Nano-I (型號:S-030-0000-1)是一個在晶片和磁盤成像方面優(yōu)化的高性能的原子力顯微鏡系統(tǒng)。Nano-I 原子力顯微鏡的應(yīng)用包括研究、發(fā)展、工藝過程開發(fā)和控制過程。 整個系統(tǒng)包括主計算機(jī),軟件,電子控制器和原子力顯微鏡臺。自動的X-Y 臺可承載大到直徑為8英寸、厚為0.5英寸的晶片。用這個獨(dú)特的臺子,可以在計算機(jī)的控制下調(diào)節(jié)探針和樣品的角度。Nano-I軟件在工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的Windows XP? 操作系統(tǒng)下運(yùn)行。Nano-I 系統(tǒng)中有三個軟件模塊可用來獲得和分析AFM圖像。
主要特點(diǎn):Nano-I 臺非常容易安裝在桌面上,可以在一般的實(shí)驗(yàn)環(huán)境中獲得高分辨的圖像。臺子是為了最大地適應(yīng)所提供樣品的類型而設(shè)計的,同樣可以使AFM探頭的設(shè)置和準(zhǔn)直盡可能地簡易。臺子包括:
AFM 探頭樣品臺X-Y-Z 樣品臺的平移器高分辨錄像顯微鏡
又稱:原子力顯微鏡 采購原子力顯微鏡 原子力顯微鏡報價 原子力顯微鏡介紹 原子力顯微鏡采購 原子力顯微鏡 采購掃描探針顯微鏡 掃描探針顯微鏡報價 掃描探針顯微鏡介紹 掃描探針顯微鏡采購
實(shí)密科技股份有限公司北京市朝陽區(qū)北四環(huán)東路108號千鶴家園7號樓TEL:021-64697665FAX:021-64699320E-MAIL:http://www.schmidt.com.twWeb: www.schmidt.com.tw
NTEGRA Prima的標(biāo)準(zhǔn)配置包括在大氣環(huán)境甚至液體環(huán)境中得到原子分辨圖像的基本配置。NTEGRA Prima不僅提供了所有傳統(tǒng)技術(shù),例如形貌、相位、磁力測量,它還包括許多NT-MDT的技術(shù),例如,NT-MDT掃描電容顯微鏡,它以的精度(1aF)對樣品表面電荷載流子濃度的變化進(jìn)行成像,創(chuàng)造了電容測量的國際標(biāo)準(zhǔn)。NT-MDT的另一項(xiàng)專有技術(shù)原子力聲學(xué)顯微鏡(AFAM),是對彈性進(jìn)行研究的工具,它只需附加一個簡單易安裝的附件。AFAM利用局域彈性,可以對疇和結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接的、非破壞性的成像,還可以對楊氏模量和其它如粘彈力、摩擦力在內(nèi)的表面參數(shù)進(jìn)行直接、定量地測量。
在原子尺度工作時,定位精度非常的關(guān)鍵。為了確保精度,所有NTEGRA 系列產(chǎn)品都特別的設(shè)計了內(nèi)置、閉環(huán)的電容傳感器。即使當(dāng)掃描區(qū)域小到50×50nm,因其超低的噪音水平(典型值小于0.1nm)仍然能在使用內(nèi)置傳感器的情況下對樣品表面進(jìn)行成像和修飾。的掃描反饋確?筛呔鹊亩繙y量針尖和樣品表面間的相互作用力。
對于NTEGRA而言,NTEGRA Prima 僅僅只是一個基礎(chǔ)、核心,它所創(chuàng)建的納米實(shí)驗(yàn)室設(shè)計了開放的硬件、軟件和信號集成的結(jié)構(gòu),為與其它儀器集成提供了接口和平臺。它可以和光譜儀、超薄切片機(jī)、大規(guī)模篩選(high-throughput screening)以及加熱附件等結(jié)合,形成新一代的集成分析儀器。無論你需要的是簡單的還是更加的完善和復(fù)雜的SPM,NTEGRA Prima都能提供良好的平臺,你成功的成像和測量。
特色介紹
l 裝有一個帶集成電容傳感器的可更換掃描器,可獲得的掃描范圍:100x100x12 µm
l 雙掃描模式(DualScan)是NT-MDT獨(dú)有的技術(shù),它采用一個可更換的底部掃描器(100x100x12µm)和一個頂部掃描器(100x100x10μm),使總的掃描范圍達(dá)到:200x200x22μm;
l XY非線性:校正后,峰峰值0.05%,在整個掃描范圍內(nèi),X-Y平面的定位精度保持在10-20納米內(nèi);
l NTEGRA的控制器和機(jī)械部件可以在高達(dá)5 MHz的高頻下工作,因此儀器可以使用高共振頻率的懸臂,從而得到更加的圖像;同樣這使得原子力聲學(xué)顯微鏡(AFAM)的應(yīng)用成為可能。該系統(tǒng)可以用于研究高電阻材料,例如半導(dǎo)體上的薄膜絕緣層、DLC和壓電薄膜、導(dǎo)電聚合物等。
l 低熱漂移和熱穩(wěn)定性(特殊材料:鈦)
l 友好的操作軟件和強(qiáng)大的腳本語言控制——NT-MDT獨(dú)有
