ�����@�R�y����
��y��
�ֲ��ӟᣨ̽ᘣ�
���y��
��ѵ�늚�ģ�K
HD-KFM :
���Ј�������õķֱ��ʺ��`���ȣ����õ��㷨������(j��)��ͬ��Ʒ�ЃɷNģʽ�����õ��i���`����…��
����ʹ�ã��Ԅ��{(di��o)�������㷨���o�轛(j��ng)
ResiScope :
10����(sh��)����-��100Ω~1TΩ֮�g�����������ֻ���w��7����(sh��)������
�^�͵��������(j��ng)̽�/��Ʒ�������ֲ�������������������p��̽�/��Ʒ��
ͬ�r����ACģʽ�����EFM/MFM ģʽ����HD-KFM ģʽ���Ҳ����κ�׃�ӻ�Gʧ��Ʒ��λ����
Soft-ResiScope :
��ResiScopeһ������Ȼ��10����(sh��)���������Sܛ�Ԙ�Ʒ�����������/����y����
CSIԭ�����@�R��(y��ng)���I(l��ng)��
���팍��ң����ϣ��߷��Ӿۺ�����늚����ԣ��ň�������I(l��ng)��…
���W����ң�������ӻ�M����̫���늳���늳أ��ۺ�����늻��W
�댧(d��o)�w���о����аl(f��)
����;�Ñ��磺���W�����+������
����a(ch��n)Ʒ www.labandmore.com
̽�Ʒ��
www.nanoworld.com
�a(ch��n)Ʒ����
ȫ����ʹ����V�������ڱ���õ�SPM��AFM̽ᘣ����m�������е�����SPM��AFM�O(sh��)���� �����b��νM10���ĸ�Ʒ�|(zh��)���g�Ĺ�̽����������p��ģʽ™ ���ӑB(t��i)ģʽ�������ǽ��|ģʽ�z�y�� ���е�̽ᘾ����ИI(y��)�˜ʵĹ�SPM��AFM̽ᘣ������ڸ��`���Ⱥ߷ֱ��ʳ����m���ڸ��N��Ʒ��͵��p��ģʽ���ӑB(t��i)ģʽ��՚��еķǽ��|ģʽ�z�y��
Pointprobe®ϵ�е�����SPM��AFM̽ᘶ����ɸߓ��s�Ĺ�Ƭ�Ƴ� ���@�N̽ᘲ��Ͽ�����ɢ�o��������л��W���ԣ�߀���ṩ���`�� �ȵĸߙCеQ������
ԓ̽��ṩ���������ԣ�- ᘼ����ʰ돽 < 8 nm- �ߓ��s��ɢ�o늺�- �ұ۱�����X- �ߙCеƷ�|(zh��)��(sh��)�_�����`����
̽�僌�
�ұ۱�����X
̽ᘅ���(sh��)
ᘼ�:
shape:Rotated(symmetric) height:10 - 15 µm radius:8nm
�ұ���:
shape:rectangular
length:125 µm (115 - 135 µm)*
width:28 µm (30 - 42 µm)*
thickness:4 µm (3.5 - 4.5 µm)*
force constant:40 N/m (20 - 80 N/m)*
resonance frequency:300 kHz (200 - 400 kHz)*
ԭ�����@�R
���w����x(Crystal Scanner TM)������PNI��˾�_�l(f��)��һ�N�·f�Ē���x��ʹ��ԓ����x���o��֪����������̽��@�W(SPM)֪�R����ʿ��ɫ@�ü{��������ò�������w����x�ĺ�����һ�N���͵ğo���(f��)�s��·�{(di��o)��(Alignment)�^�̵��������������܉��M�м{�Y(ji��)��(g��u)�ij���ͷ����� ʹ���b�о��w����x��Nano-R TMԭ�����@�R(AFM)�����̎��ͿƌW�����ߟo��Ⱥ�@�Ò���ļ{�Y(ji��)��(g��u)�D��������ֱ�Ӝy�����w����ò������˾���о��C��(g��u)Ҳ���ù͂�AFM�������@�ӿɞ�{���g(sh��)���о����l(f��)չ��ˇ���ƹ�(ji��)ʡ�����ijɱ��� ���w����x�ڼ{��ţ�D���y���I(l��ng)���(n��i)ע�����µ��O(sh��)Ӌ��������ԓ����x�cNano-R TM��AFM�Ĝyԇ�_��ܛ����Y(ji��)��������Եõ�һ���µ��Ñ��Ѻýӿڵļ{�׳���x������������������c�͒���(Point & Scan TM)���g(sh��)��������x���IJ����^����
ԭ�����@�R
�c�͒��輼�g(sh��) �c�͒��輼�g(sh��)���p���˂��y(t��ng)ϵ�y(t��ng)ܛ���ď�(f��)�s�ԣ�ֻҪ������Ļ�ϵIJ�����ʾ�����ɜyԇ���ײ���������ˆT�������Ӌ��C��Ļ�Ͽ����D���� �c�͒��輼�g(sh��)ʹ�ؘʵļ{�׳���������E�����E���£�
�x���Ʒ�����
����Ʒ�������@�R����
���б�Ҫ�����Q���w������(ֻ����)��
�x��Ҫ����Ę�Ʒ�^(q��)����
���������
�����ļ{�׳����^��ͬ�ӿ��Է���DVD�Ͱ댧(d��o)�w�����Y(ji��)��(g��u)�Լ����{�ܡ��{�����Ӻͼ{���w�M�и߷ֱ�ļ{�׳����� �c�͒��輼�g(sh��)����3������Ą�(chu��ng)���ԣ����w���������yԇ�_���Ԅӻ���ܛ����
���w������
���w����x�������������һ�N�dz�С�ľ��w��ʎ�������侧�w��ĩ���b��ᘼ⣬��D1��2��ʾ����̽ᘿ�����Ʒ����r������ʎ�������˥�p��˥�p�ķ���ȡ�Q��̽ᘺ͘�Ʒ֮�g��������������r��ʹ��ܛ�����ԃ�(y��u)����ʎ�l�ʺ����Ĵ�С��ʹ�Õr�����w�������o���κ������{(di��o)����
�D1���w����x�е�ʯӢ���澧�w �D2���w���������b���������ģ�K��
�Ĝyԇ�_�Ԅӻ�������b�о��w��������Nano-R TM��AFM�IJ����^�����Y(ji��)���R�_�(q��)�ӵĹ�Wϵ�y(t��ng)����Ʒ��λ��̽�-��Ʒ�������o���κ��ք��{(di��o)�������������Ԍ��F(xi��n)�����Ø�Ʒ-�O(sh��)������^(q��)��-�_ʼ���衱�ĺ��β����^�̡�
���w����ܛ��
���w����ܛ��(CSS)����˾��w����x�IJ��������bCSS��������ˆT����ԏĴ��ڲˆ����x����Ҫ����Ę�Ʒ��͡����P(gu��n)��Ʒ��͵���Ϣ�ɴ惦��Ӌ��C��(n��i)����Ҫ�r���{(di��o)�á�������CSS����ʹ���O(sh��)�õĒ��腢��(sh��)��CSS�c�yԇ�_�Ԅӻ�����Y(ji��)����һ���������Ĺ������e�����f�����\��CSS�r����Ʒ�_���Ԅ��Ƅӵ���Ʒ�m�ڳ����λ����CSSҲ���Ԍ���Ʒ�Mһ���O(sh��)�ó��m��ҕ�l��Wӛ䛵�λ�á� ����ˆT��횸��Q��Ʒ��̽������˺��������^�̣��ׂ�ҕ�lϵ�y(t��ng)������CSS�����@Щ����������ʾ����θ��Q̽��Լ����Ø�Ʒ�������λ����ܛ���ӿ���D3��ʾ�� �D3ܛ���ӿ�
CSSܛ�����㷨���Á��Д�̽ᘵij����|(zh��)���̓�(y��u)�����腢��(sh��)����ijЩ����Ę�Ʒ���@Щ�㷨���\�ÿ��O(sh��)Ӌ�ɘ�Ʒ��Ϣ�ļ���
�Ē���x�O(sh��)Ӌ ʹ���Ƅ�̽ᘵď�����늒���x�O(sh��)Ӌ�ɴ_�����_�y�����@������x-y-z�S�͈D���g�ɜy����С��ɫ�����ȸɔ_���Ա����]�б������� ���õ�x��y��z�SУ�ʂ������ɱO(ji��n)ҕ��������x�Ą������@�N��������x��y��z�S���Ի���У�ʒ���x�@�÷dz���Ҫ���@Щ�����������c��λ�Üy��Ҳ���б�Ҫ�����ڈD����ij��������ò�ķŴ�(y��ng)��Ҳ�@�÷dz���Ҫ�����w����x�ļ��g(sh��)����(sh��)���1�� ��1? ���w����x�ļ��g(sh��)����(sh��)
���� | ���Զ� | �ɔ_ | �� | |||