l 光學(xué)垂直方向分辨可達(dá)0.4um (使用高數(shù)值孔徑的頭部), 可倒置觀察樣品——NT-MDT獨(dú)有
l 整體設(shè)計的液體池,可選配加熱裝置和超小液體池(200微升)
l 納米刻蝕操作軟件
l 整體設(shè)計的防磁、防電、防聲屏蔽罩
l 低真空操作環(huán)境可選
l 內(nèi)置濕度、溫度傳感器,LCD液晶顯示
l 通氣孔設(shè)計可提供氣體控制
l 對樣品尺寸無限制
3.應(yīng)用介紹
生物學(xué)和生物技術(shù)蛋白質(zhì)、 DNA、病毒、細(xì)菌、組織等 材料科學(xué)表面形貌形態(tài)、壓電性質(zhì)、粘滯力分析、摩擦特性分析等 磁材料磁疇結(jié)構(gòu)成像、觀察因外部磁場引起的磁性的反轉(zhuǎn)、不同溫度下的磁結(jié)構(gòu)變化等 半導(dǎo)體和電學(xué)性質(zhì)測量硅片等材料的表面形貌、表面電勢和電容測量、表面電荷分布圖、摻雜濃度分析、失效分析(局域?qū)щ娦院徒^緣層漏電流) 聚合物和有機(jī)薄膜球狀或柱狀晶體、聚合物單晶材料、聚合物納米顆粒、LB 膜、有機(jī)薄膜等 數(shù)據(jù)存儲CD, DVD 盤 納米材料納米粉體、納米復(fù)合材料、納米多孔材料、 納米結(jié)構(gòu)材料 富勒烯、碳納米管、納米絲、納米膠囊
納米電子學(xué)量子點(diǎn)、納米線、量子結(jié)構(gòu) 納米機(jī)械學(xué)AFM 納米刻蝕:力(直流電和交流電)、電流(局部陽極氧化)、STM 納米刻蝕 納米操縱接觸力 1. NTEGRA-Prima
NT-MDT獨(dú)有的雙掃描模式(DualScan)使總的掃描范圍達(dá)到:200x200x22μm,對樣品尺寸幾乎無限制
這套系統(tǒng)可以用于研究高電阻的材料,例如在半導(dǎo)體基體上的絕緣薄膜,DLC和壓電薄膜,導(dǎo)電聚合物等
This system can be used in research of high-resistance materials such as thin dielectric layers on semiconductors, DLC and piezo-films, conductive polymers etc.
2. NTEGRA-Aura
NTEGRA Aura allows measurements in low vacuum environment,
Additional possibilities are provided by a temperature table with sample heating up to 300 oC degree Celsius and the accuracy of temperature maintenance 0.05 oC.Measurements in a controlled gas atmosphere are possible as well.
3. NTEGRA-Vita
可選用不同的液體槽:密封的化學(xué)穩(wěn)定的液體槽,可以進(jìn)行升溫控制;用于在培養(yǎng)皿中進(jìn)行操作的封閉式液體槽;可更換的加熱器。
Different liquid cells are available: hermetic chemically stable liquid flow cell with a possibility of the temperature control at elevated temperatures; closed liquid flow temperature controlled cell for operating with Petri dishes; replaceable heater
4. NTEGRA-Maximus
NTEGRA Maximus 基座是一個帶有傳動平臺的可更換的中央部件。樣品在50mm內(nèi)可在XY方向上自由移動,且可以進(jìn)行0-360度旋轉(zhuǎn)。
NTEGRA Maximus basement is a changeable center unit with a motorized stage. Sample movement is possible within 50mm by X,Y and within 0-360 degrees under rotation
許多小樣品也可以在 NTEGRA Maximus上進(jìn)行自動測量,且提供高質(zhì)量的成像效果。
Automated measurements of many small samples are also possible with NTEGRA Maximus enabling high throughput screening.
5. NTEGRA-Solaris
集成到中央基座上的倒置式顯微鏡使系統(tǒng)具有高的剛性,了系統(tǒng)的穩(wěn)定性,從而不僅可以獲得高質(zhì)量的成像效果,且可進(jìn)行長時間的研究。
The integrating of the inverted microscope objective into the central base because of high mechanical rigidity provides stability of the system making quality images and long-term experiments possible
6. NTEGRA-Spectra
通用的PNL平臺為將掃描共聚焦顯微鏡、常規(guī)的AFM和分光鏡聯(lián)用提供了可能性,從而可以探測拉曼散射光譜,進(jìn)而可以得到很多與樣品化學(xué)組成有關(guān)的復(fù)雜信息。
The universal PNL platform provides the possibility to integrate scanning confocal scheme in combination with regular AFM and spectrometer to detect Raman scattering spectrum. This spectra may then be interpreted into complex information concerning chemical composition of the object.
7. NTEGRA-Therma
專用的熱學(xué)頭部可提供非常低的熱漂移(小于10 nm/°C),了針尖-樣品系統(tǒng)的穩(wěn)定性。這樣可以對樣品表面選定的點(diǎn)進(jìn)行長時間的研究。
Special Thermo head provides extremely low thermal drift (less than 10 nm/癈) ensuring high stability of the tip-sample system. This allows long-term measurements to be done in pre-defined point on the specimen surface.
8. NTEGRA-Tomo
超薄切片機(jī)可以制備用于原子力顯微鏡研究的納米片層和新鮮表面。因此,可以研究表面的物理性質(zhì)和重構(gòu)后的3維圖像經(jīng)過NTEGRA Tomo處理后的片狀樣品可以用于透射電鏡分析。
Ultramicrotome makes nanoslices of a sample and a freshly cut surface is then measured by AFM. Thus, many physical properties of a surface are studied and 3D-volume imaging is available after the reconstruction. After the NTEGRA Tomo operation sample slices stay available for TEM analysis
德國BMT AFM 2000/3000/4000 原子力顯微鏡 |
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德國BMT AFM原子力顯微鏡 在當(dāng)今工業(yè)生產(chǎn)中對納米級表面結(jié)構(gòu)的了解日益重要。這些應(yīng)用包含了從內(nèi)燃機(jī)磨損到新型潤滑涂層和防腐蝕保護(hù)層,以及現(xiàn)代車用噴漆,從半導(dǎo)體工業(yè)到醫(yī)用技術(shù)。傳統(tǒng)方法已經(jīng)無法處理上述的長度空間。但同時可以看到,對表面、涂層和功能材料表面盡可能全面地就性能進(jìn)行描述日益成為工業(yè)界和科研機(jī)構(gòu)的迫切需求,例如在局部極小的尺寸內(nèi)對化學(xué)反應(yīng)過程,腐蝕和磨損進(jìn)行觀察等等。原子力顯微鏡作為極其靈活的圖像檢測方法尤其適合這些應(yīng)用,它的測量范圍覆蓋了從0.2毫米到微米納米直至原子晶體結(jié)構(gòu)。而這樣大的測量范圍只需使用同一臺設(shè)備。隨著BMT多用掃描儀AFM 3000的研制成功,市場上終于出現(xiàn)了一臺掃描原子力顯微鏡,它的突出特點(diǎn)是模塊化結(jié)構(gòu)、高度靈活性而且操作極其簡便。它獨(dú)特的測量模塊運(yùn)用了化學(xué)對比度成像(Chemical Contrast Imaging (CCI-AFM) ,這種新技術(shù)可以檢測到表面極其微量的化學(xué)變化,這樣就可以跟蹤腐蝕、磨損、氧化等等物理和化學(xué)反應(yīng)實(shí)際發(fā)生的位置,這些反應(yīng)通常正是在微米和納米尺度上。用多用成像軟件包可以在多個采集點(diǎn)上同時采集圖像信息:從采樣點(diǎn)表面形貌到摩擦,磨損和接觸剛性,一直到化學(xué)對比度。 主要特點(diǎn): · 操作極其簡便,用戶控制,模塊化構(gòu)造 · 多用掃描 測量頭,就極高的穩(wěn)定性作了優(yōu)化 · 多測量模式選擇:接觸模式,非接觸模式,震蕩接觸模式,力調(diào)制顯微鏡,摩擦顯微鏡和粘合顯微鏡,力譜儀,相位對比度。