X-Y | 65 �� | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 �� | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
�c��ܗU���������ГQ ��Ҏ(gu��)��AFMʹ�ù�ܗU(Light Lever)��y��̽��c��Ʒ֮�g�����������M�ܹ�ܗU�C��(g��u)�^���(f��)�s����Ҫ�{(di��o)��·����Ҳ��һЩ��(y��u)�c������Ҫ��(y��u)�c�ǣ������M�в�������ģʽ�Ĝy�������(c��)������Ħ���������λ�Ƴ��������⣬߀���M�д������o��������� Nano-R TM��AFM�yԇ�_���c��ܗU������������ֻ���犱���ГQ��ܗU�������;��w���������ГQ���b������ܗUʽAFM������M�н��|����ʎģʽ����ò��y����
��(y��ng)�� ʹ�þ��w����x��Nano-R TM��AFM�ɜy�����N��Ʒ�繤�I(y��)��Ʒ����Ҫ�߷ֱ����ļ{�Y(ji��)��(g��u)����ò�������I(y��)��Ʒ����DVD���@�R�^����������ź͈D�λ���оƬ���߷ֱ����ļ{�Y(ji��)��(g��u)�����������{���������{���w�ͼ{�ܡ��D4ʾ����һЩʹ�þ��w����x��AFM��ò����
ԭ�����@�R
���w����x(Crystal Scanner TM)������PNI��˾�_�l(f��)��һ�N�·f�Ē���x��ʹ��ԓ����x���o��֪����������̽��@�W(SPM)֪�R����ʿ��ɫ@�ü{��������ò�������w����x�ĺ�����һ�N���͵ğo���(f��)�s��·�{(di��o)��(Alignment)�^�̵��������������܉��M�м{�Y(ji��)��(g��u)�ij���ͷ����� ʹ���b�о��w����x��Nano-R TMԭ�����@�R(AFM)�����̎��ͿƌW�����ߟo��Ⱥ�@�Ò���ļ{�Y(ji��)��(g��u)�D��������ֱ�Ӝy�����w����ò������˾���о��C��(g��u)Ҳ���ù͂�AFM���ң��@�ӿɞ�{���g(sh��)���о����l(f��)չ��ˇ���ƹ�(ji��)ʡ�����ijɱ��� ���w����x�ڼ{��ţ�D���y���I(l��ng)���(n��i)ע�����µ��O(sh��)Ӌ�����ԓ����x�cNano-R TM��AFM�Ĝyԇ�_��ܛ����Y(ji��)��������Եõ�һ���µ��Ñ��Ѻýӿڵļ{�׳���x���������ǣ�������c�͒���(Point & Scan TM)���g(sh��)��������x���IJ����^����
ԭ�����@�R
�c�͒��輼�g(sh��) �c�͒��輼�g(sh��)���p���˂��y(t��ng)ϵ�y(t��ng)ܛ���ď�(f��)�s����ֻҪ������Ļ�ϵIJ�����ʾ�����ɜyԇ���ײ�������������ˆT�������Ӌ��C��Ļ�Ͽ����D���� �c�͒��輼�g(sh��)ʹ�ؘʵļ{�׳���������E�����E���£�
�x���Ʒ��ͣ�
����Ʒ�������@�R����
���б�Ҫ�����Q���w������(ֻ����)��
�x��Ҫ����Ę�Ʒ�^(q��)��
���������
�����ļ{�׳����^��ͬ�ӿ��Է���DVD�Ͱ댧(d��o)�w�����Y(ji��)��(g��u)�Լ����{�����{�����Ӻͼ{���w�M�и߷ֱ�ļ{�׳����� �c�͒��輼�g(sh��)����3������Ą�(chu��ng)���ԣ����w���������yԇ�_���Ԅӻ���ܛ����
���w������
���w����x�������������һ�N�dz�С�ľ��w��ʎ�������侧�w��ĩ���b��ᘼ⣬��D1��2��ʾ����̽ᘿ�����Ʒ����r������ʎ�������˥�p��˥�p�ķ���ȡ�Q��̽ᘺ͘�Ʒ֮�g��������������r��ʹ��ܛ�����ԃ�(y��u)����ʎ�l�ʺ����Ĵ�С��ʹ�Õr�����w�������o���κ������{(di��o)����
�D1���w����x�е�ʯӢ���澧�w �D2���w���������b���������ģ�K��
�Ĝyԇ�_�Ԅӻ�������b�о��w��������Nano-R TM��AFM�IJ����^�����Y(ji��)���R�_�(q��)�ӵĹ�Wϵ�y(t��ng)����Ʒ��λ��̽�-��Ʒ���ƣ��o���κ��ք��{(di��o)������ˣ�����Ԍ��F(xi��n)�����Ø�Ʒ-�O(sh��)������^(q��)��-�_ʼ���衱�ĺ��β����^����
���w����ܛ��
���w����ܛ��(CSS)����˾��w����x�IJ��������bCSS��������ˆT����ԏĴ��ڲˆ����x����Ҫ����Ę�Ʒ��������P(gu��n)��Ʒ��͵���Ϣ�ɴ惦��Ӌ��C��(n��i)����Ҫ�r���{(di��o)�������磬CSS����ʹ���O(sh��)�õĒ��腢��(sh��)��CSS�c�yԇ�_�Ԅӻ�����Y(ji��)����һ���������Ĺ������e�����f�����\��CSS�r����Ʒ�_���Ԅ��Ƅӵ���Ʒ�m�ڳ����λ����CSSҲ���Ԍ���Ʒ�Mһ���O(sh��)�ó��m��ҕ�l��Wӛ䛵�λ���� ����ˆT��횸��Q��Ʒ��̽������˺��������^�����ׂ�ҕ�lϵ�y(t��ng)������CSS�����@Щ����������ʾ����θ��Q̽��Լ����Ø�Ʒ�������λ�á�ܛ���ӿ���D3��ʾ�� �D3ܛ���ӿ�
CSSܛ�����㷨���Á��Д�̽ᘵij����|(zh��)���̓�(y��u)�����腢��(sh��)����ijЩ����Ę�Ʒ���@Щ�㷨���\�ÿ��O(sh��)Ӌ�ɘ�Ʒ��Ϣ�ļ���
�Ē���x�O(sh��)Ӌ ʹ���Ƅ�̽ᘵď�����늒���x�O(sh��)Ӌ�ɴ_�����_�y�����@������x-y-z�S�͈D���g�ɜy����С��ɫ�����ȸɔ_���Ա����]�б������� ���õ�x��y��z�SУ�ʂ������ɱO(ji��n)ҕ��������x�Ą������@�N��������x��y��z�S���Ի���У�ʒ���x�@�÷dz���Ҫ���@Щ�����������c��λ�Üy��Ҳ���б�Ҫ�����ڈD����ij��������ò�ķŴ�(y��ng)��Ҳ�@�÷dz���Ҫ�����w����x�ļ��g(sh��)����(sh��)���1�� ��1? ���w����x�ļ��g(sh��)����(sh��)
���� | ���Զ� | �ɔ_ | �� | |||
X-Y | 65 �� | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 �� | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
�c��ܗU���������ГQ ��Ҏ(gu��)��AFMʹ�ù�ܗU(Light Lever)��y��̽��c��Ʒ֮�g�����������M�ܹ�ܗU�C��(g��u)�^���(f��)�s����Ҫ�{(di��o)��·����Ҳ��һЩ��(y��u)�c������Ҫ��(y��u)�c�ǣ������M�в�������ģʽ�Ĝy�������(c��)������Ħ���������λ�Ƴ��������⣬߀���M�д������o��������� Nano-R TM��AFM�yԇ�_���c��ܗU������������ֻ���犱���ГQ��ܗU�������;��w���������ГQ���b������ܗUʽAFM������M�н��|����ʎģʽ����ò��y����
��(y��ng)�� ʹ�þ��w����x��Nano-R TM��AFM�ɜy�����N��Ʒ�繤�I(y��)��Ʒ����Ҫ�߷ֱ����ļ{�Y(ji��)��(g��u)����ò�������I(y��)��Ʒ����DVD���@�R�^����������ź͈D�λ���оƬ���߷ֱ����ļ{�Y(ji��)��(g��u)�����������{���������{���w�ͼ{�����D4ʾ����һЩʹ�þ��w����x��AFM��ò����
· ����̖�x��cݔ�빦�ܱ����Ñ��Լ��O(sh��)Ӌ�о�����