使用同一個測量頭可達(dá)到的掃描范圍從納米級到面積為 200 µm x 200µm · 包括化學(xué)對比度成像 (CCI-AFM) 模式 · 包括保護(hù)氣體選項(xiàng) · 可直接在樣品實(shí)地的溫度和濕度條件下測量 · 包括可在液體中測量的工作方式 · 極有用途的附加模塊包括:納米電鍍(GalvanoScan)、納米摩擦和磨損檢測 (TriboScan) 以及腐蝕 (CorroScan) 和納米構(gòu)造 (LithoScan) · 可按用戶需要提供相匹配的軟件模塊,根據(jù)特殊要求可提供應(yīng)用實(shí)例 技術(shù)數(shù)據(jù): 試樣尺寸 | 25 mm x 25 mm | 調(diào)節(jié)距離 | 在x,y方向可達(dá)20 mm x 20 mm | 步進(jìn)電機(jī) | z方向可達(dá)15 mm | 環(huán)境條件 | 普通環(huán)境條件常規(guī)運(yùn)行(接觸空氣,室溫);此外也可在保護(hù)氣體和液體中工作 | 掃描儀 | X、 y、z方向壓電掃描。 掃描范圍x,y方向可達(dá) 800μm | 分辨率 | 可達(dá)原子尺度 | 步進(jìn)電機(jī) | 15 mm行程 | 通道 | 從上方和側(cè)向有備用通道:例如安裝拉曼光譜設(shè)備 | 電子元件 | 數(shù)字控制器,PC機(jī)經(jīng)USB接口驅(qū)動 | 軟件 | 用戶友好的測量和分析軟件包 | 數(shù)據(jù)采集 | 并行采集顯示多個測量通道(例如 表面形貌和化學(xué)對比度) | 數(shù)據(jù)分析 | 功能全面的圖像處理和數(shù)據(jù)分析軟件(包含統(tǒng)計函數(shù)、粗糙度分析等等) | |
原子力顯微鏡 懸臂反射原子力顯微鏡 探針原子力顯微鏡
型號:HG13- NanoFirst-2000
產(chǎn)品介紹:
原子力顯微鏡(Atomic force microscopy)是種以物理學(xué)原理為基礎(chǔ),通過掃描探針與樣品表面原子相互作用而成像的新型表面分析儀器。般原子力顯微鏡利用探針對樣品掃描,探針固定在對探針與樣品表面作用力極敏感的微懸臂上。懸臂受力偏折會引起由激光源發(fā)出的激光束經(jīng)懸臂反射后發(fā)生位移。檢測器接受反射光,最后接受信號經(jīng)過計算機(jī)系統(tǒng)采集、處理、形成樣品表面形貌圖像。 產(chǎn)品特點(diǎn):計算機(jī)全數(shù)字化控制,操作簡捷直觀。 步進(jìn)馬達(dá)自動進(jìn)行針尖--樣品逼近,保證實(shí)驗(yàn)圓滿成功。 深度陡度測量,三維顯示。 納米材料粗糙度測量、顆粒徑度測量及分布統(tǒng)計。 X、Y二維樣品移動平臺,快速搜索樣品區(qū)域. 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行接口,無需任何計算機(jī)卡 樣品觀測范圍從0.001um-20000um。 掃描速度達(dá)40000點(diǎn)/秒 可選配納米刻蝕功能模塊。 技術(shù)指標(biāo): AFM探頭 樣品尺寸:直徑小等于30mm;厚度小等于15mm。 XY最大掃描范圍:標(biāo)準(zhǔn)6X6微米 0.25nm 0.03nm(云母定標(biāo)) XY二維樣品移動范圍:5mm;精度0.5微米 掃描器、針尖座智能識別 44-283X連續(xù)變倍彩色CCD顯微觀察系統(tǒng)(選配) AFM電化學(xué)針尖塊,液電池,液體輕敲式成像功能(選配) 全金屬屏蔽防震隔音箱/精密隔震平臺(選購)
原子力顯微鏡 懸臂反射原子力顯微鏡 探針原子力顯微鏡
型號:HG13- NanoFirst-2000
產(chǎn)品介紹:
原子力顯微鏡(Atomic force microscopy)是種以物理學(xué)原理為基礎(chǔ),通過掃描探針與樣品表面原子相互作用而成像的新型表面分析儀器。般原子力顯微鏡利用探針對樣品掃描,探針固定在對探針與樣品表面作用力極敏感的微懸臂上。懸臂受力偏折會引起由激光源發(fā)出的激光束經(jīng)懸臂反射后發(fā)生位移。檢測器接受反射光,后接受信號經(jīng)過計算機(jī)系統(tǒng)采集、處理、形成樣品表面形貌圖像。 產(chǎn)品特點(diǎn):計算機(jī)全數(shù)字化控制,操作簡捷直觀。 步進(jìn)馬達(dá)自動進(jìn)行針尖--樣品逼近,保證實(shí)驗(yàn)圓滿成功。 深度陡度測量,三維顯示。 納米材料粗糙度測量、顆粒徑度測量及分布統(tǒng)計。 X、Y二維樣品移動平臺,快速搜索樣品區(qū)域. 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行接口,無需任何計算機(jī)卡 樣品觀測范圍從0.001um-20000um。 掃描速度達(dá)40000點(diǎn)/秒 可選配納米刻蝕功能模塊。 技術(shù)指標(biāo): AFM探頭 樣品尺寸:直徑小等于30mm;厚度小等于15mm。 XY大掃描范圍:標(biāo)準(zhǔn)6X6微米 0.25nm 0.03nm(云母定標(biāo)) XY二維樣品移動范圍:5mm;精度0.5微米 掃描器、針尖座智能識別 44-283X連續(xù)變倍彩色CCD顯微觀察系統(tǒng)(選配) AFM電化學(xué)針尖塊,液電池,液體輕敲式成像功能(選配) 全金屬屏蔽防震隔音箱/精密隔震平臺(選購
聯(lián)系電話:15900341123 邢小姐 QQ504843783公司網(wǎng)站:chinalabtech_xf@163.com型號 種類 備注CSG01 接觸 CSG01系列接觸模式SPM探針,50根/盒,共振頻率7-14KHz,彈性系數(shù)0.01-0.08N/m,僅有一個懸臂和針尖CSG10 接觸 CSG10系列接觸模式SPM探針,50根/盒,共振頻率14-28KHz,彈性系數(shù)0.03-0.2N/m,僅有一個懸臂和針尖CSG01S 接觸 CSG01系列接觸模式SPM探針,50根/盒,每根針尖附有SEM校準(zhǔn)照片,共振頻率7-14KHz,彈性系數(shù)0.01-0.08N/m,僅有一個懸臂和針尖CSG11 接觸 CSG11系列接觸模式SPM探針,50根/盒,每根有兩個懸臂,共振頻率7-14KHz,14-28KHz,彈性系數(shù)0.01-0.008N/m, 0.03-0.2N/mCSG11/Pt 接觸 CSG11系列接觸模式SPM探針(鍍鉑導(dǎo)電層),50根/盒,每根有兩個懸臂,共振頻率7-14KHz,14-28KHz,彈性系數(shù)0.01-0.008N/m, 0.03-0.2N/mCSG11S 接觸 CSG11系列接觸模式SPM探針,50根/盒,每根針尖附有SEM校準(zhǔn)照片,兩個懸臂,共振頻率7-14KHz,14-28KHz,彈性系數(shù)0.01-0.008N/m, 0.03-0.2N/mCSC0510/20°/5 超細(xì) 接觸模式須型SPM探針,5根/盒,有10度和20度傾角的須狀物針尖CSG11/Au/Pt/TiN/50 導(dǎo)電 CSG11系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率7-14KHz, 14-28KHz,彈性系數(shù)0.01-0.08N/m0.03-0.2N/mCSG01/Au/Pt/TiN/50 導(dǎo)電 CSG01系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率7-14KHz,彈性系數(shù)0.01-0.08N/m CSG10/Au/Pt/TiN/50 導(dǎo)電 CSG10系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率14-28KHz,彈性系數(shù)0.03-0.2N/m CSG11/tipless/50 無針尖 CSG11系列無針尖探針,50根/盒,每根有兩個懸臂,共振頻率7-14KHz,14-28KHz,彈性系數(shù)0.01-0.08N/m, 0.03-0.2N/m型號 種類 備注HA--_NC (新) 輕敲 新型高精度探針,50根/盒。每個基片有兩根長方形的多晶硅懸臂和尖銳硅針尖(典型值10nm)。共振頻率120/200 KHz,彈性常數(shù)3.4/5.8N/mNSG01 輕敲 NSG01系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,共振頻率115-190KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/m,僅有一個懸臂和針尖NSG03 輕敲 NSG03系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,共振頻率90-116KHz,彈性系數(shù)0.5-2.2N/m,僅有一個懸臂和針尖NSG10 輕敲 NSG10系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,共振頻率190-325KHz,彈性系數(shù)5.5-22.5N/m,僅有一個懸臂和針尖NSG20 輕敲 NSG20系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,共振頻率260-630KHz,彈性系數(shù)28-91N/m,僅有一個懸臂和針尖NSG01S 輕敲 NSG01S系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,每根針尖附有SEM校準(zhǔn)照片,共振頻率115-190KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/m,僅一個懸臂和針尖NSG10S 輕敲 NSG10S系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,每根針尖附有SEM校準(zhǔn)照片,共振頻率190-325KHz,彈性系數(shù)5.5-22.5N/m,僅一個懸臂和針尖NSG11 輕敲 NSG11系列輕敲模式SPM探針,50根/盒,每根有兩個懸臂,共振頻率115-190KHz,190-325KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/m,5.5-22.5N/mNSG20S 輕敲 NSG20S系列,50根/盒,每根針尖附有SEM校準(zhǔn)照片,共振頻率260-630KHz,彈性系數(shù)28-91N/m,僅有一個懸臂和針尖NSG11S 輕敲 NSG11S系列,50根/盒,每根針尖附有SEM校準(zhǔn)照片,兩個懸臂,共振頻率115-190KHz,190-325KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/m,5.5-22.5N/mNSG10 DLC/10/50 超細(xì) 超細(xì)類金剛石碳(DLC)探針,10根/盒,典型曲率半徑1nm,生長在NSG10和NSG01系列探針上.(20-40根以內(nèi)價格628元/根)NSG01 DLC/10/50 NSC0510/20°/5 超細(xì) NSC05 10°/20°輕敲模式,5根/盒,有10度和20度傾角的須狀物針尖NSG11Au/Pt/TiN/WuC/50 導(dǎo)電 NSG11系列(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦、鍍碳化鎢導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率115-190KHz、190-325KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/m,5.5-22.5N/mNSG01/Au/Pt/TiN/WuC/50 導(dǎo)電 NSG01系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦、鍍碳化鎢導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率115-190KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/mNSG10/Au/Pt/TiN/WuC/50 導(dǎo)電 NSG10系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦、鍍碳化鎢導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率190-325KHz,彈性系數(shù)5.5-22.5N/mNSG20/Au/Pt/TiN/WuC/50 導(dǎo)電 NSG20系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦、鍍碳化鎢導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率260-630KHz,彈性系數(shù)28-91N/mNSG03/Au/Pt/TiN/WuC/50 導(dǎo)電 NSG03系列輕敲模式SPM探針(分別鍍金、鍍鉑、鍍氮化鈦、鍍碳化鎢導(dǎo)電層),50根/盒,共振頻率90-116KHz,彈性系數(shù)0.5-2.2N/mNSG01/Co/50 磁性 NSG01系列輕敲模式SPM探針(鍍鈷鉻磁性層),50根/盒,共振頻率115-190KHz,彈性系數(shù)2.5-10N/mNSG03/Co/50 磁性 NSG03系列輕敲模式SPM探針(鍍鈷鉻磁性層),50根/盒,共振頻率90-116KHz,彈性系數(shù)0.5-2.2N/mNSG11/tipless/50 無針尖 無針尖NSG11系列,每頭兩個懸臂,50根/盒,共振頻率115-190KHz,190-325KHz,彈性系數(shù)2.5-10 N/m,5.5-22.5N/mNSG20/tipless/50 無針尖 無針尖NSG20系列,50根/盒,一個三角形懸臂,共振頻率260-630KHz,彈性系數(shù)28-91N/mMF002/003/004/10 SNOM 一套10根/盒SNOM探針(波長480-550nm)(波長600-680nm),(波長780-1050nm),沒有音叉DCP11/50 金剛石鍍層 輕敲模式鍍金剛石導(dǎo)電探針DCP11系列,50根/盒,每根探針有兩個懸臂,共振頻率190-325KHz,115-190KHz;彈性系數(shù)5.5-22.5N/m,2.5-10N/m。穩(wěn)定的、非破壞性的金剛石鍍層可供長期使用。DCP11/15 DCP20/50 金剛石鍍層 輕敲模式鍍金剛石導(dǎo)電探針DCP20系列,50根/盒,每根探針有一個懸臂,共振頻率260-630KHz;彈性系數(shù)28-91N/m,AFM氧化刻蝕的理想探針。DCP20/15
它保證了定位的絕對精度在10納米(這比市場上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍)。
這些突出的特性,再配以APE研究的獨(dú)特的軟件工具,使得這款儀器適用于納米光刻。 A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺,這保證了高平面度使得用戶可以進(jìn)行大范圍的測量(可以達(dá)到100微米)。 APE研發(fā)了原子力顯微鏡的附加工具,這可以用于一些具體的測量模式(如EFM(靜電力顯微鏡),MFM(磁力顯微鏡),Liquid cell(液體池)) 我們還和意大利研究院合作研發(fā)其他工具以滿足用戶可能提出的要求。
A100-SGS AFM
A100-SGS SPM(掃描探針顯微鏡) 鏡臺
掃描鏡臺具有包含張力測量傳感器的獨(dú)立定位系統(tǒng)
掃描器技術(shù)資料:
X-Y掃描范圍:
100*100微米(高電壓模式);
10*10微米(低電壓模式)
高電壓模式分辨率:閉環(huán):2nm,開環(huán):0.2nm
閉環(huán)線性度:0.1%
Z掃描范圍:10微米(高電壓模式);
1微米(低電壓模式);
分辨率:0.16納米(高電壓模式),
0.02納米(低電壓模式)。
AFM Head 適用于接觸模式,非接觸模式,半接觸模式和橫向力模式
AFM Head 具有工業(yè)級的懸臂支架保持器,該保持器可以移動(很容易在懸臂上安裝和拆卸),也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。
SPMCU2-PI
SPM 控制單元
SPM控制單元和計算機(jī)(配別有多輸入輸出主板)驅(qū)動掃描器,數(shù)據(jù)采集和采樣運(yùn)動
采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制,該模擬反饋由計算機(jī)數(shù)字化驅(qū)動。
該系統(tǒng)的硬件時鐘是高速的和高精度的
HVA3-PI Unit
高電壓放大器
HAV是一種高電壓放大器模塊可以驅(qū)動A-100 SGS 掃描鏡臺
計算機(jī)和數(shù)據(jù)采集板
WindowsXP、Vista 操作系統(tǒng);奔騰處理器或酷睿2,1G/2GDDR2 SDRAM內(nèi)存,160G硬盤,DVD光驅(qū),鍵盤和鼠標(biāo),19寸液晶顯示器,采集板和接口。
采集軟件
軟件運(yùn)行是基于窗口的,為了儀器控制和數(shù)據(jù)采集,還支持多窗口操作。軟件具有簡易的濾波器可以實(shí)時分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數(shù)。
APE研究的儀器裝備了圖像測量數(shù)據(jù)分析軟件的基本模塊,另外14項(xiàng)可選的功能也可以獨(dú)立的獲得。
輔助
光刻工具
隧道掃描顯微鏡工具
MFM(磁力顯微鏡)工具
EFM(電場力顯微鏡)工具
CAFM(導(dǎo)電原子力顯微鏡)工具
液體池
隔音箱
桌臺
6800AFM
原子力顯微鏡應(yīng)用:其應(yīng)用范圍十分廣泛,利用原子力顯微鏡可以輕松得到樣品的表面觀察、尺寸測定、表面粗糙度、表面顆粒度分析、表面電勢梯度和電荷分布、表面磁疇、生物細(xì)胞的表面結(jié)構(gòu)等。
可測樣品有:薄膜、納米陶瓷、石墨烯、復(fù)合材料、納米復(fù)合材料、玻璃、硅片、共聚物、電池材料、半導(dǎo)體材料、納米纖維、蛋白質(zhì)、納米粉體等。
應(yīng)用行業(yè):高校(理工類)實(shí)驗(yàn)室、科研機(jī)構(gòu)、公安刑偵和工業(yè)檢測部門。
一、主要功能特點(diǎn) 硬件系統(tǒng)
1、光機(jī)電一體化設(shè)計,外形結(jié)構(gòu)簡單;
2、掃描探頭和樣品臺集成一體,抗干擾能力強(qiáng);
3、精密激光檢測及探針定位裝置,光斑調(diào)節(jié)簡單,操作方便;
4、采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描;
5、伺服馬達(dá)手動或自動脈沖控制,驅(qū)動樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
6、高精度大范圍的樣品移動裝置,可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域;
7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
8、帶光學(xué)定位的CCD觀測系統(tǒng),實(shí)時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域;
9、采用伺服馬達(dá)控制CCD自動對焦功能;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計,便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù);
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用。
12、帶溫度顯示。
13、彈簧懸掛式防震方式,簡單實(shí)用,抗干擾能力強(qiáng)
軟件系統(tǒng)
1、可觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像;
2、具備接觸、輕敲,可選配相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式;
3、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512;
4、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時查看剖面圖;
5、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS(f-RMS)、RMS-間隙(RMS-Z)測量功能;
6、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
7、可任意選擇樣品起始掃描角度;
8、激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時調(diào)整功能;
9、針尖共振峰自動和手動搜索功能;
10、可任意定義掃描圖像的色板功能;
11、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時校正功能;
12、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正;
13、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
二、主要技術(shù)指標(biāo)1、工作模式:接觸、輕敲、可擴(kuò)展相位、摩擦力、磁力或靜電力
2、樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
3、最大掃描范圍:橫向50um,縱向5um
4、掃描分辨率:橫向0.2nm,縱向0.05nm
5、掃描速率:0.6Hz~4.34Hz
6、掃描角度:任意
7、樣品移動范圍:0~50mm
8、馬達(dá)趨近脈沖寬度:10±2ms
9、光學(xué)放大倍數(shù):10X
10、光學(xué)分辨率:1um
11、圖像采樣點(diǎn):256×256,512×512
12、掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
13、數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
14、反饋方式:DSP數(shù)字反饋
15、反饋采樣速率:64.0KHz
16、計算機(jī)接口:USB2.0
17、運(yùn)行環(huán)境:運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)
原子力顯微鏡(二)1000AFM
一. 主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1、主機(jī)與控制箱分開,外形結(jié)構(gòu)簡單;
2、掃描探頭和樣品臺集成一體,抗干擾能力強(qiáng);
3、精密激光定位裝置,使用時無需調(diào)節(jié)光斑位置;
4、采用精密探針定位模塊,更換探針簡單方便;
5、采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描;
6、伺服馬達(dá)手動或自動脈沖控制,驅(qū)動樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
7、高精度大范圍的樣品移動裝置,可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域;
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
9、帶光學(xué)定位的CCD觀測系統(tǒng),實(shí)時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計,便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù);
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用;
12、彈簧懸掛式防震方式,簡單實(shí)用,抗干擾能力強(qiáng)。
13、帶溫控、濕控功能
軟件系統(tǒng)
13、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512;
14、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時查看剖面圖;
15、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
16、可任意選擇樣品起始掃描角度;
17、激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時調(diào)整功能;
18、可任意定義掃描圖像的色板功能;
19、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時校正功能;
20、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正;
21、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
二. 主要技術(shù)指標(biāo)
22、工作模式:接觸、輕敲,可擴(kuò)展相位、摩擦力、磁力或靜電力
23、樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
24、最大掃描范圍:橫向20um,縱向2um
25、掃描分辨率:橫向0.2nm,縱向0.05nm
26、掃描速率:0.6Hz~4.34Hz
27、掃描角度:任意
28、樣品移動范圍:0~20mm
29、馬達(dá)趨近脈沖寬度:10±2ms
30、光學(xué)放大倍數(shù): 4X
31、光學(xué)分辨率:2.5um
32、圖像采樣點(diǎn):256×256,512×512
33、掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
34、數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
35、反饋方式:DSP數(shù)字反饋
36、反饋采樣速率:64.0KHz
37、計算機(jī)接口:USB2.0
38、運(yùn)行環(huán)境:運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)